专利名称：：氢透过分离薄膜的制作方法
技术领域：
：本发明涉及由具有高机械强度的Ni-Ti-Nb合金或Nb-Ti-Ni合金构成，因此能够进行厚度0.07mm(70nm)以下的薄膜化，结果在实用时能够显著提高薄膜化所产生的氢透过分离性能的氢透过分离薄膜。
背景技术：
：近年来，例如作为氢燃料电池或氢气体涡轮机等能量系统的燃料气体，高纯度氢气倍受关注，该高纯度氢气已知如下生产由将水电解而获得的混合气体或将液化天然气(LNG)水蒸气重整而获得的混合气体等含氢原料气体，如图5的概略说明图所示，使用外周部例如用Ni制等外框加固、且用材质上具有仅氢能够透过的功能的厚度O.l~3mm的氢透过分离膜分隔成左右两侧室、左侧室安装有含氬原料气体导入管和排气导出管、右侧室安装有高纯度氢气取出管的中央部设有不锈钢制等反应室的氢高纯度精制装置，将上述反应室加热至200300。C,由上述导入管导入含氢原料气体，在将通过上述氢透过分离膜而分离精制的高纯度氢气存在的右侧室内压保持在O.lMPa、而将上述含氢原料气体存在的左侧室内压保持在0.2~0.5MPa的条件下，通过上述氢透过分离膜，将高纯度氢气分离精制，从而生产。另外，众所周知上述氢透过分离膜还广泛用于通过上述氢透过分离膜进行氬的选择性移动的、例如烃的水蒸气重整工艺或苯'0环己烷反应等加氲/脱氬工艺等化学反应工艺中。而且，上述氬透过分离膜还已知由具有以下(a)成分组成和(P)的合金组织的Ni-Ti-Nb合金构成，(a)含有Ni:25~45原子％、Ti:26~50原子％、余量包含Nb和不可避免杂质(含有Nb:11~48原子％)的成分组成、(P)使用由铸锭利用放电加工切制的厚度0.1~3mm的铸造薄板材，如图2和图4的利用扫描型电子显微镜的组织照片(倍率2500倍(图2)和4000倍(图4))所示，以固溶有Ni的NbTi相和固溶有Nb的NiTi相的共晶组织为基体，在该基体中分散分布有初晶NbTi相(图4中的白色岛状物)的合金组织。专利文献l:特开2005-232491号公报
发明内容发明预解决的课题另一方面，包括上述的氢高纯度精制装置，对各种化学反应装置的高性能化的要求极为增强，与此同时，作为上述装置的结构构件而使用的氢透过分离膜也要求具备更高的氳透过分离性能，另外已知，一般为上述氢透过分离膜时，越减小其膜厚则氢透过分离性能越提高，因此正在积极地进行关于构成上述氢透过分离膜的Ni-Ti-Nb合金的高强度化的开发，但上述以往的氢透过分离膜中，由于构成其的Ni-Ti-Nb合金所具备的机械强度不充分，因此无法薄膜化至0.1mm以下的厚度，因而现实情况是无法达到令人满意的氢透过分离性能的提高。用于解决课题的方法因而，本发明人等从上述观点出发，为了寻求上述各种化学反应装置的高性能化，特别为了使作为其结构构件的氢透过分离膜的薄膜化成为可能，着眼于上述氢透过分离膜的高强度化进行研究，结果获得以下研究结果通过将上述氢透过分离膜特别规定为含有Nb:10-47原子%、Ti:20~52原子％、余量包含Ni和不可避免杂质(含有Ni:20~48原子％)的成分组成，利用辊急冷法将该合金熔融液制成厚度0.07mm以下的铸造箔材，为了防止氧化在惰性气体环境中或真空环境中、温度300~IIO(TC下加热保持规定时间的条件下对该铸造箔材实施调质热处理时，结果调质热处理材料如图1所示利用扫描型电子显微镜的组织照片(倍率2500倍)所示，成为在以包含Nb取代Ni-Ti金属间化合物中Ti的一部分的状态固溶含有的Ni-Ti(Nb)金属间化合物的基体(图1中用黑色表示)中，分散分布有在Nb中固溶Ni和Ti而成的Nb基固溶合金的微细粒(图1中用白色表示)的合金组织，该合金组织的Ni-Ti-Nb合金具有极高的机械强度，因此在作为氢透过分离膜实用时，可以使膜厚为0.07mm以下、长时间地发挥更为优异的氢透过分离性能。