技术总结
本实用新型公开了一种光罩检测装置，其包含检测基座、移动平台、转动平台、承载平台、发光单元、雷射测距模块、处理模块及影像撷取模块。移动平台设于检测基座上，且沿检测基座作第一方向的位移。转动平台设于移动平台之上，且沿移动平台作第二方向的位移。承载平台设于转动平台的一面上，承载平台承载光罩，光罩包含基板及多边形框架，多边形框架设于基板的一面上。发光单元设于支架的一侧。雷射测距模块设于支架的一侧。处理模块控制移动平台移动。影像撷取模块采集对应测距信号的检测区域的检测影像。其中，转动平台会转动默认角度，使影像撷取模块采集另一内壁面的若干个检测区域的若干个检测影像。
技术研发人员：张志强
受保护的技术使用者：艾斯迈科技股份有限公司
文档号码：201621154146
技术研发日：2016.10.31
技术公布日：2017.06.06