一种便于脱胶的硅片脱胶支架的制作方法

文档序号:14854472发布日期:2018-07-04 02:38阅读:207来源:国知局
一种便于脱胶的硅片脱胶支架的制作方法

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域,具体为一种便于脱胶的硅片脱胶支架。



背景技术:

硅片表面的清洁度是影响硅片合格率和电池转换效率的关键因素。为获得洁净度较高的硅片,往往硅片在经过线切割后需要脱胶清洗和精细清洗两个部分,在硅片热水脱胶过程中会使用到硅片脱胶支架。现有的硅片脱胶支架大多为框架,直接盛放硅片置于热水中进行脱胶,使用不方便,而且脱胶缓慢、效率低。



技术实现要素:

本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷,提供一种便于脱胶的硅片脱胶支架,使用便利,能够分隔放置硅片,而且能够在热水中来回移动硅片,提高了硅片脱胶的效率,可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种便于脱胶的硅片脱胶支架,包括框架体,所述框架体的内部底端两侧均设有安装板,安装板的上表面设有第一液压缸,第一液压缸的数量为两个且等间距设置,第一液压缸通过第一伸缩杆连接托板,托板位于框架体的内部,托板的上表面设有滑轨,滑轨的数量为两条且等间距设置,滑轨的上表面滑动卡装有滑板,托板的上表面一侧设有固定板,固定板的侧表面设有第二液压缸,第二液压缸通过第二伸缩杆与滑板连接,滑板的上表面设有卡柱,卡柱的横截面为L形,卡柱的数量为四个且等间距设置,四个卡柱的内侧为放置槽,放置槽内活动卡装有硅片放置架。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述框架体的上表面两端均设有连接板,连接板的上表面设有把手。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述滑轨为T字形,滑板的下表面设有与滑轨相对应的滑槽。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述第一液压缸和第二液压缸进液口均与外部油路系统出液口连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述硅片放置架为长方体框架,硅片放置架的内部均匀分布有隔板,相邻的两个隔板之间为硅片槽。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本便于脱胶的硅片脱胶支架,使用方便,硅片放入硅片放置架内的硅片槽,硅片分隔放置,与热水充分接触,通过第一液压缸工作,第一伸缩杆带动托板移动,进而带动硅片移动进入热水中,通过第二液压缸工作,第二伸缩杆带动滑板沿滑轨移动,进而带动硅片放置架在热水中往复运动,加快了硅片的脱胶效率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型内部结构示意图;

图3为本实用新型A处结构示意图。

图中:1把手、2连接板、3框架体、4托板、5滑板、6滑轨、7第一液压缸、8第一伸缩杆、9卡柱、10硅片放置架、11固定板、12安装板、13第二液压缸、14第二伸缩杆、15滑槽、16放置槽、17隔板、18硅片槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3,本实用新型提供一种技术方案:一种便于脱胶的硅片脱胶支架,包括框架体3,框架体3的上表面两端均设有连接板2,连接板2的上表面设有把手1,方便框架体3的取放,框架体3的内部底端两侧均设有安装板12,安装板12的上表面设有第一液压缸7,第一液压缸7的数量为两个且等间距设置,第一液压缸7通过第一伸缩杆8连接托板4,托板4位于框架体3的内部,通过第一液压缸7工作,第一伸缩杆8带动托板4移动,进而带动硅片进入热水中,托板4的上表面设有滑轨6,滑轨6为T字形,滑轨6的数量为两条且等间距设置,滑轨6的上表面滑动卡装有滑板5,滑板5的下表面设有与滑轨6相对应的滑槽15,托板4的上表面一侧设有固定板11,固定板11的侧表面设有第二液压缸13,第一液压缸7和第二液压缸13进液口均与外部油路系统出液口连接,且外部油路系统为第一液压缸7和第二液压缸13提供动力,第二液压缸13通过第二伸缩杆14与滑板5连接,通过第二液压缸13工作,第二伸缩杆14带动滑板5沿滑轨6移动,进而带动硅片在热水中往复运动,加快了硅片的脱胶效率,滑板5的上表面设有卡柱9,卡柱9的横截面为L形,卡柱9的数量为四个且等间距设置,四个卡柱9的内侧为放置槽16,放置槽16内活动卡装有硅片放置架10,便于取放硅片放置架10,硅片放置架10为长方体框架,硅片放置架10的内部均匀分布有隔板17,相邻的两个隔板17之间为硅片槽18,硅片分隔放置,与热水充分接触。

在使用时:将硅片放入硅片槽18内,然后将硅片放置架10放入放置槽16内,再将框架体3放入热水中,启动外部油路系统,第一液压缸7工作,第一液压缸7通过第一伸缩杆8带动托板4移动,使硅片放置架10浸入到热水中,然后启动外部油路系统,第二液压缸13工作,第二液压缸13通过第二伸缩杆14带动滑板5沿滑轨6往复移动,进而滑板5带动硅片放置架10来回移动,加快硅片的脱胶效率。

本实用新型使用方便,硅片放入硅片放置架10内的硅片槽18,硅片分隔放置,与热水充分接触,第二液压缸13通过第二伸缩杆14带动滑板5沿滑轨6移动,进而带动硅片放置架10在热水中往复运动,加快了硅片的脱胶效率。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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