一种采用外置槽溶解电解铜的镀铜装置及其镀铜工艺的制作方法

文档序号:12883627阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种采用外置槽溶解电解铜的镀铜装置及其镀铜工艺,通过在镀槽内采用不溶性阳极,可以完全避免阳极产生磷粉、铜粉和不溶性杂质,实现高纯度的电镀溶液,提高镀层防腐能力和电镀产品质量;金属铜的补充来源于镀槽外部,没有阳极泥、铜粉、磷粉的产生,能有效提高金属铜的利用率,而且电解铜价格比磷铜和活性氧化铜粉要便宜;同时铜离子的浓度可控,避免了因硫酸铜含量的升高,还可减少硫酸的补充量;阳极本身损失的电压较小,同时由于整块不溶性阳极导电非常均匀,可以很大程度上缩小阴阳极距离,能有效降低镀槽电压,能耗会有所降低;阴、阳极不会产生电流效率差,不会造成硫酸铜升高、硫酸消耗的问题,维护简单,对环境更为友好。

技术研发人员:王庆浩;樊雄
受保护的技术使用者:东莞市同欣表面处理科技有限公司
技术研发日:2017.07.19
技术公布日:2017.11.07
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