一种mo源系统管路的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及金属有机化学气相沉积技术领域，尤其涉及一种MO源的系统管路。
【背景技术】
[0002]在半导体工业中，通常使用化学气相沉积工艺进行沉积各薄膜层，其沉积过程所使用MO源封装于密封容器内，在密封容器顶部设置进气管与出气管，而运载气体通过管路、各控制阀件、流量控制器、进气口进入容器内，再从出气口、管路、各控制阀件、流量控制器将源体输送至沉积腔室内进行沉积反应。故而，当密封容器内源体减少至一定值后则需对该源体进行更换，更换过程中必须先使用4或1气体对管路进行冲抽。
[0003]图1示出了现有技术中更换MO源时的气体冲抽管路系统，管路系统中进气管路与出气管路中气体流经路线分别为:冲抽气体100沿冲抽气体线路一 110分别经由第一质量流量控制器240和第二质量流量控制器340，再经过第一气动阀230和第二气动阀330 (此时第一气动阀230与第二气动阀330均为开启状态，第三气动阀800为关闭状态)，通过管路一 250、管路二 350到达第一手动阀210和第二手动阀310，而此时第一手动阀210和第二手动阀310均为关闭状态，故气体无法通过，则沿冲抽气体线路二 120流经管路一 250、管路二 350返回，并分别通过第三手动阀220和第四手动阀320到达尾气回收管路500，并随尾气载气600进入最后的尾气处理系统。在此气体冲抽过程中，管路一 250和管路二 350中气体为往复循环冲刷管路内壁面，则容易导致管壁残留的MO源和水汽滞留，不易被冲抽干净，进而导致后续生长的LED光电特性异常。而通常为减少此异常的发生，则通过增加冲抽次数来实现，造成更换MO源的时间增加，影响生产的稼动率。
【发明内容】
[0004]针对现有技术的不足，本实用新型提出了一种MO源系统管路，通过改变管路的连接方式，达到减少冲抽次数，降低冲抽不干净造成生产异常的风险。
[0005]本实用新型解决上述问题的技术方案为:一种MO源系统管路，其包括多个并联设置的MO源供给管路及尾气回收管路，所述MO源供给管路包括:控制载气流量的第一质量流量控制器(240 )，所述第一质量流量控制器(240 )通过第一气动阀(230 )、管路一(250 )与MO源瓶(400)入口处的第一手动阀(210)相连通；所述MO源瓶(400)的出口依次通过第二手动阀(310)、管路二(350)和第二气动阀(330)与第二质量流量控制器(340)相连通；所述第一气动阀(230)和所述第二气动阀(330)之间还设有将二者直接连通的第三气动阀(800);所述第一气动阀(230 )与尾气回收管路(500 )之间通过第三手动阀(220 )连通，第二气动阀(330)与尾气回收管路(500)之间通过第四手动阀(320)连通，其中，所述管路一(250)与管路二(350)之间还设有将二者联通的管路三(700)及位于所述管路三(700)上的第五手动阀(710);所述管路一(250)与管路三(700)的连接点(702)至第一手动阀(210)的距离L1、所述管路二(350)与管路三(700)的连接点(703)至第二手动阀(310)的距离L2范围均为O?15cm。
[0006]优选的，所述管路三(700)的内径范围为0.5?I英寸。
[0007]优选的，所述管路三(700)内部还设有可旋转形成涡流气体的扇叶结构(701)。
[0008]优选的，所述扇叶结构(701)中叶片(701a)的数目为n ^ 2 (η为整数)。
[0009]优选的，所述扇叶结构(701)位于所述管路一(250 )与管路三(700 ))连接的端口位置。
[0010]本实用新型至少具有以下有益效果:(I)利用新增加的管路三连通管路一和管路二，并且连接点与第一手动阀/第二手动阀距离较小，促使在更换MO源时利用Η2/Ν2冲抽管路过程中，气流无需往返循环，使得利用较少的冲抽次数即可将管路冲抽干净；(2)在管路三中增加扇叶结构，使气流运行过程中形成涡流，更易将管路内壁面清洁干净。此实用新型有效缩短冲抽操作时间，提升生产的稼动率；改善冲抽后管路内壁面的洁净度，减小更换MO源后导致后续生长的LED光电特性异常的风险。
【附图说明】
[0011]附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。此外，附图数据是描述概要，不是按比例绘制。
[0012]图1为现有使用的MO源系统管路示意图。
[0013]图2为本实用新型实施例一的MO源系统管路示意图。
[0014]图3为本实用新型实施例二的MO源系统管路示意图。
[0015]图4为图3中管路三的内部结构示意图。
[0016]图5为图4中扇叶结构的截面示意图。
[0017]图中标注:100.冲抽气体；110.冲抽气体线路一；120.冲抽气体线路二；200.MO源进气管路；210.第一手动阀；220.第三手动阀；230.第一气动阀；240.第一质量流量控制器；250.管路一；300.MO源出气管路；310.第二手动阀；320.第四手动阀；330.第二气动阀；340.第二质量流量控制器；350.管路二；400.MO源；500.尾气回收管路；600.尾气载气；700.管路三；710.第五手动阀；701.扇叶结构；701a.叶片；702.管路一 250与管路三700的连接点；703.管路二 350与管路三700的连接点；800.第三气动阀。
