技术总结
本发明公开了一种多晶硅废气处理与余热利用装置及工艺，废气处理与余热利用装置包括废气冷凝回收罐、废气淋洗塔A、废气淋洗塔B、碱液池和液封水槽，所述的废气冷凝回收罐串接在用于废气汇总的废气管中，废气管末端连接所述的废气淋洗塔A，废气淋洗塔A的底部设置在碱液池中，废气淋洗塔A通过连通管连接废气淋洗塔B，废气淋洗塔B的底部设置在碱液池中，废气淋洗塔B通过排气管连接设置在液封水槽的放空管；所述的碱液池还通过碱液管分别连接至废气淋洗塔A和废气淋洗塔B的底部，并在碱液管管路中设置有碱液泵；所述的废气淋洗塔A的反应区设置有余热利用机构。通过本发明，氯硅烷得到有效的回收利用，解决环境污染，降低能耗。
技术研发人员：胡小东;姜希猛;崔明现;贾曦;张东
受保护的技术使用者：乐山职业技术学院;乐山太阳能研究院;四川友新能拓科技有限公司
文档号码：201710016760
技术研发日：2017.01.10
技术公布日：2017.05.31