涂覆工具的制作方法

本申请涉及一种用于涂覆形成单块的载体的涂覆工具。

背景技术：

由于特别是在东亚国家大量汽车极大地增长，汽车尾气(exhaust)的减少具有很大的重要性。全世界若干清洁空气的法令试图将汽车对空气的污染保持在相应水平。在这方面，越来越多的严格立法强制汽车制造商和供应商应用减少源于车辆的内燃发动机的有毒污染物的技术。一个技术领域涉及壁流式流过或流入类型的所谓蜂窝体上或中的尾气污染物的催化剂燃烧。

通常，所述单块本体是由例如金属或者堇青石制成的并且必须由在驾驶状况下在催化地破坏尾气中的有毒污染物方面有效的层来涂覆。已经通过相对于在氧化或者还原尾气环境下的污染物的主反应在化学性质上更改催化作用的层获得了很大改进。第二途径是应用某些涂覆策略以便利用手边的材料尽可能高地增加活性。因此，若干专利申请已经研究标准工艺和装置/工具来涂覆所述单块载体。例如，以下所选的专利公开文件分别公开了所述工艺的突出方面，例如涂覆设备、涂覆方法或者涂覆站的特定单元(WO9947260A1；US4550034；US4039482；WO9748500A1；US6478874B1；US20020178707A1；DE19781838T1；WO2011080525A1；US4191126；US6627257B1；US6548105B2；US20080107806A1；US6149973；US6753294B1)。

为了进一步改进涂覆所述单块本体[缩写：单块]，已经提供了一种用于涂覆的工具，其允许在使用期间以尽可能最少时间精密地涂覆所述单块以便保证高活性而同时降低生产成本。

在WO2015140630专利申请中描述了所述工具，其涉及一种涂覆工具，包括：

用于可逆地保持和固定待以载体涂料(washcoat)涂覆的催化剂单块的第一器件；

控制载体涂料流入单块中的第二器件；

所述第二器件被如此附连至所述第一器件，以使得在涂覆工艺期间所述第二器件在载体涂料到达单块之前接触到载体涂料；

所述第二器件具有包含孔和通道的板的形式，在使用时，所述孔具有朝向载体涂料的进口侧和朝向单块的出口侧，所述通道提供了供载体涂料流过的从进口侧至出口侧的通路；

其中所述通道的至少一部分沿其轴线具有在载体涂料的进口侧处比通道内部的点处宽的不对称通道宽度。

通过应用所述涂覆工具，待被涂覆在单块壁上或单块壁中的载体涂料在其接触到单块载体本体之前首先被迫流过第二器件的不对称孔。所述不对称孔在单块载体本体内部实现载体涂料区域的更均匀分布，并且能将涂覆步骤的进度加速到可观程度。事已做完时，可能产生处于规格中的更多催化剂，从而引起极大地改善了周期时间(与标准工具相比每次涂覆少20％-50％的时间)，并且因此致使每件的成本减少。

虽然该已知的涂覆工具允许改善用于涂覆一个单块的周期时间，但是在催化剂装载(并且因此涂覆)能力方面留有限制，因为其仅授予催化剂-催化剂(catalyst-by-catalyst)的涂覆工艺。

技术实现要素：

因此，还存在改善涂覆期间的周期时间并进一步减少每个处理件的涂覆时间以便导致涂覆工艺的成本进一步减少的需求。

因此，本实用新型的目的是通过一种涂覆工具解决减少每件涂覆成本的需求，所述涂覆工具包括：

-第一器件，所述第一器件用于可逆地保持和固定多个催化剂单块，所述单块具有待被用载体涂料涂覆的内表面，

-第二器件，所述第二器件在涂覆工艺期间控制所述载体涂料至所述单块的流入，所述第二器件被附连至所述第一器件并且被设置成连接至载体涂料容器，以使得在涂覆工艺期间所述第二器件在所述载体涂料到达所述单块之前接触从所述载体涂料容器输送的载体涂料，所述第二器件包括多个第一穿孔壁，所述第一穿孔壁中的每一个均被设置成流体地连接至一单块，所述第一穿孔壁包括孔眼，每个孔眼具有当所述第二器件被附连至所述载体涂料容器时朝向所述载体涂料容器取向的进口侧和朝向所述单块取向的出口侧，每个孔眼包括提供从所述进口侧至所述出口侧连通的通道；和

