传感器的制作方法

文档序号:12507689阅读:来源:国知局

技术特征:

1.传感器(2、2'、2"),其具有设置在功能体积(3)内的电子芯片(4、4'、4")和传感器芯片(5、5'、5"),所述功能体积最多4mm至5mm长、最多2mm至3mm宽并且最多0.5mm至0.8mm高。

2.按照权利要求1所述的传感器,其特征在于,在功能体积(3)内设置有多个电子芯片(4、4'、4")和/或多个传感器芯片(5、5'、5")。

3.按照权利要求1或2所述的传感器,其特征在于,电子芯片(4、4'、4")具有多个模拟的和/或数字的接口,利用所述接口可评估不同的传感器芯片。

4.按照上述权利要求之一所述的传感器,其特征在于,借助电子芯片(4、4'、4")和/或传感器芯片(5、5'、5")进行通过无线电接口或通过触点的不可插接连接的无线的能量和/或数据传输。

5.按照上述权利要求之一所述的传感器,其特征在于,带有转换元件(10、10'、10")的传感器芯片(5、5'、5")和/或带有转换元件(10)和传感器前端(11)的传感器芯片(5)整体上以180nm的CMOS工艺制造。

6.按照上一权利要求所述的传感器,其特征在于,转换元件(10)构造为在硅膜片上的晶体管或电阻。

7.按照上述权利要求之一所述的传感器,其特征在于,利用所述传感器芯片(5、5'、5")可测量在10-500Pa范围中的压差。

8.按照上一权利要求所述的传感器,其特征在于,传感器芯片(5、5'、5")具有5Pa的分辨率。

9.按照权利要求7所述的传感器,其特征在于,传感器芯片(5、5'、5")具有处于1Pa至小于5Pa范围中的分辨率。

10.按照权利要求7所述的传感器,其特征在于,传感器芯片(5、5'、5")具有处于大于5Pa直至10Pa的范围中的分辨率。

11.按照上述权利要求之一所述的传感器,其特征在于,电子芯片(4、4'、4")和传感器芯片(5、5'、5")并排地设置在一个电路板(6、6'、6")上。

12.按照上述权利要求之一所述的传感器,其特征在于,电子芯片(4、4')和传感器芯片(5、5')通过接合线(17)相互导电连接。

13.按照权利要求1至11之一所述的传感器,其特征在于,电子芯片(4")和传感器芯片(5")通过倒装芯片连接在使用触点接通小丘(18)的情况下相互导电连接。

14.按照上述权利要求之一所述的传感器,其特征在于,传感器芯片(5、5'、5")具有膜片(19'、19")和电子设备(20'、20")。

15.按照上述权利要求之一所述的传感器,其特征在于,传感器芯片(5'、5")具有硅基底(21'、21"),膜片(19'、19")蚀刻到所述硅基底中,所述膜片除去转换元件(10'、10")没有电子设备和/或氧化层。

16.按照上述权利要求之一所述的传感器,其特征在于,电子芯片(4、4'、4")和传感器芯片(5、5'、5")设置在一个电路板(6、6'、6")上,在所述电路板中构成通道(6'a、6"a),其中,所述通道(6'a、6"a)是至如下体积(22'、22")的唯一的导流入口,所述体积由电路板(6、6'、6")、传感器芯片(5、5'、5")和围绕传感器芯片(5、5'、5")的密封圈(23'、23")形成,其中,膜片(19'、19")的第一膜片面(19'a、19"a)朝向所述体积(22'、22")。

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