生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备和工艺的制作方法
【专利摘要】本发明提供了一种生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备和工艺。所述淋洗处理设备包括：用于淋洗尾气的尾气淋洗塔；水解池，所述水解池与所述尾气淋洗塔相连，用于接纳从所述尾气淋洗塔排出的废水；中和槽，所述中和槽与所述水解池相连；和刮渣机，所述刮渣机可移动地设置在所述水解池上方，用于将所述水解池内的废水表面漂浮的渣自动地刮到所述中和槽内。由此可以有效自动地处理生产多晶硅过程中产生的尾气经过淋洗生成的漂浮在废水表面的渣，改变了传统工艺采用人工打捞的低效收集方式，改善了工人高强度劳动。
【专利说明】生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备和工艺
【技术领域】
[0001]本发明涉及多晶硅生产【技术领域】，具体地涉及一种生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备和处理工艺。
【背景技术】
[0002]利用三氯硅烷还原生成多晶硅过程中产生的尾气通常需要经过水淋洗后达标排放。但是，淋洗后的废水中漂浮大量的渣(SiO2，俗称白炭黒)。渣的粒径很小属纳米级，用水刚淋洗下来漂浮在水面。大量的渣在输送过程中经常堵塞水泵及管道。为此，目前采用人工打捞的方式收集废水内的渣。然而采用人工打捞，人工输送，所需工人较多，工人劳动强度较大，劳动环境较差，所需空间大。
[0003]由此，生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备和处理工艺有待改进。
【发明内容】
[0004]本发明旨在至少在一定程度上解决现有技术中的上述技术问题之一。为此，本发明的目的在于提出一种生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备和工艺。利用根据本发明实施例的设备依据本发明实施例的工艺，可以有效地处理多晶硅生产所产生的尾气，提高了多晶硅尾气处理的效率，节省了人工劳动强度，改善了劳动环境。
[0005]根据本发明第一方面的实施例提出了一种生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备，包括:用于淋洗尾气的尾气淋洗塔；水解池，所述水解池与所述尾气淋洗塔相连，用于接纳从所述尾气淋洗塔排出的废水；中和槽，所述中和槽与所述水解池相连；和刮渣机，所述刮渣机可移动地设置在所述水解池上方，用于将所述水解池内的废水表面漂浮的渣刮到所述中和槽内。
[0006]根据本发明实施例的生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备，可以自动地处理生产多晶硅过程中产生的尾气经过淋洗生成的漂浮在废水表面的渣，不仅可以有效地收集所产生的废渣，提高了多晶硅尾气处理的效率，并且彻底改变了传统工艺采用人工打捞的低效收集方式，改善了工人高强度劳动。
[0007]优选地，所述中和槽内设有搅拌装置。由此可以提高中和反应的效率和效果。
[0008]优选地，所述搅拌装置从所述中和槽的上方向下伸入所述中和槽。
[0009]优选地，所述中和槽的下部设有出渣口，所述出渣口连接有渣泵。
[0010]经过中和反应的废渣沉降在中和槽的下部，通过在所述中和槽的下部设有出渣口，并利用所述出渣口连接的渣泵可以有效地转移经过中和的废渣，从而有利于后续对废渣的进一步处理。
[0011]优选地，所述生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备进一步包括与所述渣泵相连的压滤机。
[0012]由于经过中和反应的废渣是含有水分的，利用与渣泵相连的压滤机可以将经过中和处理的废渣经渣泵输送至压滤机进行脱水处理，从而有效地提高处理废渣的效率。[0013]优选地，所述中和槽和所述水解池一体形成。由此，经过淋洗的生产多晶硅尾气可以在水解池中进行充分水解后直接通过刮渣机将水面漂浮的纳米级废渣转移到一体形成的中和槽中，避免了中间废渣的存留和损失，可以尽可能多的将本设备系统中经过水解产生的废渣进行中和反应，进而提高了生产多晶硅尾气的处理效率。
[0014]优选地，所述中和槽上方设有用于将石灰自动添加到中和槽内的中和剂添加装置。
[0015]在中和槽中是利用中和剂石灰与经过水解生成的废渣进行的中和反应的，通过设置的中和剂添加装置可以将中和剂石灰均匀有效地加入中和槽中内，从而提高中和反应进行的效率。
[0016]根据本发明第二方面的实施例提供了 一种生产多晶娃产生的尾气的淋洗处理工艺，包括以下步骤:对生产多晶硅产生的尾气进行淋洗；将淋洗得到的废水输送到水解池；利用刮渣机将水解池内的废水表面漂浮的渣刮到中和槽内；和向中和槽内投放石灰中和刮至Ij中和槽内的渣。
[0017]根据本发明实施例的生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理工艺，可以有效自动地处理生产多晶硅过程中产生的尾气经过淋洗生成的漂浮在废水表面的渣，由此不仅可以有效地收集所产生的废渣，提高了多晶硅尾气处理的效率，并且彻底改变了传统工艺采用人工打捞的低效收集方式，改善了工人高强度劳动。