-第三扩散器件，所述第三扩散器件被附连至所述第二器件，以使得在涂覆工艺期间，所述第三扩散器件在载体涂料到达第二器件之前接触从所述载体涂料容器输送的载体涂料，所述第三扩散器件是包括多个孔的第二穿孔壁，所述第三扩散器件的每一个孔设有在涂覆工艺期间且当所述第二器件被附连至所述载体涂料容器时朝向所述载体涂料容器取向的进口侧和朝向所述第二器件取向的出口侧，第三扩散器件的孔的所述进口侧和出口侧彼此流体地连接(用于载体涂料流过所述第三扩散器件的孔)；和

-设置在所述第二器件和第三扩散器件之间的腔室，所述腔室包括封闭空腔，该封闭空腔流体连接至所述多个第一穿孔壁的孔眼的进口侧和所述第三扩散器件的多个孔的出口侧，用于载体涂料流过，

所述第三扩散器件是在涂覆工艺期间使载体涂料从所述载体涂料容器扩散到所述腔室的封闭空腔中的器件，以便当载体涂料流过所述扩散器件时使载体涂料均匀化，所述腔室的所述封闭空腔具有足够的体积，以便在涂覆工艺期间容纳足够量的载体涂料，从而用于至少部分地涂覆多个所述单块，所述封闭空腔的所述体积足以在涂覆工艺期间允许由第三扩散器件所扩散的载体涂料在所述腔室中保持在均匀状态下。

优选地，所述第三扩散器件具有总表面，并具有介于所述总表面的20％到40％之间且包含20％和40％的孔密度。

优选地，所述第三扩散器件具有板的形状，所述板具有几何中心，所述第三扩散器件的所述孔沿着从所述几何中心生成的多个等间距的半径分布。

优选地，对于所述板的各个半径，所述第三扩散器件的这些孔以规则的间隔分布。

优选地，所述第三扩散器件的孔是凹槽状的并且沿着每一个半径分布，所述孔中的每一个具有孔长度和孔宽度，以便孔长度和孔宽度具有在10和30之间且包括10和30的比值。

优选地，所述封闭空腔由以板状的所述第三扩散器件为底部和以第二器件为顶部的筒状部所限定出，筒状的所述封闭空腔具有第一直径，所述第一直径比第二器件的所述第一穿孔壁中的每一个的孔眼和通道的第二平均直径宽。

优选地，板状的所述第三扩散器件具有凹形形状，所述凹形形状具有沿与第二器件相反的方向取向的凹度。

优选地，孔长度和孔宽度具有在10和25之间且包括10和25的比值。

优选地，孔长度和孔宽度具有在10和20之间且包括10和20的比值。

优选地，孔长度和孔宽度具有在10和15之间且包括10和15的比值。

当被附连到涂覆腔室的载体涂料容器时，在所述涂覆腔室中使用期间，所述涂覆工具允许在与使用WO2015140630中所述的单涂覆式工具时遇到的周期时间相同或者稍长的单个周期时间中同时和类似(或者相同)地涂覆多个单块，以使得通过使用多涂覆式工具涂覆单块的数量和涂覆时间之间的平衡相对于该使用保持为正。

在本实用新型的框架中，当单块被流体地连接至连接于第一器件的涂覆腔室时涂覆周期[缩写：周期]开始。

涂覆腔室包括：i)载体涂料储罐；ii)第三器件；iii)腔室；和iv)第一器件和第二器件。

一旦单块被流体地连接至第一支承器件上，则载体涂料被从载体涂料容器泵送到单块的内表面。

所述载体涂料通过腔室中的第三扩散器件输送，并且经由每一个单块中的第二器件的每一个穿孔壁同时且按可重复的方式进一步分配。

术语“同时地”在此是指所有的单块在同一时间内被涂覆的事实。

术语“可重复的”在此是指对于通过使用根据本实用新型的涂覆工具涂覆的每一个单块的涂层(优选就涂层厚度和成分分配而言)是基本上相同的。

当执行涂覆时，在泵送并维持单块中的载体涂料预定时间之后，没有被涂覆到单块的内表面上或内表面中的所述载体涂料经由例如低压吸力排放，并且一旦已涂覆的单块被从其支承器件(第一器件)上释放则结束周期。

通过在涂覆工具中设有以下装置而确保了在一个周期中执行的多个单块(所述单块由第一器件支承并且流体地连接至第二器件)的同时和可重复的多重涂覆，i)第三扩散器件，因为其被流体地连接至第二器件，所以在根据本实用新型的涂覆工具的涂覆工艺中的使用期间，其允许从载体涂料容器提供给腔室的载体涂料的均化作用；和ii)所述腔室具有预定体积，以允许保持所提供的载体涂料在其在腔室中的停留时间期间(从其已经通过第三扩散器件从载体涂料容器扩散的第一时刻到其从腔室到用于涂覆的单块的内表面的重新定向的第二时刻)不但处于同质的液体形成成分而且在预定停留时间期间维持腔室中的载体涂料具有固定的粘性。

