一种共享电感耦合等离子体光源的光谱与质谱测定装置与方法与流程

文档序号:12267828阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种共享电感耦合等离子体光源的光谱与质谱测定装置,其特征在于,包括电感耦合等离子体发生装置、质谱仪、光栅光谱仪、光纤和测控系统,沿电感耦合等离子体发生装置产生的电感耦合等离子体轴向设有接收电感耦合等离子体的质谱仪,沿电感耦合等离子体发生装置产生的电感耦合等离子体径向设有接收电感耦合等离子体的光纤探头,光纤探头与光纤的一端相连,光纤的另外一端与光栅光谱仪相连,光栅光谱仪和质谱仪与测控系统信号相连。

2.根据权利要求1所述的共享电感耦合等离子体光源的光谱与质谱测定装置,其特征在于,所述的光栅光谱仪为多通道组合光栅光谱仪,相对应的所述的光纤为光纤集束,光纤集束中的一根光纤对于多通道组合光栅光谱仪的一条通道。

3.根据权利要求2所述的共享电感耦合等离子体光源的光谱与质谱测定装置,其特征在于,所述的多通道组合光栅光谱仪为六通道组合光栅光谱仪。

4.根据权利要求1所述的共享电感耦合等离子体光源的光谱与质谱测定装置,其特征在于,所述的光纤探头设于电感耦合等离子体的焰炬正常分析区中部径向周侧。

5.一种共享电感耦合等离子体光源的光谱与质谱测定方法,其特征在于,将样品放置于电感耦合等离子体发生装置的矩管中,点燃生成电感耦合等离子体,电感耦合等离子体沿轴向送质谱仪进行质谱检测,沿径向经光纤探头收集后经光纤送入光栅光谱仪检测,质谱仪和光栅光谱仪的信号传输到测控系统进行分析和控制。

6.根据权利要求5所述的共享电感耦合等离子体光源的光谱与质谱测定方法,其特征在于,所述的光栅光谱仪为多通道组合光栅光谱仪,相对应的所述的光纤为光纤集束,光纤集束中的一根光纤对应多通道组合光栅光谱仪的一条通道,所述的沿径向经光纤探头收集后经光纤送入光栅光谱仪检测具体为:光纤集束的一端光纤探头用于接收与等离子质谱仪共享的电感耦合等离子体光源,另一端每根光纤分别连接多通道组合光栅光谱仪的通道的入口狭缝,光束进入狭缝后,首先由准直镜汇聚成为平行光,再通过光栅将不同波长的光向不同方向进行衍射,最后由聚光镜将衍射光聚光反射到CCD传感单元,形成的光谱由光信号转化成电信号,传输到测控系统,测控系统实时显示测量样品元素的发射光谱,并可控制光栅光谱仪和质谱仪的联动检测。

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