【具体实施方式】
[0018]下面结合附图和实施例对本实用新型的【具体实施方式】进行详细说明。
[0019]实施例1
[0020]请参看附图2，冲抽气体100 (H2/N2)冲抽MO源管路进气端时的气流线路:冲抽气体100沿冲抽气体线路一 110经由第一质量流量控制器240，经过第一气动阀230 (此时第一气动阀230为开启状态，第二气动阀330与第三气动阀800为关闭状态)，通过管路一 250到达第一手动阀210，由于第一手动阀210为关闭状态，故气体无法通过，而是从管路一 250与管路三700的连接点702进入内径为0.5?I英寸的管路三700，通过第五手动阀710、管路二 350与管路三700的连接点703到达管路二 350且沿冲抽气体线路二 120通过第四手动阀320进入尾气回收管路500，随尾气载气600进入最终的尾气处理系统。
[0021]本实施例中，为改善管路一 250与第一手动阀210或管路二 350与第二手动阀310连接处的吹扫效果，管路一 250与管路三700的连接点702至第一手动阀210的距离L1、管路二 350与管路三700的连接点703至第二手动阀310的距离L2的范围均为O?15cm ;通过增加管路三700及可位于管路三700的任意位置的第五手动阀710，使冲抽气体100沿冲抽气体线路一 110和冲抽气体线路二 120吹扫时，无需往复流动，改善了管路的洁净度；同时，在达到生产要求的洁净程度下，本实用新型可大幅减少吹扫次数，实验数据显示，在达到生产要求的洁净标准下，冲抽次数由之前的50?90次减少为5?15次，更换MO源的时间缩短了 40?60min，有效提升了生产稼动率。
[0022]实施例2
[0023]请参看附图3?5，本实施例与实施例1的区别在于:本实施例中，管路三700中设置可旋转形成涡流气体的扇叶结构701，该结构位于管路三700的任意位置，优选设置于管路一 250与管路三700的连接端口位置，其中扇叶结构701中的叶片701a数目为n ^ 2(η为整数)，在本实施优选η=5 ;当冲抽气体100进入管路三700中，带动扇叶结构701的叶片701a旋转，从而在管路中形成涡流气体，进一步加大气流对管路壁面的吹扫力度，提升冲抽后管路的洁净程度。
[0024]应当理解的是，上述具体实施方案为本实用新型的优选实施例，本实用新型的范围不限于该实施例，凡依本实用新型所做的任何变更，皆属本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种MO源系统管路，其包括多个并联设置的MO源供给管路及尾气回收管路，所述MO源供给管路包括:控制载气流量的第一质量流量控制器(240)，所述第一质量流量控制器(240 )通过第一气动阀(230 )、管路一(250 )与MO源瓶(400 )入口处的第一手动阀(210 )相连通；所述MO源瓶(400)的出口依次通过第二手动阀(310)、管路二(350)和第二气动阀(330)与第二质量流量控制器(340)相连通；所述第一气动阀(230)和所述第二气动阀(330)之间还设有将二者直接连通的第三气动阀(800);所述第一气动阀(230)与尾气回收管路(500 )之间通过第三手动阀(220 )连通，所述第二气动阀(330 )与尾气回收管路(500 )之间通过第四手动阀(320)连通，其特征在于:所述管路一(250)与管路二(350)之间还设有将二者连通的管路三(700)及位于所述管路三(700)上的第五手动阀(710)。
2.根据权利要求1所述的一种MO源系统管路，其特征在于:所述管路一(250)与管路三(700)的连接点(702)至第一手动阀(210)的距离L1、所述管路二(350)与管路三(700)的连接点(703)至第二手动阀(310)的距离L2范围均为O?15cm。
3.根据权利要求1所述的一种MO源系统管路，其特征在于:所述管路三(700)的内径范围为0.5?I英寸。
4.根据权利要求1所述的一种MO源系统管路，其特征在于:所述管路三(700)内部设有可旋转形成涡流气体的扇叶结构(701)。
5.根据权利要求4所述的一种MO源系统管路，其特征在于:所述扇叶结构(701)中叶片(701a)数目为n ^ 2 (η为整数)。
6.根据权利要求4所述的一种MO源系统管路，其特征在于:所述扇叶结构(701)位于所述管路一(250 )与管路三(700 )连接的端口位置。
【专利摘要】本实用新型涉及一种MO源系统管路，利用新增加的管路三连通管路一和管路二，并且连接点与第一手动阀和第二手动阀距离较小，促使在更换MO源时利用H2/N2气体冲抽管路过程中，气流无需往返循环，使得利用较少的冲抽次数即可将管路冲抽干净；此外，在管路三中增加扇叶结构，使气流运行过程中形成涡流，更易将管路内壁面清洁干净。本实用新型有效缩短冲抽操作时间，提升生产的稼动率；改善了冲抽后管路内壁面的洁净度，减小了更换MO源后导致后续生长的LED光电特性异常的风险。
【IPC分类】C23C16-455, F17D1-02
【公开号】CN204477694
【申请号】CN201520117808
【发明人】周圣伟, 郭晃亨, 张家宏, 林兓兓
【申请人】安徽三安光电有限公司
【公开日】2015年7月15日
【申请日】2015年2月27日