1.一种真空泵，前述真空泵具备温度传感器和温度控制，
前述温度传感器测量泵的温度，
前述温度控制进行加热器及/或冷却装置的控制，使得由该温度传感器测量的温度重复上限值和下限值地经过，其特征在于，
该温度控制具有被设定的规定时间，使得包括通常运转时从前述上限值至下一个前述下限值、及从前述下限值至下一个前述上限值的经过时间，
无法确认前述上限值或前述下限值的状态的变化的状态下超过前述规定时间时，将前述加热器及/或前述冷却装置的控制强制地进行，实现前述状态的变化，及/或进行异常的通知。
2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
设定成，前述规定时间包括不足前述下限值的经过时间、及超过前述上限值的经过时间。
3.一种温度控制装置，具备对象物和温度传感器，
前述对象物被温度控制，
前述温度传感器测量该对象物的温度，
进行加热器及/或冷却装置的控制，使得由该温度传感器测量的温度重复上限值和下限值地经过，其特征在于，
具有被设定的规定时间，使得包括通常运转时从前述上限值至下一个前述下限值、及从前述下限值至下一个前述上限值的经过时间，
无法确认前述上限值或前述下限值的状态的变化的状态下超过前述规定时间时，将前述加热器及/或前述冷却装置的控制强制地进行，实现前述状态的变化，及/或进行异常的通知。