。
[0025]本发明与现有技术相比的有益效果:
[0026](I)本发明通过采用有机溶剂加热浸洗、低压汞灯照射和热处理、稀释的H2SO4: HF溶液对石英玻璃的刻蚀反应以及超声振动和去离子水高压喷淋等处理方式，将各种处理方法进行有机组合，确定了其先后次序及关键工艺参数的最佳范围，使各种处理方法之间相互配合，最大限度发挥作用，有效去除了石英玻璃表面的橡胶类沾污；
[0027](2)本发明各步骤的关键工艺参数的确定，有效促进了其下一个步骤的作用效果;
[0028](3)本发明采用了 H2SO4: HF溶液超声振动和去离子水高压喷淋，使液体在工件表面形成高速冲刷，有效去除沾污的同时，不需要毛刷等与工件物理接触，可避免擦洗等机械去除方法带来的工件损伤；通过HF对石英玻璃的刻蚀反应，去除掉纳米级厚度的工件表面层，可对前道工序清洗后仍残留的沾污产生根切去除作用，而H2SO4则起到调节pH值，促进刻蚀产物扩散的作用；
[0029](4)本发明通过有机溶剂加热浸洗，使沾污的橡胶成分产生溶胀和溶解，降低橡胶的交联性，增加不饱和分子链结构，有利于橡胶的老化，提高了低压汞灯照射和热处理的作用效果；
[0030](5)本发明通过低压汞灯照射和热处理，使沾污的橡胶成分产生老化，降低对石英玻璃的粘附性，便于后续超声振动和去离子水高压喷淋的清洗去除；
[0031](6)本发明通过超声振动和去离子水高压喷淋，有效去除沾污的同时，避免了擦洗等机械去除方法带来的工件损伤；
[0032](7)本发明通过稀释的H2SO4: HF溶液对石英玻璃的刻蚀反应，可对前道工序清洗后仍残留的沾污产生根切去除作用。
【附图说明】
[0033]图1为本发明流程图。
【具体实施方式】
[0034]以下结合附图及具体实例详细说明本发明。
[0035]本发明如图1所示，通过以下步骤实现:
[0036]1、将石英玻璃在50°C的丙酮中浸洗5小时；取出石英玻璃，利用常温去尚子水漂洗3遍，每遍5分钟；
[0037]2、将石英玻璃在常温常压下用100瓦的紫外线低压汞灯照射15小时，照射在不透紫外线的密闭腔室内进行，工件与低压汞灯的距离为10厘米；
[0038]3、将石英玻璃在400°C的空气中进行热处理5小时，热处理后自然降温；
[0039]4、将石英玻璃投入到40°(:的H2SO4: HF溶液中，同时施加超声振动，清洗20分钟，所述溶液的配比为H2SO4 (10% ),HF(2% )，去离子水(88% )，超声振动频率为132KHz，超声振动功率为200W ；
[0040]5、取出石英玻璃，利用常温去尚子水漂洗3遍，每遍5分钟，之后利用去尚子水尚压喷淋冲洗5分钟，压力0.3MPa ；
[0041]6、对清洗后的工件进行烘干干燥。
[0042]粘有橡胶沾污的石英玻璃，采用本发明清洗后，在50倍显微镜下观察，石英玻璃表面无橡胶沾污残留，说明本发明具有良好的橡胶沾污的清洗效果。
[0043]本发明未详细说明部分为本领域技术人员公知技术。
【主权项】
1.一种石英玻璃清洗方法，其特征在于通过以下步骤实现: 第一步，将石英玻璃浸泡在30°c?50°C的有机溶剂中2?6小时，取出后，利用常温去离子水漂洗干净； 第二步，将漂洗干净的石英玻璃在常温常压下用80?120瓦的紫外线低压汞灯照射10?15小时； 第三步，将经紫外线低压汞灯照射的石英玻璃在350°C?450°C的空气中热处理5?8小时，热处理后自然降温； 第四步，将自然降温至室温的石英玻璃浸泡到40°C?50°C的H2SO4=HF混合溶液中，同时施加超声振动，清洗15?30分钟后，利用常温去离子水漂洗干净； 第五步，将漂洗干净的石英玻璃利用去离子水高压喷淋冲洗5?10分钟，压力0.2?0.5Mpa ; 第六步，对高压喷淋冲洗后的石英玻璃干燥处理。2.根据权利要求1所述的一种石英玻璃清洗方法，其特征在于:所述第四步中H2SO4:HF混合溶液的配比为，H2SO4质量百分比为(5%?15% )，HF质量百分比为(I%?3% )，去呙子水质量百分比为(82%?94% )。3.根据权利要求1所述的一种石英玻璃清洗方法，其特征在于:所述第四步中超声振动频率为40?200KHz，超声振动功率为200?500W。4.根据权利要求1或3所述的一种石英玻璃清洗方法，其特征在于:所述第四步中超声振动为单一频率或两种以上频率混频。5.根据权利要求1所述的一种石英玻璃清洗方法，其特征在于:所述第一步中有机溶剂采用石油醚、丙酮或乙酸乙酯。6.根据权利要求1所述的一种石英玻璃清洗方法，其特征在于:所述第三步中紫外线低压汞灯照射在不透紫外线的密闭腔室内进行，石英玻璃与低压汞灯的距离小于15厘米。7.根据权利要求1所述的一种石英玻璃清洗方法，其特征在于:所述第六步中干燥方式为烘干、甩干或热氮气吹干。8.根据权利要求1所述的一种石英玻璃清洗方法，其特征在于:所述第一步和第四步中常温去离子水漂洗3?5遍，每遍5?10分钟。
【专利摘要】本发明提出一种石英玻璃清洗方法，通过采用有机溶剂加热浸洗、低压汞灯照射和热处理、稀释的H2SO4：HF溶液对石英玻璃的刻蚀反应以及超声振动和去离子水高压喷淋等处理方式，将各种处理方法进行有机组合，确定了其先后次序及关键工艺参数的最佳范围，使各种处理方法之间相互配合，最大限度发挥作用，有效去除了石英玻璃表面的橡胶类沾污。
【IPC分类】B08B11/00, B08B3/02, B08B3/08, B08B3/12, B08B7/00
【公开号】CN105195487
【申请号】CN201510468665
【发明人】秦淑斌, 袁枫, 江安然, 吴艳, 魏超, 刘洋, 隗春燕
【申请人】航天科工惯性技术有限公司
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年8月4日