另外，本发明人等还获得以下研究结果通过将上述氢透过分离膜特别规定为含有Ni:10~32原子％、Ti:15~33原子％、余量包含Nb和不可避免杂质(含有Nb:48~70原子％)的成分组成，利用辊急冷法将该合金熔融液制成厚度0.07mm以下的铸造箔材，为了防止氧化在惰性气体环境中或真空环境中、温度300~1100。C下加热保持规定时间的条件下对该铸造箔材实施调质热处理时，结果调质热处理材料如图3所示利用扫描型电子显微镜的组织照片(倍率4000倍)所示，成为在包含Nb中固溶Ni和Ti而成的Nb基固溶合金的基体(图3中用白色表示)中，分散分布有以Nb取代Ni-Ti金属间化合物中Ti的一部分的状态固溶含有的Ni-Ti(Nb)金属间化合物的微细粒(图3中用黑色表示)的合金组织，该合金组织的Nb-Ti-Ni合金由于上述基体的Nb基固溶合金而确保了优异的氢透过分离性能，进而通过上述微细粒的Ni-Ti(Nb)金属间化合物在基体中的分散分布而具备极高的机械强度，因此在作为氢透过分离膜实际使用时，可以使膜厚薄膜化为0.07mm以下，该氬透过分离膜的薄膜化所带来的氢透过分离性能的提高与上述Nb基固溶合金基体所具有的优异氢透过分离性能相辅相成，长时间地发挥更为优异的氢透过分离性能。本发明基于上述研究结果而完成，为一种氢透过分离薄膜(下文有时称作"氢透过分离薄膜(I)"),其为包含Ni-Ti-Nb合金的氪透过分离薄膜，其特征在于，上述Ni-Ti-Nb合金包含通过辊急冷法而获得的厚度0.07mm以下的铸造箔材的调质热处理材料，具有下述(a)成分组成和(b)的合金组织(a)含有Nb:10~47原子％、Ti:20~52原子％、余量包含Ni:20~48原子％和不可避免杂质的成分组成，和(b)在以包含Nb取代Ni-Ti金属间化合物中Ti的一部分的状态固溶含有的Ni-Ti(Nb)金属间化合物的基体中，分散分布有在Nb中固溶Ni和Ti而成的Nb基固溶合金的微细粒的合金组织。另外，本发明为一种氢透过分离薄膜(下文有时称作"氢透过分离薄膜(II)"),其为包含Nb-Ti-Ni合金的氬透过分离薄膜，其特征在于，上述Nb-Ti-Ni合金包含通过辊急冷法而获得的厚度0.07mm以下的铸造箔材的调质热处理材料，具有下述(a，)成分组成和(b，)的合金组织(a，)含有Ni:10~32原子％、Ti:15~33原子％、余量包含Nb:48~70原子％和不可避免杂质的成分组成，和(b，)在包含Nb中固溶Ni和Ti而成的Nb基固溶合金基体中，分散分布有以Nb取代Ni-Ti金属间化合物中Ti的一部分的状态固溶含有的Ni-Ti(Nb)金属间化合物的微细粒的合金组织。发明效果本发明的氢透过分离薄膜(I)通过具有高机械强度的基体Ni-Ti(Nb)金属间化合物，能够薄膜化至0.07mm以下的厚度，该薄膜化所带来的氬透过分离性能的提高与作为微细粒均匀地分散分布于上述基体中的Nb基固溶合金所发挥的优异氢透过分离性能相辅相成，当将其用于各种化学反应装置中时，长期间地发挥优异的氬透过分离性能。另外，本发明的氢透过分离薄膜(II)通过在包含具有优异氢透过分离性能的Nb基固溶合金的基体中分散分布Ni-Ti(Nb)金属间化合物的微细粒而确保高机械强度，结果薄膜能够薄膜化至0.07mm以下厚度，该薄膜化所带来的氢透过分离性能的提高与上述Nb基固溶合金基体所具有的优异氢透过分离性能相辅相成，长期间地发挥更为优异的氩透过分离性能。图1为构成本发明氬透过薄膜(I)-19的Ni-Ti-Nb合金的扫描型电子显微镜的组织照片(倍率2500倍)。图2为构成以往氪透过薄膜(I)-8的Ni-Ti-Nb合金的扫描型电子显微镜的组织照片(倍率2500倍)。图3为构成本发明氢透过薄膜(II)-6的Nb-Ti-Ni合金的扫描型电子显微镜的组织照片(倍率4000倍)。