实际上，在本实用新型的上下文中，腔室在载体涂料容器(其中载体涂料提供了不稳定的且因此非固定的粘性，即，粘性随其在所述容器中库存的时间而连续地改变)和待涂覆的单块的内表面之间起到缓冲区的作用，以在其停留时间期间维持载体涂料的均匀，包括稳定的粘性。第三扩散允许均匀量的载体涂料从容器输送至腔室。第二器件允许控制在由单块的内表面所限定的预定内部体积中稳定的且均匀的载体涂料的流入。

因此，在本实用新型的框架中，术语“均匀化”和“同质的”必须与一种载体涂料相关地来理解，该载体涂料是非不均匀的，即，其中涂层活性材料处于液体媒介中的同质悬浮体的形式并且其中所述悬浮体在其在腔室中的停留时间期间提供了稳定的和恒定的粘性。

由于腔室中的载体涂料的均匀性和稳定性，由使用根据本实用新型的涂覆工具的工艺产生的涂层是：i)同质地和均匀地沉淀在每一个单块的内表面上；和ii)是可重复的，以使得所述均匀涂层从具有基本上相同的待涂覆的内表面的多个单块中的一个单块到另一个是基本上类似的，所述单块被同时地涂覆。

本实用新型的其他细节和优点从实用新型的优选和非限制性实施例的以下说明中变得显而易见：

在第一实施例中，第三扩散器件具有其上存在所述孔的总表面S并且具有介于所述总表面S的20％到40％(包括所述值)范围的孔密度(concentration)。

优选地，在第一实施例中，第三扩散器件的表面S提供了介于从所述表面S的25％到35％、更优选30％到35％、甚至更优选30％(包括所述这些值)范围的孔密度。

甚至更优选地，每个第三扩散器件的孔被设计成相对于在第三器件的表面S上存在的一系列的孔s₁到s_n具有总表面∑s＝s₁+s₂+…+s_n，相应的极大值为总表面S的50％，优选为总表面S的25％到35％，更优选为总表面S的25％到35％，甚至更优选为总表面S的45％到55％。

在第三器件表面上存在的该特定的孔密度允许在涂覆工艺期间在从载体涂料容器以载体涂料装填单块的内部体积的时间(一方面)和在浸渗其内表面层之后清空单块的所述内部体积(弄走未涂覆的载体涂料)的时间之间具有最佳的平衡。

对于第三扩散器件的每个孔的为总表面S的最大55％(优选25％到35％、更优选从45％到55％、甚至更优选最大50％)的最大表面∑s允许在涂覆工艺期间当从载体涂料储罐向腔室输送时提高载体涂料的均匀化。另外，该最大表面∑s也与在涂覆之后用于清空未涂覆的载体涂料的足够开口有关，在一段时期是足够的，以便确保有利的平衡：装填持续时间/清空持续时间，以便多重涂覆(multi-coating)的生命周期允许待涂覆的每件的涂覆时间减少。

选择性地，孔h₁到h_n中的每一个的特点在于，表面s₁到s_n具有第三扩散器件的总表面S的最大1.0％到3.0％、优选1.5％到2.5％的值。

在第二实施例中，第三扩散器件具有板状，所述板具有几何中心，所述第三扩散器件的所述孔沿着从所述几何中心生成的多个等间距半径分布。

该第二实施例允许当载体涂料被从载体涂料容器泵送至腔室时载体涂料的更好均匀化。

优选地，在第二实施例中，第三扩散器件的孔是均匀的。

这允许当载体涂料进入腔室时进一步提高载体涂料的均匀化。

更优选地，在该第二实施例中，对于所述板的每个半径，孔每隔一定间隔地分布以使得恒定的间隔将设置在半径上的两个更邻近的孔分开。

这一方面当进入腔室时允许载体涂料的最佳均匀化并且另一方面允许均匀抽吸以移除基底中过量的载体涂料。

在第二实施例的进一步的可替换方式中，孔是凹槽状的并且沿着每一半径分布，每一个孔具有孔长度L和孔宽度l，以便具有包含在10和30之间、优选在10和25之间、更优选在10和20、甚至更优选在10和15之间的比值L/l，包括所述这些值。

