一种电沉积装置的制作方法

文档序号:13744531阅读:来源:国知局
技术特征:

1.一种电沉积装置,包括电沉积槽(6)、阴极移动杆(1)、阴极(4),其特征在于:其包括齿轮(2)、齿轮安装杆(5)、搅拌桨(7)。

2.根据权利要求1所述的一种电沉积装置,其特征在于:所述的阴极(4)安装在阴极移动杆(1)一侧;所述的阴极移动杆(1)上设有齿条(3);所述的齿条(3)与齿轮(2)啮合;所述的齿轮(2)旋转固定在齿轮安装杆(5)上;所述齿轮安装杆(5)固定在电沉积槽(6)壁面上;所述的搅拌桨(7)同轴线安装在齿轮轴(8)上。

3.根据权利要求1所述的一种电沉积装置,其特征在于:所述的阴极移动杆(1)平行安装在电沉积槽(6)壁面上方。

4.根据权利要求1所述的一种电沉积装置,其特征在于:所述的阴极移动杆(1)可在外力作用下水平往复移动。

5.根据权利要求2所述的一种电沉积装置,其特征在于:所述的齿轮轴(8)可根据电沉积槽(6)的尺寸和工艺要求对其数量进行增减。

6.根据权利要求1所述的一种电沉积装置,其特征在于:所述搅拌桨(7)外缘与阴极(4)面之间设有一定距离,其距离可调。

7.根据权利要求1所述的一种电沉积装置,其特征在于:所述的搅拌桨(7)为耐化学腐蚀的电绝缘材料。

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