一种微球轴承的制作方法

本实用新型涉及轴承领域，尤其是涉及一种微球轴承。

背景技术：

作为未来微型武器、微型汽车和微型飞机等微型机械的动力源，微泵、微发电机和微发动机等微动力设备具备广阔的应用前景。由于微轴承是影响微动力设备功率密度和运转寿命的关键部件，因而引起了国际上的广泛关注。微球轴承以其支承稳定的特性而优于其它微轴承，成为 MEMS 中重要的支承机构。在现有的技术中存在轴承滚道易磨损、结构复杂、稳定性能不足、内部气流运行不畅等技术问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种结构简单、平衡性能优良、不易磨损、内部气流运行顺畅的微球轴承。

本实用新型的技术方案是：一种微球轴承，包括封盖层、叶片层和滚道层，所述封盖层包括设置在其中心位置的排气出口、排布在排气出口外围的注油孔以及均匀对称排布在注油孔外围的气流孔；所述叶片层包括叶片层凹槽以及设置在叶片层凹槽内的速度测试块、依次设置在速度测试块外围的动叶片和静叶片，所述动叶片和静叶片之间设有一组上通气孔，所述速度测试块、动叶片和静叶片的高度均低于叶片层凹槽深度50~80um；所述滚道层包括滚道以及设置在滚道底部的一组下通气孔。

进一步的，所述注油孔正对上通气孔设置。

进一步的，所述滚道为圆形轨道，滚道底部设置有至少两排下通气孔。

进一步的，所述气流孔呈圆形排布，并正对叶片层凹槽。

进一步的，所述排气出口为圆形通道，其直径大于速度测试块的宽度。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型中排气出口、气流孔、下通气孔和上通气孔的有机结合，使得气路通常。

2、本实用新型中所述速度测试块、动叶片和静叶片的高度均低于叶片层凹槽深度50~80um，在运行时有效避免速度测试块、动叶片和静叶片与封盖层的碰撞摩擦，且无需再在封盖层底面开设凹槽，使得制作工艺更加简单。

3、本实用新型中在封盖层上设置注油孔，且注油孔正对上通气孔，可通过注油孔向滚道中注入润滑油以减少微球与滚道之间的摩擦，且无需再滚道上设置涂层，使得本实用新型工艺更为简单。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的A部放大图；

图3本实用新型的剖视图；

其中，1、封盖层；2、注油孔；3、排气出口；4、气流孔；5、叶片层；6、叶片层凹槽；7、滚道层；8、速度测试块；9、静叶片；10、动叶片；11、滚道；12、下通气孔；13、上通气孔。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

如图1和图3所示，本实用新型提供一种微球轴承，包括封盖层1、叶片层5和滚道层7，封盖层1和叶片层5之间通过密封胶等粘接，叶片层5和滚道层7之间通过键合技术连接。所述封盖层1包括设置在其中心位置的排气出口3、排布在排气出口3外围的注油孔2以及均匀对称排布在注油孔2外围的气流孔4。其中注油孔2正对上通气孔13设置，气流孔4呈圆形排布，并正对叶片层凹槽6。所述排气出口3为圆形通道，其直径大于速度测试块8的宽度。

所述叶片层5包括叶片层凹槽6以及设置在叶片层凹槽6内的速度测试块8、依次设置在速度测试块8外围的动叶片10和静叶片9，如图2所示，所述动叶片10和静叶片9之间设有一组上通气孔13，所述速度测试块8、动叶片10和静叶片9的高度均低于叶片层凹槽6深度50~80um；

所述滚道层7包括滚道11以及设置在滚道11底部的一组下通气孔12。所述滚道11为圆形轨道，滚道11底部设置有至少两排下通气孔12，使得微球14无论出于滚道11的什么位置均可以保证微球14可覆盖至少两个下通气孔12，通过下通气孔12的气体为微球14提供一定的浮力，使得轴承腔内部气流顺畅的同时，也可在一定程度上减少微球14与滚道11之间的摩擦。

须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。