一种安全性高且抽空效果好超高纯气体气瓶烘干抽空装置的制作方法

文档序号:17646735发布日期:2019-05-11 01:05阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种安全性高且抽空效果好超高纯气体气瓶烘干抽空装置,包括机体(1)、固定转盘(6)、放气阀(14)和环形滑槽(19),其特征在于:所述机体(1)内部设置有电机(2),且电机(2)上方连接有电机齿轮(3),所述电机齿轮(3)下方连接有底部齿轮(4),且底部齿轮(4)下方连接有环形齿轮(5),所述固定转盘(6)固定于底部齿轮(4)上方,且固定转盘(6)上方设置有气瓶(7),所述气瓶(7)外壁上套有轴承(8),且轴承(8)上方安装有加热器(9),所述加热器(9)固定于放置槽(10)外壁上,且放置槽(10)一侧设置有真空泵(11),所述真空泵(11)上方连接有气管(12),且气管(12)上方固定有气压表(13),所述放气阀(14)设置于气管(12)一侧末端,且气管(12)下方设置有气阀(15),所述气阀(15)下方设置有开孔(16),且开孔(16)设置于盖子(17)内部,且盖子(17)末端设置有连接轴(18),所述环形滑槽(19)设置于放置槽(10)一侧。

2.根据权利要求1所述的一种安全性高且抽空效果好超高纯气体气瓶烘干抽空装置,其特征在于:所述电机齿轮(3)与底部齿轮(4)之间为啮合连接,且底部齿轮(4)与环形齿轮(5)之间为啮合连接,并且底部齿轮(4)等角度分布于环形齿轮(5)内部。

3.根据权利要求1所述的一种安全性高且抽空效果好超高纯气体气瓶烘干抽空装置,其特征在于:所述轴承(8)的中轴线、加热器(9)的中轴线与放置槽(10)的中轴线相重合,并且轴承(8)与加热器(9)的开口面积等于气瓶(7)的横截面积。

4.根据权利要求1所述的一种安全性高且抽空效果好超高纯气体气瓶烘干抽空装置,其特征在于:所述气管(12)与气阀(15)之间为卡合连接,且气管(12)与气阀(15)构成拆卸结构。

5.根据权利要求1所述的一种安全性高且抽空效果好超高纯气体气瓶烘干抽空装置,其特征在于:所述开孔(16)均匀设置于盖子(17)上,且开孔(16)的面积小于环形滑槽(19)的面积。

6.根据权利要求1所述的一种安全性高且抽空效果好超高纯气体气瓶烘干抽空装置,其特征在于:所述盖子(17)与连接轴(18)之间为旋转连接,且连接轴(18)两端设置有固定轴。

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