图4为构成以往氪透过薄膜(II)-8的Ni-Ti-Nb合金的扫描型电子显微镜的组织照片(倍率4000倍)。图5为示例氬高纯度精制装置的概略说明图。接着，说明本发明的氢透过分离薄膜(I)中如上限定构成其的Ni-Ti-Nb合金组成的理由。U)NbNb成分如上所述以取4戈Ni-Ti金属间化合物中Ti的一部分的形态含有、形成构成基体的Ni-Ti(Nb)金属间化合物，因而除了提高上述基体的氬透过分离性能之外，还具有形成固溶含有Ni和Ti的Nb基固溶合金、作为微细粒分散分布在上述基体中、发挥优异氬透过分离性能的作用，其含量小于10原子％时，即便将薄膜的厚度薄膜化至0.07mm以下，也无法发挥所期待的优异氢透过分离性能，而含量超过47原子％时，则无法稳定地确保上述合金组织，因此将其含量规定为10~47原子％。(2)Ti和NiTi和Ni成分除了形成构成基体的Ni-Ti(Nb)金属间化合物、提高薄膜的机械强度、因此使得以0.07mm以下的厚度进行实用化成为可能之外，还具有固溶于作为微细粒分散分布于上述基体中的Nb基固溶合金、提高其机械强度的作用，但Ti和Ni的任一者的含量为Ti:小于20原子％、Ni:小于20原子％时，薄膜无法确保所期待的机械强度，以0.07mm以下厚度的实用化变难，而Ti和Ni任一者的含量超过Ti:52原子％、Ni:48原子％时，无法避免氳透过分离性能的降低，因此其含量分别^见定为Ti:20~52原子％、Ni:20~48原子％。接着，说明本发明的氢透过分离薄膜(II)中如上限定构成其的Nb-Ti-Ni合金组成的理由。(1，)NbNb成分如上所述除了形成包含固溶含有Ni和Ti的Nb基固溶合金的基体、发挥优异的氢透过分离性能的作用之外，还具有以取代Ni-Ti金属间化合物中Ti的一部分的形态含有、形成Ni-Ti(Nb)金属间化合物的微细粒、提高上述微细粒的氢透过分离性能的作用，但当其含量小于48原子％时，难以稳定地获得上述合金组织，膜特性产生不均，而其含量超过70原子％时，则上述Ni-Ti(Nb)金属间化合物微细粒的分布比例急剧地降低，结果薄膜的机械强度降低，无法以膜厚薄膜化至0.07mm以下的状态供于实用，因此将其含量规定为48~70原子％。(2，)Ti和NiTi和Ni成分除了形成分散分布于基体的Ni-Ti(Nb)金属间化合物微细粒、提高薄膜的机械强度、因此使得以0.07mm以下的厚度进行实用化成为可能之外，还具有固溶于构成上述基体的Nb基固溶合金、提高其机械强度的作用，但Ti和Ni的任一者的含量为Ti:小于15原子％、Ni:小于10原子％时，薄膜无法确保所期待的机械强度，结果以0.07mm以下厚度的实用化变难，而Ti和Ni任一者的含量超过Ti:33原子％、Ni:32原子％时，无法避免氢透过分离性能的降低，因此其含量分别规定为Ti:15~33原子％、Ni:10~32原子％。具体实施例方式接着，通过实施例具体地说明本发明的氢透过分离薄膜(I)和(II)。实施例<氢透过分离薄膜(I)>作为原料使用纯度99.9。/o的高纯度Nb散粒材料、纯度99.9%的高纯度Ni散粒材料和纯度99.5%的高纯度Ti海绵材料，分别以表l所示比例配合这些原料，在高纯度Ar环境中进行电弧熔融，制成铸块，在将该铸块截断为20mm见方的状态下，装入底部形成有具有长20mmx宽0.3mm尺寸的夹缝的石墨坩埚中，在0.06MPa的减压氩气环境中用高频率感应加热炉进行再次熔融，从上述夹缝以0.05MPa的喷射压将该金属熔融液吹射至以20m/sec的辊速度旋转的水冷铜辊的表面上，形成均具有长20mx宽20mm的平面尺寸、但厚度分别为表1所示平均厚度(任意5个位置的平均值)的Ni-Ti-Nb合金的铸造箔材，接着将其装入真空炉中，在l(T2Pa以下的真空中分别在300~110(TC范围内的^见定温度下保持5小时后，在炉冷的条件下实施调质热处理，调质热处理后截断成宽20mmx长60mm的平面尺寸，从而分别制造本发明氢透过分离薄膜(下文称作本发明氢透过薄膜)(1)-1~(1)-24。