技术总结
本发明提供一种能实时检测真空度的红外探测器微型杜瓦，包括其内带真空腔、真空腔内设内管及吸气剂的管壳，设于管壳上方的其顶部带红外窗片的窗框座，设于管壳与窗框座之间的引线环，引线环上的管脚延伸至管壳外部，窗框座内并位于内管的顶部设有装载基板，装载基板上设有红外探测器，该红外探测器的信号线与引线环及管脚相连，其特征在于真空腔内设有静电驱动‑电容检测的谐振子芯片或微机械陀螺芯片，该芯片的信号线引出后与管壳外部的检测器相连。定量检测微型杜瓦实际真空度，适时激活吸气剂，并检测各方向的角速度值，控制载具的惯性姿态，确保红外探测器的正常使用。
技术研发人员：范乃华;秦强;肖徽山;钱昆伦;洪建堂;姚菡婷;刘莹娟;刑一山
受保护的技术使用者：昆明物理研究所
文档号码：201611030800
技术研发日：2016.11.22
技术公布日：2017.05.31