在其中第三扩散器件的孔是凹槽状的所述可替换设计中，所述孔必须保持足够细长和尖锐的，以便允许在涂覆工艺期间当载体涂料被从载体涂料储罐传输到腔室时载体涂料的均匀化，并且是不太尖锐的以便在足够短的浸渗之后清空单块，以具有单块数/周期时间的正平衡。

在第三实施例中，封闭的空腔由以板状的第三扩散器件为底部和以第二器件为顶部的筒状部形式限定出，所述筒状的封闭空腔提供了比第二器件的每一个的第一穿孔壁的孔和通道的第二平均直径宽的第一直径。

在所述配置中，在涂覆期间，待被涂覆到单块的内壁上或内壁中的载体涂料在其接触单块的内表面之前首先被迫从封闭的空腔流过第一穿孔壁的每个孔的通道。因为筒状腔室的直径比第二器件的孔的直径宽，所以当从腔室的封闭空腔流至第二器件的孔通道时载体涂料被加速，并且这在每一个单块内部引起更均匀的分布区域，其能够使涂覆步骤的进度加快到可观程度。

在第四实施例中，板状的第三扩散器件具有凹形形状，其具有沿与第二器件相反方向取向的凹度。

当圆板状的折板被用于在第三扩散器件和载体涂料容器之间的气密密封或打开连接时该第四实施例是特别合适的。在所述实施例中，圆板式折板被设计成与凹状扩散板协作，以便当涂覆工具被安装到载体涂料容器上时折板被嵌入由第三器件的朝向所述载体涂料容器定向的表面S的一部分所限定的打开空腔中。

如上所述的第一到第四实施例中的每一个可与其前面所述的一个或多个实施例结合。

附图说明

该说明书中使用的附图标记涉及如下附图，其中：

图1是根据本实用新型的涂覆工具的横截面图。

图2是根据本实用新型的涂覆工具的第二器件的顶视图(从指向载体涂料容器的第一器件侧观察)。

图3是根据本实用新型的优选实施例的连接到第二器件上的第三扩散器件的横截面图。

图4是图2的第三扩散器件的在其顶部处连接到涂覆工具的第二器件上的底视图(从指向第一器件的载体涂料储罐侧观察)。

具体实施方式

如图1中所示，供涂覆工艺使用的涂覆工具包括用于可逆地保持和固定多个催化剂单块的第一器件1。

在图1中所公开的具体实施例中，第一器件被设计成将两个不同地点(site)S1和S2(图2所示，在另一优选实施例中，第一器件包括三个地点S1到S3)上的至少两个单块可逆地保持和固定在其外表面上。

在可选的实施例中，涂覆工具的第一器件1设有保持和固定单块载体本体的装置。该功能是可逆的，以便载体在涂覆步骤将要开始之前被锁定(arrest)在第一器件1中并且在涂覆结束之后被释放。对于技术人员很明显的是，保持器件应当使得没有载体涂料可避开涂覆工具，而是通过每一个单块载体自身。为了确保其，所述第一器件1包括设置在至少两个地点S1和S2中的每一个上的可膨胀鼓风装置(bellow)，所述鼓风装置能够通过使鼓风装置膨胀和放气可逆地保持和固定定位于所述地点本体上的单块载体。所述鼓风装置可以是由例如任何不漏气的橡胶状材料组成的。

在优选实施例中，鼓风装置被按如此方式固定到第一器件1上，以当膨胀时在一侧上压住第一器件1并且在另一侧上压住单块，并且膨胀是通过类似给自行车内胎打气的方式给可膨胀的鼓风装置的内部打气来做到的。在涂覆步骤完成之后，鼓风装置放气允许单块被从涂覆工具上释放。

涂覆工具包括第二器件2，用以在涂覆工艺期间控制载体涂料流入单块中。第二器件被附连至第一器件并且被设置成连接至载体涂料容器3，以使得在涂覆工艺期间第二器件2在载体涂料到达单块之前接触到从所述容器3中释放的载体涂料。

第二器件包括多个第一穿孔壁4(也参见图2)。

第一穿孔壁4中的每一个设置成流体地连接至单块。另外，第一穿孔壁4中的每一个包括孔5。所述孔中的每一个具有当第二器件2被附连至载体涂料容器3时朝向载体涂料容器3定向的进口侧5a和朝向单块定向的出口侧5b。

