一种顶空炉加热圆柱体分体结构的制作方法

文档序号:11671159阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种顶空炉加热圆柱体分体结构,其特征在于:包括加热柱和工件孔,所述加热柱上设置有三个定位螺钉和三个加热孔,所述定位螺钉和所述加热孔间隔均匀设置,所述工件孔包括多个,均匀排列于所述加热柱上。

2.根据权利要求1所述的一种顶空炉加热圆柱体分体结构,其特征在于:其中一个所述加热孔的一侧设置有排气孔。

3.根据权利要求1所述的一种顶空炉加热圆柱体分体结构,其特征在于:所述工件孔的数量为十二个,所述加热柱的中心位置设置一个,所述加热柱的边缘处设置十一个,均匀排列。

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