狭缝阀组件的制作方法
【技术领域】
[0001] 本文所公开的实施方式一般而言涉及一种狭缝阀门和一种用于密封腔室的狭缝 阀组件。
【背景技术】
[0002] 在半导体、平板显示器、光伏/太阳能面板和其它基板处理系统中，常见以群集、 串联或群集/串联排列的组合排列真空腔室（即装料锁定腔室、传送腔室、处理腔室）以便 处理基板。这些系统可以单个或批量基板方式处理基板。在处理期间，可将基板传送至腔 室中和从腔室中传送出来，在这些腔室中必须维持或建立真空。为了允许出入腔室内部，并 能够进行真空操作，常常提供穿过腔室壁所形成的狭缝形状的基板传送端口来容纳正在处 理的基板。通过狭缝阀组件打开和关闭（例如，密封）基板传送端口。
[0003] 狭缝阀组件包括狭缝阀门，可移动地致动所述狭缝阀门以打开或关闭基板传送端 口。当狭缝阀门脱离基板传送端口时，可通过基板传送端口在两个真空腔室之间传送一或 更多个基板。当通过狭缝阀门关闭并密封狭缝阀端口时，不可穿过基板传送端口传送基板 进出真空腔室，并且真空腔室保持密封。例如，狭缝阀组件所连接的两个真空腔室可包括处 理或传送腔室，所述腔室需要与装料锁定腔室周期性隔离，以便当装料锁定腔室排气时维 持处理或传送腔室中的真空。
[0004] 一般来说，狭缝阀门的操作速度对基板处理系统的产量很重要。然而，在狭缝阀 门打开和关闭时，较快的门操作造成大的震动或振动。震动可使真空腔室内的颗粒松动 和分散，从而可在基板上产生缺陷。这可能在有机发光二极管（organiclightemitting diode;0LED)基板的处理中以及薄膜封装（thinfilmencapsulation;TFE)工艺中尤其重 要，因为在这些工艺中应将污染保持在最低限度。另外，大的震动随时间推移可使紧固件松 动，并增加对狭缝阀门和狭缝阀组件的部件磨损。
[0005] 因此，需要一种能够在减小震动下密封腔室的狭缝阀组件。 【实用新型内容】
[0006] 本文所公开的实施方式一般而言涉及使用狭缝阀组件密封真空腔室的装置和方 法。在一个实施方式中，狭缝阀组件包括：外壳，具有侧壁和在所述侧壁中形成的至少一个 基板传送端口，所述外壳具有由所述侧壁限定的内部体积；狭缝阀门，安置于所述外壳内， 并可定位于脱离基板传送端口的打开位置与密封基板传送端口的关闭位置之间；和减震器 组件，安置于狭缝阀门的至少一个面的边缘上，所述减震器组件包含由第一材料制成的第 一减震器构件和由第二材料制成的第二减震器构件，所述第二材料与所述第一材料不同。
[0007] 在另一实施方式中，狭缝阀组件包括：外壳，具有侧壁和在所述侧壁中形成的至少 一个基板传送端口，所述外壳具有由所述侧壁限定的内部体积；狭缝阀门，安置于所述外 壳内，并可定位于脱离基板传送端口的打开位置与密封基板传送端口的关闭位置之间；致 动器，耦接至狭缝阀门，并可操作以在打开位置与关闭位置之间移动狭缝阀门；和减震器 组件，安置于狭缝阀门的至少一个面的平行边缘上，所述减震器组件包含由第一材料制成 的第一减震器构件和由第二材料制成的第二减震器构件，所述第二材料与所述第一材料不 同。
[0008] 在另一实施方式中，狭缝阀组件包括：外壳，具有侧壁和在所述侧壁中形成的至少 一个基板传送端口，所述外壳具有由所述侧壁限定的内部体积；狭缝阀门，安置于所述外壳 内，并可定位于脱离基板传送端口的打开位置与密封基板传送端口的关闭位置之间；和多 个第一减震器构件与多个第二减震器构件，所述减震器构件沿狭缝阀门的纵向轴安置于狭 缝阀门的至少一个面的边缘上。
[0009] 通过单独使用或与本文描述的流量控制回路组合使用减震器组件，有利地减小了 狭缝阀组件操作期间的震动或摇晃。因此，在有利地维持狭缝阀门快速打开和关闭的同时， 减小了处理期间由自由摇动的颗粒带来的污染风险。另外，本文所公开的实施方式有利地 容许改善狭缝阀门操作时间，而不会降低狭缝阀组件的机械部件的可靠性。此外，狭缝阀组 件有利地利用单组阀门来控制向上和向下方向两者上的垂直空气气缸速度。
【附图说明】
[0010] 因此，为可详细理解本实用新型的上述特征结构，可参照实施方式对上文简要概 述进行更详细描述，其中一些实施方式示出于附图中。然而，应注意，附图仅示出典型实施 方式，并且因此这些附图不欲视为本实用新型范畴的限制，因为本实用新型可允许其它同 等有效的实施方式。
[0011] 图1是通过狭缝阀组件连接的两个腔室的示意性剖视图。
[0012] 图2A是狭缝阀组件的一个实施方式的侧面横截面视图。