[0018]优选地，所述生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理工艺进一步包括将中和后的渣输送到压滤机脱水后进行废固处理；和将水解池内的废水送至废水处理厂进行处理。
[0019]由此，可有效地处理利用压滤机进行脱水处理的废渣，并且由于该废渣经过了中和处理，对其进行废固处理可以达到环保要求；此外将水解池内的废水送至废水处理厂进行处理可以达到有效循环利用的目的，节省了能源。
[0020]优选地，在中和渣的过程中同时搅拌。由此提高中和效果。
[0021]本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
【专利附图】
【附图说明】
[0022]本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中:
[0023]图1是根据本发明实施例的生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备的示意图。
[0024]图2是根据本发明实施例的生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理工艺的流程示意图。
[0025]附图标记:100:尾气淋洗塔；200:水解池；300:中和槽；400:刮渣机；500:搅拌装置；600:出渣口 ；700:中和剂添加装置。
【具体实施方式】
[0026]下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。[0027]在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时
针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
[0028]在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
[0029]在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0030]下面首先参考图1描述根据本发明实施例的生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备。根据本发明实施例的生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备包括:尾气淋洗塔100，水解池200，中和槽300和刮渣机400。
[0031]尾气淋洗塔100用于淋洗生产多晶硅产生的尾气，例如尾气淋洗塔100的尾气进口可以与反应炉(未示出)的尾气出口相连。
[0032]水解池200与尾气淋洗塔100相连，用于接纳从尾气淋洗塔100排出的废水。这里，相连应作广义理解，只要尾气淋洗塔100排出的废水能够输送到水解池200即可，例如尾气淋洗塔100的废水排出管可以直接插入到水解池200内，或者尾气淋洗塔100排出的废水通过沟道流到水解池200内。
[0033]中和槽300与水解池200相连。刮渣机400可移动地设置在水解池200上方，以将水解池200内的废水表面漂浮的渣刮到中和槽300内。例如，在水解池200的顶部设置导轨，刮渣机400沿导轨可移动，刮渣机400的刮渣板伸入到水解池200内，以将废水表面漂浮的渣刮到中和槽300内。优选地，可以设置多个刮渣机400，多个刮渣机400可以平行地移动。
[0034]根据本发明实施例的生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备，可以有效自动处理生产多晶硅过程中产生的尾气经过淋洗生成的漂浮在废水表面的渣，不仅可以有效地收集所产生的废渣，提高了多晶硅尾气处理的效率，并且彻底改变了传统工艺采用人工打捞的低效收集方式，改善了工人高强度劳动。
[0035]根据本发明的实施例，中和槽300的位置并不受特别限制，只要可以接纳刮渣机400从水解池200收集的渣即可。根据本发明的具体示例，中和槽300设置在水解池200的下游，并且中和槽300和水解池200 —体形成，例如通过隔墙将一个池子隔出中和槽300和水解池200。
[0036]由此，经过淋洗的生产多晶硅尾气可以在水解池中进行充分水解后直接由刮渣机将水面漂浮的纳米级废渣刮到中和槽中，避免了中间废渣的存留和损失，提高了生产多晶娃尾气的处理效率。
[0037]在本发明的一些具体示例中，中和槽300内设有搅拌装置500，搅拌装置500从中和槽300的上方向下伸入中和槽300。通过搅拌装置可以提高中和槽300内部中和反应的效率和效果。
[0038]在本发明的另一个具体示例中，中和槽300的下部设有出渣口 600，出渣口 600连接有渣泵。经过中和反应的废渣沉降在中和槽300的下部，通过渣泵从出渣口 600排出废渣，以对废渣进行后续处理。
[0039]根据本发明的一些实施例中，优选地，中和槽300上方设有用于将石灰自动添加到中和槽300内的中和剂添加装置700，中和剂添加装置700可以自动地将石灰加入到中和槽300内。根据本发明的实施例，可以进一步设置用于控制中和剂添加装置700添加中和剂的流量的控制单元，以控制单位时间内加入的中和剂量，从而控制中和反应进行的程度，从而不仅提高中和反应的效率并且保证中和反应的安全进行，避免产生局部剧烈反应而造成的安全危险。
[0040]根据本发明的实施例，中和槽300中排出的废渣可以送至废固处理厂进行符合环境排放标准的处理。优选地，首先对通过渣泵从中和槽300的出渣口 600排出的废渣进行脱水处理，以便出去废渣中的水分。例如，可以利用与所述渣泵相连的压滤机进行脱水处理。
