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保护膜形成方法及设备与流程
文档序号:13400751
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来源:国知局
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保护膜形成方法及设备与流程
技术特征:
技术总结
本发明提供一种保护膜形成方法,包括以下步骤:将保护膜材料涂布在待形成器件上;在采用固化装置固化所述保护膜材料的同时采用压合装置给所述保护膜材料的上表面施加压合力,形成所述保护膜。本发明还提供一种保护膜形成设备。本发明可以现场制作保护膜,从而可以随时调整尺寸、减少工艺时间且提高产品良率。
技术研发人员:
金学权;刘永帅;张雪锋;汪正红
受保护的技术使用者:
京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
技术研发日:
2017.08.28
技术公布日:
2018.01.09
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