出现严重均匀性偏差的缺陷，水平浸渍镀膜各点一致，具有优异的均匀性。
[0038](3)本实用新型采用背吸的方式，通过吸盘吸附衬底基片进行镀膜浸渍和清洗处理等操作，无需设置夹具，解决了垂直提拉浸渍过程中夹具对功能膜的缺陷影响和提拉过程表面缺陷滑行带来的线道等缺陷，可大幅度提升产品的良率。
[0039](4)本实用新型大幅度降低工序运行和清洗所耗费的时间，可实现机器人系统In-line式的循环运行，解决了传统箱体式设计或是多槽式设计出现的节拍慢导致无法实现规模化生产的缺陷。
【附图说明】
[0040]图1为本实用新型实施例所述连续式水平浸渍镀膜系统的结构示意图。
[0041]图2为实施例中机器人及操作臂吸取衬底基片的结构示意图。
[0042]图3为实施例镀膜处理步骤中衬底基片浸入及抽离镀膜溶液的工作示意图。
[0043]图4为实施例清洗处理步骤中衬底基片在清洗槽工作状态的俯视图。
【具体实施方式】
[0044]下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。
[0045]如图1所示，一种连续式水平浸渍镀膜系统，包括机器人1、机器人控制中心2和循环滑轨3，机器人1与机器人控制中心2信号连接，所述机器人1滑动式设置在循环滑轨上3，循环滑轨3用于机器人1循环滑动；
[0046]所述机器人1设有操作臂4，所述操作臂4前端设置数个用于吸附衬底基片5的吸盘6，机器人1带动操作臂4动作；循环滑轨3侧旁设置有镀膜溶液槽7和清洗槽8。
[0047]所述连续式水平浸渍镀膜系统还包括衬底基片预清洗及定位系统9，用于对衬底基片进行预清洗并定位，以满足后续镀膜工序的要求。
[0048]所述连续式水平浸渍镀膜系统还包括干燥系统10，所述干燥系统10为烘烤炉，所述烘烤炉设置在循环滑轨3侧旁。
[0049]所述镀膜溶液槽7的水平截面大于衬底基片的面积，所述镀膜溶液槽7中放置镀膜溶液，所述镀膜溶液为聚苯乙烯微球溶液、二氧化硅微球溶液或是聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微球溶液。
[0050]所述清洗槽8的水平截面大于衬底基片的面积，所述清洗槽8中放置清洗液，所述清洗液为去离子水。
[0051]所述衬底基片5为硬质衬底，或沉积有功能薄膜的硬质衬底；
[0052]所述功能薄膜为金属氧化物薄膜或掺杂金属氧化物薄膜；所述功能薄膜的材料为掺铝氧化锌、氧化铟锡、掺硼氧化锌、掺氟氧化锡或掺镓氧化锌，或掺铝氧化锌、氧化铟锡、掺硼氧化锌、掺氟氧化锡与掺镓氧化锌任何两者的混合。
[0053]采用上述连续式水平浸渍镀膜系统进行镀膜的方法，包括如下步骤:
[0054]S01、吸取衬底基片:起始点处的机器人1启动，如图2所示，机器人通过操作臂4上的吸盘6吸附衬底基片5的背面，然后进入下一步工序；
[0055]衬底基片5可先在衬底基片预清洗及定位系统9中进行预清洗，提高衬底基片5的洁净度，然后送至机器人1的操作臂4可操作的范围内并进行定位，使操作臂4的吸盘6可顺利的从衬底基片5的背面进行吸取。可通过调整吸盘的数量和吸附强度以适应不同厚度、不同尺寸的衬底基片。
[0056]S02、镀膜处理:通过循环滑轨3将吸取了衬底基片5的机器人1滑动至镀膜溶液槽7附近，使吸取衬底基片5的操作臂4位于镀膜溶液槽7正上方，通过机器人控制中心2控制操作臂4翻转调整，使衬底基片5的正面朝下，然后下降操作臂4将衬底基片5浸入镀膜溶液中，达到浸渍时间后，抬升操作臂4将衬底基片5抽离镀膜溶液，然后进入下一步工序;
[0057]在将衬底基片5浸入镀膜溶液时，在下降速度比较快的情况下，溶液会引起震动，并对衬底基片5正面会有冲击力，会导致最终功能膜不稳定。因此，如图3所示，所述衬底基片5在进入镀膜溶液前，调整操作臂4使吸取的衬底基片5的正面与水平面具有倾角，衬底基片5浸入到镀膜溶液后，将衬底基片5的正面调整为水平，达到浸渍时间后，将衬底基片5的正面调整为与水平面具有倾角，然后抬升操作臂4将衬底基片5抽离镀膜溶液。
[0058]所述倾角为3?15度，本实施例中倾角采用5度。