[0041]下面参考图2并结合图1描述根据本发明实施例的生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理工艺。根据本发明实施例的生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理工艺包括以下步骤:对生产多晶硅产生的尾气进行淋洗；将淋洗得到的废水输送到水解池；利用刮渣机将水解池内的废水表面漂浮的渣自动地刮到中和槽内；和向中和槽内投放石灰中以中和中和槽内的渣。
[0042]根据本发明实施例的生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理工艺，可以有效自动地处理生产多晶硅过程中产生的尾气经过淋洗生成的漂浮在废水表面的渣，由此不仅可以有效地收集所产生的废渣，提高了多晶硅尾气处理的效率，并且彻底改变了传统工艺采用人工打捞的低效收集方式，改善了工人高强度劳动。
[0043]更具体地，生产多晶硅的尾气首先在尾气淋洗塔中被淋洗，淋洗产生的废水由尾气淋洗塔排出到水解池内，废水表面漂浮有大量的渣；废水在水解池200中经过充分时间的水解反应也会产生大量的渣而漂浮在水解池表面。
[0044]驱动刮渣机移动，从而将漂浮在废水表面的渣刮到位于水解池下流的中和槽内。利用刮渣机可以高效自动地收集漂浮在水解池表面的粒径很小的属纳米级的渣，而且避免了设置输送管道而易导致的水泵及管道的堵塞问题，也节省了传统人工打捞收集方式的劳动力，进而提高了处理生产多晶硅尾气的效率，节省了人力，并达到了保护环境的目的。
[0045]根据本发明的实施例，所述生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理工艺进一步包括将中和后的渣输送到压滤机脱水后进行废固处理；和将水解池内的废水送至废水处理厂进行处理。由此，可有效地处理利用压滤机进行脱水处理的废渣，并且由于该废渣经过了中和处理，对其进行废固处理可以达到环保要求；此外将水解池内的废水送至废水处理厂进行处理可以达到有效循环利用的目的，节省了能源。
[0046]在本发明的一些实施例中，在中和渣的过程中同时搅拌，以提高中和的效率和效果O
[0047]在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例进行接合和组合。
[0048]尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
【权利要求】
1.一种生产多晶娃产生的尾气的淋洗处理设备，其特征在于，包括: 用于淋洗尾气的尾气淋洗塔； 水解池，所述水解池与所述尾气淋洗塔相连，用于接纳从所述尾气淋洗塔排出的废水； 中和槽，所述中和槽与所述水解池相连；和 刮渣机，所述刮渣机可移动地设置在所述水解池上方，用于将所述水解池内的废水表面漂浮的渣自动地刮到所述中和槽内。
2.根据权利要求1所述的生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备，其特征在于，所述中和槽内设有搅拌装置。
3.根据权利要求2所述的生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备，其特征在于，所述搅拌装置从所述中和槽的上方向下伸入所述中和槽。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备，其特征在于，所述中和槽的下部设有出渣口，所述出渣口连接有渣泵。
5.根据权利要求4所述的生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备，其特征在于，还包括与所述渣泵相连的压滤机。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备，其特征在于，所述中和槽和所述水解池一体形成。
7.根据权利要求6中所述的生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备，其特征在于，所述中和槽上方设有用于将石灰自动添加到中和槽内的中和剂添加装置。
8.一种生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理工艺，其特征在于，包括以下步骤: 对生产多晶硅产生的尾气进行淋洗； 将淋洗得到的废水输送到水解池； 利用刮渣机将水解池内的废水表面漂浮的渣自动地刮到中和槽内；和 向中和槽内投放石灰以中和中和槽内的渣。
9.根据权利要求8所述的生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理工艺，其特征在于，还包括: 将中和后的渣输送到压滤机脱水后进行废固处理；和 将水解池内的废水送至废水处理厂进行处理。
10.根据权利要求8所述的生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备，其特征在于，在中和渣的过程中同时搅拌。
【文档编号】B01D53/14GK103432871SQ201310404409
【公开日】2013年12月11日 申请日期:2013年9月6日 优先权日:2013年9月6日
【发明者】陈希勇, 叶绍成, 张志刚, 杨永亮, 严大洲 申请人:中国恩菲工程技术有限公司