一种氧化硅抛光液配置装置的制作方法

文档序号:11713947阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种氧化硅抛光液配置装置,其特征在于:包括一个超声装置,所述超声装置内设置搅拌罐,所述搅拌罐内设置有搅拌装置,所述搅拌罐的顶部设置有氧化硅粉末进料口,所述氧化硅粉末进料口的下部连接有粒径过滤装置,所述搅拌罐的顶部设置有液体进料口,所述搅拌罐内部设置有在线pH检测仪,所述搅拌罐的底部设置有出料口。

2.根据权利要求1所述的一种氧化硅抛光液配置装置,其特征在于:所述搅拌装置包括设搅拌杆、设置于所述搅拌杆顶部上的电机、设置于所述搅拌杆上的搅拌叶。

3.根据权利要求1所述的一种氧化硅抛光液配置装置,其特征在于:所述粒径过滤装置带有网筛目数为10000或15000或20000。

4.根据权利要求1所述的一种氧化硅抛光液配置装置,其特征在于:所述液体进料口上连接有辅料液体进罐体。

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