技术总结
本实用新型提供了一种MEMS芯片，包括衬底，以及支撑在衬底上的极板，所述衬底与所述极板之间形成容纳空间，还包括被自由设置在所述容纳空间中的敏感膜，所述敏感膜与极板构成了电容器结构；在所述容纳空间内设置有限位柱，所述限位柱穿过所述敏感膜，以限定所述敏感膜的振动方向。本实用新型的MEMS芯片，通过限位柱的设置，使敏感膜可以沿限位柱进行上下振动，并且限位柱能有效阻止敏感膜在振动过程中的横向摆动，防止敏感膜因振幅过大而发生扭曲，提高了MEMS芯片的使用寿命。
技术研发人员：李江龙;郝红蕾;王宇;张鑫鑫
受保护的技术使用者：歌尔科技有限公司
文档号码：201720748389
技术研发日：2017.06.26
技术公布日：2018.03.02