[0013] 图2B是图2A的狭缝阀门的正视图。
[0014] 图2C是图2A的第二板和侧壁的放大局部横截面图。
[0015] 图3和图4是示出不同位置中的狭缝阀门的狭缝阀组件的侧面横截面视图。
[0016]图5A至图5C是可与图2A的狭缝阀组件一起使用的第二减震器构件的实施方式 的局部示意性等角视图。
[0017] 图6A至图6C是第二减震器构件的示出多种安装配置的实施方式的等角视图。
[0018] 图7是可用于操作图2A、图3和图4的狭缝阀组件的流量控制回路的一个实施方 式的示意图。
[0019]图8和图9是示出在本文描述的狭缝阀组件操作期间随时间变化的力值的曲线 图。
[0020] 为了促进理解，在可能的情况下，相同元件符号已用于指代诸图共用的相同元件。 应设想，一个实施方式中公开的元件可有利地用于其它实施方式而无需赘述。
[0021] 符号说明
[0022] 元件符号列表
[0023] 102真空腔室
[0024] 104真空腔室
[0025] 106狭缝阀组件
[0026] 108 端口
[0027] 110A端口
[0028] 11OB端口
[0029] 112狭缝阀门
[0030] 114装料锁定腔室系统
[0031] 116狭缝阀组件
[0032] II8机器人
[0033] 120流量控制回路
[0034] 130控制器
[0035] 132存储器
[0036] 134支持电路
[0037] 136 CPU
[0038] 200 外壳
[0039] 202 侧壁
[0040] 204 顶部
[0041] 206 底部
[0042] 208内部体积
[0043] 210A 通道
[0044] 210B 通道
[0045] 212减震器组件
[0046] 213A第一减震器构件
[0047] 213B第二减震器构件
[0048] 214 杆
[0049] 215 槽
[0050] 216 孔
[0051] 218门致动器
[0052] 22〇密封件
[0053] 222 基座
[0054] 224 第一板
[0055] 226 第二板
[0056] 228A 面
[0057] 228B 面
[0058] 230接触表面
[0059] 232接触表面
[0060] 236 0 形环
[0061] 238板致动器
[0062] 239密封组件
[0063] 240传感器
[0064]5〇OA I条带
[0065] 500B实心P条带
[0066] 500C空心P条带
[0067] 505 主体
[0068] 510安装部分
[0069] 515开口
[0070] 524排气装置
[0071] 600紧固件
[0072] 605安装板
[0073] 702空气缸
[0074] 704 活塞
[0075] 706内部体积
[0076] 708CDA供应器
[0077] 710空气供应阀
[0078] 712第一流量控制阀
[0079] 714第二流量控制阀
[0080] 716高传导性排气线
[0081] 718传导开关
[0082] 720第三流量控制阀
[0083]722低传导性排气线
[0084] 730 顶端
[0085]732底端
[0086] 800曲线图
[0087] 900曲线图
【具体实施方式】
[0088] 本文所公开的实施方式一般而言涉及使用狭缝阀组件密封一或更多个真空腔室 的装置和方法。狭缝阀组件利用柔性或软性部件来防止真空腔室的摇晃或摇动，从而防 止产生不当颗粒和/或工艺污染的震动。下文将关于狭缝阀组件和腔室描述实施方式， 所述狭缝阀组件和腔室可购自美国加利福尼亚州圣克拉拉市应用材料公司的子公司AKT America公司。然而，应将理解，使用其它狭缝阀组件和其它腔室，包括由其他制造商出售的 那些狭缝阀组件和腔室，所述实施方式仍可具有效用。
[0089] 图1是通过狭缝阀组件106耦接的两个真空腔室102、104的示意性剖视图。真空 腔室102、104包括基板传送端口 108、110A，所述基板传送端口形成在真空腔室102、104中 以容许基板进入和退出各自腔室102、104。可操作狭缝阀组件106以密封真空腔室102、104 中的至少一个，使得真空腔室102、104的环境彼此隔离。狭缝阀组件106包括门112,所述 门可在第一位置与第二位置之间移动，所述门在该第一位置上密封基板传送端口 108、110A 中的至少一个，而在该第二位置上允许通过基板传送端口 108、110A在真空腔室102、104之 间传递基