另外，为了进行比较，同样作为原料使用纯度99.9。/。的高纯度Nb散粒材料、纯度99.9%的高纯度Ni散粒材料和纯度99.5%的高纯度Ti海绵材料,分别以表2所示比例配合这些原料，在高纯度Ar环境中进行电弧熔融，进行铸造，制成具有直径80mmx厚度10mm的尺寸的Ni-Ti-Nb合金铸块，利用放电加工从该铸块中截断出均具有宽20mmx长60mm的平面尺寸、但厚度分别为表2所示平均厚度(任意5个位置的平均值)的薄板材，从而分别制造由铸块截断薄板材构成的以往氢透过分离薄膜(下文称作以往氢透过薄膜)(1)-1~(I)-IO。对于所获得的本发明氢透过薄膜(I)-1~(I)-24和以往氢透过薄膜(1)-1~(I)-IO,使用能量分散型荧光x射线分析装置测定其成分组成时，均显示与表1、2所示配合组成基本相同的分析值，另外，使用扫描型电子显微镜和X射线衍射装置观察该组织时，上述本发明氢透过薄膜(1)-1~U)-24中，如图1的本发明氢透过薄膜(I)-19的合金组织所示，均显示在以包含Nb取代Ni-Ti金属间化合物中Ti的一部分的状态固溶含有的Ni-Ti(Nb)金属间化合物的基体中，分散分布有在Nb中固溶Ni和Ti而成的Nb基固溶合金的微细粒的合金组织，而上述以往氢透过薄膜(I)-1~(I)-IO中，如图2的以往氢透过膜(I)-8的合金组织所示，均显示以固溶有Ni的NbTi相和固溶有Nb的NiTi相的共晶组织为基体，在该基体中分散分布有初晶NbTi相的合金组织。接着，在各个上述本发明氢透过薄膜(I)-1~(1)-24和以往氢透过薄膜(1)-1~(I)-10的两面上利用溅射法蒸镀形成厚度O.lpm的Pd薄膜(此时也可以利用电镀法形成)、且用具有各自横向外尺寸20mmx纵向外尺寸60mmx框宽度5mmx框厚度0.5mm尺寸的2张铜制加固框体从两侧挟持，在将上述各种透过膜固定于上述加固框体的状态下，设置在与图5所示结构的氢高纯度精制装置同样结构的氢透过评^f介装置的反应室内，将上述反应室内加热至300°C，向反应室的左侧室导入氢气，首先使反应室的左侧室和右侧室的内压为O.lMPa,接着使上述右侧室的内压保持在O.lMPa，同时以0.1MPa/5分钟的速度提高上述左侧室的内压，对于本发明氢透过薄膜(I)-1~(I)-7和以往氩透过膜(I)-1、(I)-2而言升压至0.7MPa、对于本发明氢透过薄膜(I)-8~(I)-24和以往氬透过膜(I)-3~(I)-9而言升压至0.5MPa、对于以往氢透过膜(I)-10而言升压至0.3MPa，在该条件下保持l小时时，利用气体流量计测定透过的氢气的流量(表1、2中用初期透过氬流量表示)，进而在该条件下、即使右侧室的内压升压至0.1MPa、使左侧室的内压分别升压至0.7MPa、0.5MPa和0.3MPa，在该条件下保持1小时后在相同条件下继续20小时时，同样测定透过的氢气的流量(表1、2用后期透过氢流量表示)，将它们的测定结果示于表1、2中。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>表2<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>如表1、2所示可知，本发明氢透过薄膜(I)-1~(I)-24均通过基体的Ni-Ti(Nb)金属间化合物确保了高的机械强度，能够薄膜化至0.07mm以下的厚度，因此与作为微细粒分散分布于上述基体中的Nb基固溶合金所发挥的优异氢透过分离性能相辅相成，长期间地发挥了优异的氢透过分离性能、显示优异的持久性(使用寿命)，而以往氢透过薄膜(I)-1~(I)-IO从机械强度方面出发均无法使膜厚达到O.lmm以下，因此氢透过分离性能低。