[0059]S03、清洗处理:衬底基片5经镀膜处理后，通过循环滑轨3将吸取衬底基片5的机器人1滑动至清洗槽8附近，使吸取衬底基片5的操作臂4位于清洗槽8正上方，通过机器人控制中心2控制操作臂4翻转调整，使衬底基片5的正面朝下，然后下降操作臂4将衬底基片5浸入清洗液中，调整操作臂4使衬底基片5正面平行于水平面，再通过机器人1运动带动操作臂4，使操作臂4吸取的衬底基片5在水平面内多向往复平移运动以进行水平清洗，如图4所示，其为衬底基片在清洗槽工作的俯视图，结合图4，操作臂4吸取的衬底基片5在水平面的X轴和Y轴方向往复平移运动；待达到清洗时间后，停止水平清洗，抬升操作臂4将衬底基片5抽离清洗液，然后进入下一步工序；
[0060]所述清洗液为去离子水；所述清洗时间为0.5?2min ;
[0061]S04、干燥处理:衬底基片5经清洗处理后，通过循环滑轨3将吸取衬底基片5的机器人1滑动至干燥系统10，将衬底基片5放入到干燥系统5中进行风干，完成整个水平浸渍镀膜工序；机器人1通过循环滑轨3返回到起始点，循环进行S01至S04的操作。
[0062]本实施例中所述干燥系统10为烘烤炉，所述烘烤炉的烘烤温度为40?80°C ;
[0063]烘烤炉的数量不限于1台，根据工序节拍进行数量上的设计。
[0064]在上述连续式水平浸渍镀膜系统中，根据工序及节拍，也可设置两台以上的机器人，各机器人独自都可完成整个镀膜工序，在所述连续式水平浸渍镀膜系统中，机器人通过循环滑轨形成循环生产，在同一时间点中，各机器人分别进行不同的工序环节。如第一台机器人在完成浸渍镀膜环节后，进入到清洗环节，第二台机器人就开始浸渍镀膜环节；第一台机器人完成清洗环节后，进入烘烤炉或风刀装置进行干燥，或直接回到初始位置，第二台机器人即进入清洗环节。如此循环往复，实现多台机器人同时进行流水线式的工作。
[0065]上述实施例为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种连续性水平浸渍镀膜系统，其特征在于:所述连续式水平浸渍镀膜系统包括机器人、机器人控制中心和循环滑轨，机器人与机器人控制中心信号连接，所述机器人滑动式设置在循环滑轨上，循环滑轨用于机器人循环滑动；所述机器人设有操作臂，所述操作臂前端设置数个用于吸附衬底基片的吸盘，机器人带动操作臂动作；循环滑轨侧旁设置有镀膜溶液槽和清洗槽。2.根据权利要求1所述的一种连续性水平浸渍镀膜系统，其特征在于:所述连续式水平浸渍镀膜系统还包括衬底基片预清洗及定位系统。3.根据权利要求1所述的一种连续性水平浸渍镀膜系统，其特征在于:所述连续式水平浸渍镀膜系统还包括干燥系统，所述干燥系统设置在循环滑轨侧旁。4.根据权利要求1所述的一种连续性水平浸渍镀膜系统，其特征在于:所述机器人的数量至少为一台。5.根据权利要求1所述的一种连续性水平浸渍镀膜系统，其特征在于:所述镀膜溶液槽的水平截面大于衬底基片的面积；所述清洗槽的水平截面大于衬底基片的面积。6.根据权利要求1所述的一种连续性水平浸渍镀膜系统，其特征在于:所述衬底基片为硬质衬底，或沉积有功能薄膜的硬质衬底。
【专利摘要】本实用新型属于镀膜技术领域，公开了一种连续性水平浸渍镀膜系统。所述连续式水平浸渍镀膜系统包括机器人、机器人控制中心和循环滑轨，机器人与机器人控制中心信号连接，所述机器人滑动式设置在循环滑轨上，循环滑轨用于机器人循环滑动；所述机器人设有操作臂，所述操作臂前端设置数个用于吸附衬底基片的吸盘，机器人带动操作臂动作；循环滑轨侧旁设置有镀膜溶液槽和清洗槽。本实用新型将浸渍镀膜、清洗处理及干燥处理集成为一体，克服现有技术中工序不连贯、耗时长的缺陷，可实现任何面积浸渍镀膜的全自动、高稳定性生产，并且克服了垂直提拉浸渍在上、中、下区域出现严重均匀性偏差的缺陷，水平浸渍镀膜各点一致，具有优异的均匀性。
【IPC分类】B05C9/08, B05C13/00, B05D3/04, B05C3/10, B05D3/02
【公开号】CN204996666
【申请号】CN201520438512
【发明人】林清耿, 王洋
【申请人】惠州易晖能源科技股份有限公司
【公开日】2016年1月27日
【申请日】2015年6月24日