1.一种多晶硅废气处理与余热利用装置，其特征在于，包括废气冷凝回收罐、废气淋洗塔A、废气淋洗塔B、碱液池和液封水槽，所述的废气冷凝回收罐串接在用于废气汇总的废气管中，废气管末端连接所述的废气淋洗塔A，废气淋洗塔A的底部设置在碱液池中，废气淋洗塔A通过连通管连接废气淋洗塔B，废气淋洗塔B的底部设置在碱液池中，废气淋洗塔B通过排气管连接设置在液封水槽的放空管；所述的碱液池还通过碱液管分别连接至废气淋洗塔A和废气淋洗塔B的底部，并在碱液管管路中设置有碱液泵；
所述的废气淋洗塔A的反应区设置有余热利用机构，所述的余热利用机构的一端设置有进水口，另外一端设置有出水口，进水口与流入冷水的水泵、水管连接。
2.根据权利要求1所述的多晶硅废气处理与余热利用装置，其特征在于，所述的余热利用机构包括包裹在废气淋洗塔A的反应区和封头的外层的保温层，废气淋洗塔A的反应区采用夹套结构，夹套的底部设有所述的进水口，顶部设有所述的出水口，进水口与出水口通过导流槽连接。
3.根据权利要求1所述的多晶硅废气处理与余热利用装置，其特征在于，所述的余热利用机构包括包裹在废气淋洗塔A的反应区和封头的外层的保温层，废气淋洗塔A的反应区内部设置有若干根换热管，换热管的底部设有所述的进水口，换热管的顶部设置有所述的出水口。
4.根据权利要求1所述的多晶硅废气处理与余热利用装置，其特征在于，所述的液封水槽中的放空管采用蛇形曲管结构。
5.根据权利要求1所述的多晶硅废气处理及余热利用装置，其特征在于，所述的废气淋洗塔A的顶部设置有用于通入保护N2的N2管道。
6.一种多晶硅废气处理与余热利用工艺，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一，多晶硅生产过程中产生的废气汇总到废气管后，进入废气冷凝回收罐，采用低温介质对废气冷凝罐进行冷却，从控制压力在0.3～0.5MPa范围内，温度-15℃以下，使99％以上的氯硅烷冷凝为液体并回收利用；
步骤二，残余废气进入废气冷凝塔A中，同时，碱液泵将碱液池中的碱液通过碱液管输送至废气淋洗塔A和废气淋洗塔B的顶部，废气在废气淋洗塔A的反应区中与碱液充分混合并发生剧烈反应，反应生成的固液混合物和未反应完全的碱液经废气淋洗塔A的底部流入到碱液池中；反应生成的气体和未反应完全的废气通入到废气淋洗塔B中；
步骤三，在废气淋洗塔B中废气与碱液发生反应，反应物和过量的碱液经废气淋洗塔B的底部进入碱液池中，未参与反应的气体通过排气管进入盛放在液封水槽中的放空管，然后排入空气中；
步骤四，废气淋洗塔A在反应时产生的热量传递至设置在废气淋洗塔A的反应区的余热利用机构中，冷水经过水泵、水管流入余热利用机构的进水口，吸收热量后，从出水口流出，热水回收利用。