<氢透过分离薄膜(II)〉作为原料使用纯度99.9。/。的高纯度Nb散粒材料、纯度99.9%的高纯度Ni散粒材料和纯度99.5%的高纯度Ti海绵材料，分别以表3所示比例配合这些原料，在高纯度Ar环境中进行电弧熔融，制成铸块，在将该铸块截断为20mm见方的状态下，装入底部形成有具有长20mmx宽0.3mm尺寸的夹缝的石墨蚶埚中，在0.06MPa的减压氩气环境中用高频率感应加热炉进行再次熔融，从上述夹缝以0.05MPa的喷射压将该金属熔融液吹射至以20m/sec的辊速度旋转的水冷铜辊的表面上，形成均具有长20mx宽20mm的平面尺寸、但厚度分别为表3所示平均厚度(任意5个位置的平均值)的Nb-Ti-Ni合金的铸造箔材，接着将其装入真空炉中，在l(T2Pa以下的真空中分别在300-IIO(TC范围内的规定温度下保持5小时后，在炉冷的条件下实施调质热处理，调质热处理后截断成宽20mmx长60mm的平面尺寸，从而分别制造本发明氬透过分离薄膜(下文称作本发明氢透过薄膜)(II)-1~(II)-13。另外，为了进行比较，同样作为原料使用纯度99.9。/。的高纯度Nb散粒材料、纯度99.9。/。的高纯度Ni散粒材料和纯度99.5%的高纯度Ti海绵材料，分别以表3所示比例配合这些原料，在高纯度Ar环境中进行电弧熔融，进行铸造，制成具有直径80mmx厚度10mm的尺寸的Nb-Ti-Ni合金铸块，利用放电加工从该铸块中截断出均具有宽20mmx长60mm的平面尺寸、但厚度分别为表3所示平均厚度(任意5个位置的平均值)的薄板材，从而分别制造包含铸块截断薄板材的以往氢透过分离薄膜(下文称作以往氢透过薄膜)(II)-1~(II)-10。对于所获得的本发明氢透过薄膜(II)-1~(II)-13和以往氢透过薄膜(11)-1~(II)-10,使用能量分散型荧光X射线分析装置测定其成分组成时，均显示与表3所示配合组成基本相同的分析值，另外，使用扫描型电子显微镜和X射线衍射装置观察该组织时，上述本发明氢透过薄膜(11)-1~(n)-13中，如图3的本发明氲透过薄膜(II)-6的合金组织所示，均显示在包含Nb中固溶Ni和Ti而成的Nb基固溶合金的基体中，分散分布有以Nb取代Ni-Ti金属间化合物中Ti的一部分的状态固溶含有的Ni-Ti(Nb)金属间化合物的微细粒的合金组织，而上述以往氢透过薄膜(II)-1~(II)-IO中，如图4的以往氢透过膜(II)-8的合金组织所示，均显示以固溶有Ni的NbTi相和固溶有Nb的NiTi相的共晶组织为基体，在该基体中分散分布有初晶NbTi相的合金组织。接着，在各个上述本发明氢透过薄膜(II)-1~(II)-13和以往氢透过薄膜(11)-1~(II)-10的两面上利用溅射法蒸镀形成厚度O.lpm的Pd薄膜(此时也可以利用电镀法形成)、且用具有各自横向外尺寸20mmx纵向外尺寸60mmx框宽度5mmx框厚度0.5mm尺寸的2张铜制加固框体从两侧挟持，在将上述各种透过膜固定于上述加固框体的状态下，设置在与图5所示结构的氢高纯度精制装置同样结构的氢透过评价装置的反应室内，将上述反应室内加热至300°C,向反应室的左侧室导入氢气，首先使反应室的左侧室和右侧室的内压为O.lMPa,接着使上述右侧室的内压保持在O.lMPa，同时以0.1MPa/5分钟的速度提高上述左侧室的内压，对于本发明氢透过薄膜(II)-1~(II)-13而言升压至0.3MPa、对于以往氬透过膜(II)-1、(II)-2而言升压至0.7MPa、对于以往氬透过膜(II)-3~(II)-9而言升压至0.5MPa、对于以往氲透过膜(II)-10而言升压至0.3MPa，在该条件下保持1小时时，利用气体流量计测定透过的氢气的流量(表3中用初期透过氢流量表示)，进而在该条件下继续20小时时，同样测定透过的氢气的流量(表3中用后期透过氢流量表示)，将它们的测定结果示于表3中。