专利名称：一种透射电镜试样化学减薄夹具的制作方法
技术领域：
本发明属于实验设备技术领域，涉及到透射电镜制样的工具，该工具的使用， 有利于制备高质量无损伤的电镜试样，从而获得真实的微观组织。
背景技术：
电子显微镜的发明将分辨本领提高到纳米量级，同时也将显微镜的功能由单 一的形貌观察扩展到集形貌观察、晶体结构、成分分析等于一体。人类认识微观 世界的能力从此有了长足的发展。
要想得到好的TEM结果，首先要制备出好的薄膜样品，TEM样品制备在电子 显微学研究中起着非常重要的作用。透射电镜样品制备要求(l)供TEM分析的 样品必须对电子束是透明的，通常样品观察区域的厚度以控制在约100 200nm 为宜。(2)所制得的样品还必须具有代表性以真实反映所分析材料的某些特征。 因此，样品制备时不可影响这些特征，如已产生影响则必须知道影响的方式和程 度。
制备薄膜样品分四个步骤(a)将样品切成薄片(厚度 500ym); (b)预 减薄，用研磨机磨(或使用砂纸)，可磨至100um以下；(c)切割成cb3mm的圆 片；(d)终减薄，多采用电解抛光减薄，这方法速度快，没有机械损伤。
在上述薄膜样品制备过程中，线切割和机械研磨的方法常会产生较厚的机械 损伤层，影响薄膜的微观组织，为获得无损伤层的薄膜试样，预减薄也可以采用 化学减薄的方式。化学减薄时，由于试样的边角是化学减薄液优先侵蚀的部位， 在减薄过程中容易出现不均匀减薄现象，甚至于试样还未减薄至合适的厚度，试 样已经被侵蚀的所剩无几了。为了保证试样薄片的均匀减薄，通常对试样边角采 取涂耐酸漆，但效果不是太理想，且操作不方便。
发明内容
为了克服现有化学减薄的不足，本实用新型提供一种边角密封保护可靠、操 作方便的透射电镜试样化学减薄夹具。
本实用新型是利用橡胶密封圈密封的原理，实现透射电镜薄片试样边缘部位 的保护，使之不被化学减薄液侵蚀，从而实现试样薄片内部的均匀腐蚀减薄。一种透射电镜试样化学减薄夹具，包括耐酸的下卡套l、上卡套2和橡胶密 封圈4、 5、 6，以及夹具变换模式下所使用的螺钉3。具体结构特点是上卡套
有一个密封槽，下卡套上下各有一个不同尺寸的密封槽。上卡套密封槽尺寸与下 卡套的下部密封槽尺寸相同。上、下卡套通过螺钉相连接。待化学减薄薄片试样 放置在同尺寸的上、下卡套密封圈之间，通过上、下卡套的连接而密封试样边缘， 防止化学减薄液侵蚀试样周边。
本实用新型提供一种边角密封保护可靠、操作方便的透射电镜试样化学减薄 夹具，使化学减薄液仅侵蚀卡套中心暴露部位的试样，避免了减薄液对试样边缘 的侵蚀，这样就实现了对试样边缘的保护，实现了透射电镜样品的均匀减薄，获 得无损伤的电镜试样。
附图是本实用新型剖视图。
具体实施方式
将耐酸密封圈4和5分别放入下卡套1对应的密封槽内，然后将待减薄试样 薄片7平放在密封圈5上，确保试样放置平稳后用带有密封圈6的上卡套压住试 样7，最后用螺钉3连接，使上、下卡套紧紧固定在一起，以保证密封圈5和6 将试样边缘密封，同时密封圈4将两个卡套的连接面密封，防止化学减薄液从卡 套连接面处进入，腐蚀试样周边。
权利要求1、一种透射电镜试样化学减薄夹具，其特征包括耐酸的上卡套(2)、下卡套(1)和橡胶密封圈(4)、(5)、(6)以及夹具变换模式下所使用的螺钉(3)；上卡套有一个密封槽，下卡套上下各有一个不同尺寸的密封槽，上卡套密封槽尺寸与下卡套的下部密封槽尺寸相同，上、下卡套通过螺钉(3)相连接，待化学减薄薄片试样(7)放置在同尺寸的上、下卡套密封圈之间，通过上、下卡套的连接而密封试样边缘，防止化学减薄液侵蚀试样周边。
专利摘要一种透射电镜试样化学减薄夹具，属于实验设备技术领域，涉及到透射电镜制样的工具。包括耐酸的上卡套、下卡套、密封圈和防腐螺钉。透射电镜试样放置在两卡套中间，通过卡套的夹紧作用，使试样两面的密封圈紧紧贴在试样表面，起到密封的效果，避免减薄液流向试样边缘而产生非均匀侵蚀减薄，实现透射电镜试样的均匀减薄。
文档编号G01N1/28GK201225969SQ200820108760
公开日2009年4月22日 申请日期2008年6月20日 优先权日2008年6月20日
发明者华 崔, 熊小涛, 蔡元华, 钱大益 申请人:北京科技大学