技术特征：
技术总结
本发明提供一种超声波清洗装置及基板处理系统，涉及显示技术领域，该超声波清洗装置对基板的吹扫清洁效率高，并且当该清洗装置具体应用于基板处理系统中时，可以显著提高进入处理装置内的基板的表面清洁度，避免基板表面经过处理后产生大量杂质残留。该超声波清洗装置包括，吹气单元，用于向待清洗的物体表面喷出气流；超声波振荡发生器，用于使从吹气单元中喷出的气流发生振荡；抽气单元，用于收集从待清洗的物体表面吹扫出的杂质。
技术研发人员：郭淳;刘建辉;孟盼盼;冯忠;李鹏;许道先;周庆高;钟亮;董康旭;刘祖宏;侯智
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司
技术研发日：2017.04.19
技术公布日：2017.08.08