每个孔包括提供从进口侧5a到出口侧5b的通路的通道6以供载体涂料流过。选择性地，对于每个孔，所述通道的直径与进口侧和出口侧两者的直径相同。

为了在涂覆工艺期间具有加工过程中控制的机会，在进一步的优选实施例中，所述工具使得第二器件的每一个穿孔壁中的至少一个孔准备在其通道6中接收传感器指针，以用于监控涂覆工艺的执行。测量涂覆工具中载体涂料的水平以便知道载体涂料何时到达探针；该水平是零点以用于将精确量的载体涂料泵送到单块中，以实现待被涂覆的单块中如所需的载体涂料区的精确高度。传感器指针可以是技术人员已知的或者从包括导电率传感器、电容量传感器和光量传感器的组中选出的任何传感器。所述传感器被联接至操纵涂覆工艺的进展的控制单元。优选地，例如EP2533901A1中所描述的涂覆站被使用。技术人员知道如何设置联合工作的硬件和软件。

第二器件2被连接至第三扩散器件7。

第三扩散器件7被附连至第二器件2，以使得在涂覆工艺期间，第三器件7在载体涂料到达第二器件2之前接触到从载体涂料容器3传送的载体涂料。

第三扩散器件7是包括多个孔8的第二穿孔壁，第二穿孔壁7中的每一个孔8在涂覆工艺期间并且当第二器件被附连至载体涂料容器3时提供了朝向载体涂料容器定向的进口侧8a和朝向第二器件2定向的出口侧8b(参见图2)。第三器件7的孔8的进口侧8a和出口侧8b相互流体地连接，以用于所述载体涂料流过第三器件7的所述孔8。

所述涂覆工具包括设置于第二器件2和第三器件7之间的腔室9。

在图1中所描绘的优选实施例中，所述腔室确保载体涂料容器3和第二器件2之间的密封接合。

所述腔室包括封闭空腔10，所述封闭空腔10流体地连接至多个第一穿孔壁4的孔的进口侧5a和第三器件3的多个孔8的出口侧8b。

在图1中所描绘的涂覆工具的实施例中，嵌入腔室9中的封闭空腔10由具有以板状的第三扩散器件7为底部和以第二器件2为顶部的筒状部所限定出。该筒状的封闭空腔具有第一直径d1，所述第一直径d1比第二器件2的每个穿孔的第一壁4的孔5的第二平均直径d2宽。

腔室的封闭空腔10提供了足够的体积V，以便在涂覆工艺期间容纳足够量的载体涂料以至少部分地涂覆多个单块。此外，封闭空腔10的体积V是足够的，以便在涂覆工艺期间允许由第三扩散器件7扩散的载体涂料在腔室9中维持在均匀状态下。

涂覆工具的第三扩散器件7是一种在涂覆工艺期间使载体涂料从载体涂料容器3向腔室9的封闭空腔10扩散以便当载体涂料流过扩散器件时使其均匀化的器件。

图3提供了根据本实用新型的优选实施例的连接到第二器件上的第三扩散器件7的横截面图。

在该优选实施例中，第三扩散器件被设计成用于与折板(flap)协作。所述折板被设置成打开或关闭至载体涂料容器和低压储罐的通路，过量的载体涂料在涂覆工艺之后被吸入所述低压储罐中。所述折板可以是一圆板。当折板打开时，然而其可能碰撞涂覆工具。为此，进口侧上(朝向折板)的涂覆工具可以具有凹形形状，以便给予打开的折板足够的空间。

在优选实施例中，凹状的第三扩散器件具有圆锥形式，其带有设置成穿过折板流体地连接至低压储罐和载体涂料容器3的底部。

圆锥状的第三扩散器件7具有连接至第二器件2的后侧RS的、与其底部相反的其顶部边缘7a。

一旦圆锥状的第三扩散器件7被连接至第二器件，则在面向第二器件的后侧的外表面SE、第二器件2的后侧、和侧壁11之间限定出腔室9，所述侧壁11连接第三扩散器件的所述外表面SE和第二器件的所述后表面RS。在所述特定配置中，腔室9的封闭空腔10由侧壁11、第二器件2的后表面RS和第三扩散器件7的外表面SE限定出。

图4提供了从第三扩散器件的底部观察的视图。

在图4的第三扩散器件7的优选实施例中，扩散器件7具有总表面S，所述总表面S设有介于所述表面S的20％到40％(包括所述值)范围的孔8密度，第三扩散器件的每个孔具有表面s，以使得相对于存在于第三器件的表面S上的一系列孔s₁到s_n的和(∑s＝s₁+s₂+…+s_n)不超过总表面S的45％，优选不超过总表面S的50％，更优选不超过总表面S的55％。

