缺陷检查系统和方法与流程

文档序号:11141978阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于样品中的表面缺陷(10)的人工视觉检查的缺陷检查系统,包括:

用于照亮样品表面的照明系统(44),其包括在平面内形成的光源阵列,其中光源阵列限定在平面内向着样本的光照方向的范围,该范围覆盖至少90度;和

控制器(46),其用于控制光源以在序列中操作,使得在序列中利用在单个入射方向的最大光源强度来照亮样品的每个点,并随着时间的推移,提供最大光源强度所在的方向改变以覆盖所述范围。

2.一种用于样品中的表面缺陷(10)的自动检查的缺陷检查系统,包括:

用于照亮样品表面的包括平面内形成的光源阵列的照明系统(44),其中光源阵列限定在平面内向着样本的光照方向的范围,该范围覆盖至少90度;和

控制器(46),其用于控制光源以在序列中操作,使得在序列中利用在单个入射方向的最大光源强度来照亮样品的每个点,并随着时间的推移,提供最大光源强度所在的方向改变以覆盖所述范围;

至少一个相机;

用于控制相机在光源操作序列期间拍摄连续图像的控制器;和

用于处理图像以导出至少一个差别图像的处理器,其中差别图像高亮由原本平滑表面上的随机定位的表面缺陷引起的阴影位置的变化,并且基于差别图像提供缺陷检测。

3.如权利要求1、2或3所述的系统,其中范围覆盖至少135度,更优选地至少180度。

4.如任一前述权利要求所述的系统,其中控制器(46)适于控制光源阵列以顺序地完全打开一个光源并且关闭其它光源或将其它光源设置到最小强度。

5.如权利要求1、2或3所述的系统,其中控制器(46)适于控制光源阵列以改变光源的输出的强度,使得每个光源在序列内的相应时间点具有比其它光源更大的强度。

6.如权利要求5所述的系统,其中控制器(46)适于控制光源阵列以利用正弦强度曲线改变光源的强度,所有正弦强度曲线具有相同周期但是不同的相位。

7.如任一前述权利要求所述的系统,其中光源阵列包括多个光源子阵列,每个子阵列在相应平面中形成,针对不同子阵列的平面的法向被布置在一条线上。

8.如任一前述权利要求所述的系统,还包括样品平台(42),其中样品平台相对于照明系统在垂直于该平面的方向可移动。

9.如任一前述权利要求所述的系统,包括车体镶板油漆工作检测系统。

10.一种对样品(40)的表面提供照明以使能样品中的缺陷的人工视觉检查的方法,该方法包括:

使用在平面内形成的光源阵列(44)来照亮样品平面,其中光源阵列限定在平面内朝向样品的光照方向的范围,该范围覆盖至少90度​​;和

控制光源以在序列中操作,使得在序列中利用在单个入射方向的最大光源强度来照亮样品的每个点,并随着时间的推移,提供最大光源强度所在的方向改变以覆盖所述范围。

11.一种对样品(40)的表面提供照明以使能样品中的缺陷的自动检查的方法,该方法包括:

使用在平面内形成的光源阵列(44)来照亮样品平面,其中光源阵列限定在平面内朝向样品的光照方向的范围,该范围覆盖至少90度​​;和

控制光源以在序列中操作,使得在序列中利用在单个入射方向的最大光源强度来照亮样品的每个点,并随着时间的推移,提供最大光源强度所在的方向改变以覆盖所述范围;

在光源操作序列期间拍摄连续图像;

处理图像以导出至少一个差别图像,其中,差别图像高亮由原本平滑表面上的随机定位的表面缺陷引起的阴影位置的变化;并且

基于差别图像提供缺陷检测。

12.如权利要求10或11所述的方法,包括:

顺序打开一个光源并且关闭其它光源或将它们设置到最小强度;或

控制光源阵列以改变光源的输出的强度,使得一个光源具有比其它光源更大的强度。

13.如权利要求12所述的方法,包括控制光源阵列以利用正弦强度曲线改变光源的强度,所有正弦强度曲线具有相同周期但是不同的相位。

14.如权利要求10到13中的任一项所述的方法,包括使用包括多个光源子阵列的光源阵列来照亮样品,每个子阵列在相应平面中形成,针对不同子阵列的平面是平行的。

15.如权利要求10到14中的任一项所述的方法,包括相对于光源阵列在垂直于平面的方向上移动样品。

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