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>(表中，※表示"铸块截断薄板材"如表3所示可知，本发明氢透过薄膜(II)-1~(II)-13均通过分散分布于基体的Ni-Ti(Nb)金属间化合物的微细粒确保了高的机械强度，能够薄膜化至0.07mm以下的厚度，因此氢透过分离性能进一步提高，且与上述基体的Nb基固溶合金所具有的优异氢透过分离性能相辅相成，长期间地发挥了优异的氢透过分离性能，而以往氢透过薄膜(II)-1~(n)-10从机械强度方面出发均无法使膜厚达到0.1mm以下，因此氬透过分离性能低。产业实用性本发明的氢透过分离薄膜由具有高机械强度的Ni-Ti-Nb合金或Nb-Ti-Ni合金构成，能够薄膜化至厚度0.07mm以下，在实用时长期地发挥优异的氢透过分离性能，因此足以应对氢透过分离膜作为结构构件而使用的各种化学反应装置的高性能化要求。因此，本发明在产业上非常有用。权利要求1.一种氢透过分离薄膜，其为包含Ni-Ti-Nb合金的氢透过分离薄膜，其特征在于，该Ni-Ti-Nb合金包含通过辊急冷法而获得的厚度0.07mm以下的铸造箔材的调质热处理材料，具有下述(a)成分组成和(b)的合金组织(a)含有Nb10～47原子％、Ti20～52原子％、余量包含Ni20～48原子％和不可避免杂质的成分组成，和(b)在以包含Nb取代Ni-Ti金属间化合物中Ti的一部分的状态固溶含有的Ni-Ti(Nb)金属间化合物的基体中，分散分布有在Nb中固溶Ni和Ti而成的Nb基固溶合金的微细粒的合金组织。2.—种氢透过分离薄膜，其为包含Nb-Ti-Ni合金的氢透过分离薄膜，其特征在于，该Nb-Ti-Ni合金包含通过辊急冷法而获得的厚度0.07mm以下的铸造箔材的调质热处理材料，具有下述(a，)成分组成和(b')的合金组织(a，)含有Ni:10~32原子％、Ti:15~33原子％、余量包含Nb:48~70原子％和不可避免杂质的成分组成，和(b，)在包含Nb中固溶Ni和Ti而成的Nb基固溶合金的基体中，分散分布有以Nb取代Ni-Ti金属间化合物中Ti的一部分的状态固溶含有的Ni-Ti(Nb)金属间化合物的微细粒的合金组织。全文摘要本发明提供氢透过分离薄膜，其为包含Ni-Ti-Nb合金的氢透过分离薄膜，上述Ni-Ti-Nb合金包含通过辊急冷法而获得的厚度0.07mm以下的铸造箔材的调质热处理材料，其具有(a)含有Nb10～47原子％、Ti20～52原子％、余量包含Ni和不可避免杂质(含有Ni20～48原子％)的成分组成；和(b)在以包含Nb取代Ni-Ti金属间化合物中Ti的一部分的状态固溶含有的Ni-Ti(Nb)金属间化合物的基体中，分散分布有在Nb中固溶Ni和Ti而成的Nb基固溶合金的微细粒的合金组织；以及氢透过分离薄膜，其为包含Nb-Ti-Ni合金的氢透过分离薄膜，上述Nb-Ti-Ni合金包含通过辊急冷法而获得的厚度0.07mm以下的铸造箔材的调质热处理材料，其具有(a’)含有Ni10～32原子％、Ti15～33原子％、余量包含Nb和不可避免杂质(含有Nb48～70原子％)的成分组成；和(b’)在包含Nb中固溶Ni和Ti而成的Nb基固溶合金的基体中，分散分布有以Nb取代Ni-Ti金属间化合物中Ti的一部分的状态固溶含有的Ni-Ti(Nb)金属间化合物的微细粒的合金组织。文档编号B01D71/02GK101394918SQ200780007880公开日2009年3月25日申请日期2007年3月8日优先权日2006年3月8日发明者喜多晃一,石川和宏,青木清申请人:三菱麻铁里亚尔株式会社;国立大学法人北见工业大学