本实用新型涉及一种分析电子级混合气组分含量的装置。
背景技术：
电子级混合气（Electron gas mixture），指含有两种或两种以上有效组份，或虽属非有效组份但其含量超过规定限量的气体。是工程上常用的工质，或常被当作理想气体研究。
目前在对电子级混合气组份进行分析时，存在以下问题：
1、电子级混合气的性质多为易燃易爆，与空气接触会立即自燃，造成事故；
2、电子级混合气中组分与氧气反应后会生成固体颗粒，会导致管道部件堵塞和损坏；
3、有些电子级混合气组分含量为ppm级别，常规取样时容易受到空气的稀释干扰；
4、样品遇空气发生反应，会消耗组分含量，使分析结果偏低；
5、电子级混合气价值较高，分析消耗样品的量越少越好。
技术实现要素：
本实用新型的目的是提供一种分析电子级混合气组分含量的装置。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：
一种分析电子级混合气组分含量的装置，包括：取样管路、吹扫管路、抽真空管路以及检测机构，所述的取样管路具有连接电子级混合气气源的连接口，所述的吹扫管路、抽真空管路以及检测机构分别与取样管路相连通；所述的抽真空管路包括用于将所述的取样管路抽真空的抽吸机构、用于将取样管路内的电子级混合气向所述的检测机构抽吸的气体抽真空管路，所述的气体抽真空管路连接在所述的取样管路连接所述的检测机构的上游。
优选地，所述的吹扫管路连接氦气气源。
优选地，所述的气体抽真空管路连接氮气气源。
优选地，所述的装置还包括废气管路，所述的废气管路与取样管路相连通。
进一步优选地，所述的取样管路、吹扫管路、气体抽真空管路以及废气管路上分别设置有用于控制其管路段通路的控制阀。
进一步优选地，所述的控制阀包括单向阀、手动开关阀、自动阀。
进一步优选地，所述的取样管路、吹扫管路、气体抽真空管路以及废气管路的材质为316L不锈钢。
优选地，所述的取样管路上设置有减压器。
由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
1、使样品气彻底隔绝空气，不会与空气接触自燃，避免事故发生；
2、样品气不会与空气接触，不会反应产生固体颗粒损坏系统部件；
3、有效排除了空气稀释的干扰，组分含量分析不受影响；
4、样品气不与空气接触，不会发生反应，组分含量完全保留；
5、分析系统有真空装置，分析速度快，减少了样品气用量。
附图说明
附图1为本实施例的结构示意图。
其中：1、取样管路；2、氦气吹扫管路；3、抽吸机构；4、氮气抽真空管路；5、废气管路；6、检测机构。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：
如图1所示的一种分析电子级混合气组分含量的装置，包括：取样管路1、氦气吹扫管路2、抽真空管路、废气管路5以及检测机构6，其中：抽真空管路包括用于将取样管路1抽真空的抽吸机构3、用于将取样管路1内的电子级混合气向检测机构抽吸的气体抽真空管路，具体为氮气抽真空管路4。取样管路1具有连接电子级混合气气源的连接口，氦气吹扫管路2、抽吸机构3、氮气抽真空管路4、废气管路5以及检测机构6分别与取样管路1相连通，氮气抽真空管路4连接在取样管路1连接检测机构6的上游。
取样管路1、氦气吹扫管路2、氮气抽真空管路4以及废气管路5上分别设置有用于控制其管路段通路的控制阀，取样管路1上还设置有减压器（以PRV标示）。在本实施例中：控制阀主要包括单向阀（以CV标示）、手动开关阀（以MV标示）、自动阀（以AV标示）。
取样管路1上连接口处设置有MV919，取样管路1上连接氦气吹扫管路2处设置MV912，取样管路1上连接抽吸机构3处设置MV915，取样管路1上连接废气管路5处设置MV914，取样管路1连接检测机构6之间设置依次设置有AV913、PRV905、MV909、MV908、PRV904以及MV901。
氦气吹扫管路2上设置有CV909；氮气抽真空管路4连接在取样管路1的PRV904与MV901之间，氮气抽真空管路4依次上设置有MV903、MV902；废气管路5上设置有MV910。在各管路上还可以根据实际需求设置其他所需的控制阀、减压器等。
氦气吹扫管路2、检测机构6上也分别连接有尾气或废气管路，并与废气管路5立案通知尾气处理装置。
此外，取样管路1、氦气吹扫管路2、氮气抽真空管路4以及废气管路5的材质为316L不锈钢。
在不检测电子级混合气时，从氦气气源在氦气吹扫管路2经过CV909和MV912向取样管路1中通入氦气，以保护取样管路1不被空气污染；
连接待检测电子级混合气气源，关闭MV912，打开MV919，打开MV910，打开MV914将氦气排出，关闭MV914，拆下连接口堵帽，连接电子级混合气气气源，打开MV912使氦气进入取样管路1，检查连接气密性；关闭MV912，打开MV914排出氦气，关闭MV914，关闭MV910，打开MV915，抽吸机构3抽真空，使取样管路1内的气体被抽掉；关闭MV915，打开电子级混合气气气源，此时电子级混合气进入取样管路1；
打开MV903，使氮气抽真空管路4抽真空，打开AV913，缓慢打开减压器PRV905使减压器出口为5Bar，打开MV909，MV908，缓慢调节PRV904使减压出口压力约为1Bar，关闭MV919，打开MV902，取样管路1的电子级混合气和氦气；
关闭MV902，打开MV919，打开MV901，充分吹扫检测机构6后开始检测电子级混合气组分含量；
检测完毕后关闭电子级混合气气源，关闭MV901，打开MV902，抽掉取样管路1中的电子级混合气，关闭MV902，关闭MV903，打开MV912使取样管路1中充满氦气，关闭MV912，关闭AV913，关闭PRV905，关闭MV909，关闭MV908，关闭PRV904，打开MV910，打开MV914排出取样管路1内的氦气，关闭MV914，关闭MV910；
拆下电子级混合气气源并用堵帽堵好，打开MV915抽掉空气，关闭MV915，打开MV912，关闭MV912，关闭MV919，整个取样管路1受氦气保护。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。