缺陷检查系统和方法与流程

技术总结
提供缺陷检测系统用于样品的表面中的缺陷的检查。使用光源阵列，其具有从不同的方向向样品提供光的不同光源。光照的主方向利用最高强度限定，并且该方向随时间的推移而演变。通过提供变化的定向光照，而不是全面光照，检测缺陷变得更容易。

技术研发人员：S.蒯;M.C.贾伊格;W.周
受保护的技术使用者：飞利浦灯具控股公司
文档号码：201480058331
技术研发日：2014.10.13
技术公布日：2017.02.15