在该实施例的上下文中，所述总表面是由外表面和内表面构成的，所述外表面在第三扩散器件的顶侧上直接连接至第二器件，所述内表面与所述外表面相反，在第三扩散器件的后侧上。

特别是，第三扩散器件7的孔8是凹槽状的，并且沿着从第三扩散器件的与底部相反的顶侧的几何中心GC生成的多个等间距半径R中的每一个分布。在图4的实施例的框架中，顶侧是具有中心(所述中心是所述圆盘的几何中心，并且因此是所述第三扩散器件的几何中心)的圆盘，半径从该中心处在第三扩散器件的表面S上生成。所述半径中的每一个具有汇集于圆盘的几何中心的第一端和指向第三扩散器件的底部的第二端。对于所有半径，两个相邻半径的第二端以等间距分开的距离间隔开。

在图4中公开的特定的但非限制性实施例中，半径R的数量等于18，并且两个最邻近的半径(例如R1和R2)被分开20度的角度a。

此外，凹槽状的孔8中的每一个具有孔长度L和孔宽度l以便具有包含在10和30之间、优选在10和25之间、更优选在10和20、甚至更优选在10和15之间的比值L/l，包括上述这些值。

在操作中，预先经由折板连接至载体涂料容器3和低压储罐的涂覆工具在其地点S1到S_n上接收n个单块。当每个单块被可逆地保持和固定在其地点上以便与第二器件2的穿孔壁4流体地连接时，涂覆周期开始。

折板被定向成以便经由涂覆工具将载体涂料容器连接至单块的内部体积，并且载体涂料随后被从载体涂料容器泵送至单块。

当被泵向单块时，载体涂料可以仅通过第三器件3的凹槽状孔8装填封闭空腔10的体积，因此经历了借助孔8的第一局部加速，从而导致腔室9的空腔10中的更同质的载体涂料。

当流过第三扩散器件的孔时，载体涂料被加速并且其粘性下降至阈值，以使得载体涂料在液体形式下在腔室中传送。

当被连续地向单块泵送时，在其同质的液体形式下的载体涂料在通过每一个第一穿孔壁4的多个孔5的通道6输送之前并且在通过第二器件的孔5的出口侧排出并装填单块的内部体积之前，装填空腔10。

当被从装满的腔室输送至单块时，载体涂料经历了借助通道6的第二局部加速，其粘性进一步下降并且其导致了载体涂料在每个单块的内部体积中的更均匀的分布，并且因此在单块中产生了更均匀的涂覆区域。

当执行涂覆时，在(从载体涂料容器至单块)泵送载体涂料和将所述载体涂料维持在单块内部体积中的预定时间之后，停止泵送并且使折板处于第二位置，以便关闭载体涂料和单块之间的连接，并将所述单块流体地连接至低压储罐。没有被涂覆的载体涂料经由涂覆工具被从单块移除至储罐中。

当单块被从第一器件移除时结束涂覆周期。

当新的未涂覆的单块被固定到第一器件上时发生新的涂覆周期。

当然，本实用新型不限于上述实施例的形式并且可以在不脱离所附权利要求的范围的情况下进行许多改进。

例如，很清楚，如果说明书公开了一种具有凹槽状孔的凹状的第三扩散器件，则本实用新型的范围还覆盖了以下的第三扩散器件：i)可以是平板(在使用除圆板式折板外的另一种折板的情况中)；ii)代替凹槽状孔，可以设有沿着相同半径定位的多个孔，优选具有相同的平均直径或者表面等。

另外，在本实用新型的框架中，很清楚，第二器件不限于上述公开的实施例。

例如，第二器件中每一个的孔的数量、其尺寸和分布可以取决于涂覆腔室的几何结构地被最佳化，例如包括但不限于：i)单块的内部体积和/或内表面。优选地，多个单块中的每个单块设有相同的或者基本上相同的待被涂覆的内表面和相同的(或者基本上相同的)待被涂覆的内部体积；ii)取决于待被涂覆的单块的数量n的涂覆腔室的体积V；等。

虽然说明书将待被涂覆的单块的数量限制为两个，但是应当理解，根据本实用新型的每个涂覆工具的多个单块涵盖至少两个单块。优选地，所述涂覆工具适合于在两个和五个单块之间同时地涂覆。其意味着，多个第一穿孔壁不限于两个，而且可以是3、4、5或者甚至6个。