一种表面缺陷检测方法与流程

文档序号:12451750阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种表面缺陷检测方法,其特征在于,包括:

将被测件设置在置物台上,从与所述被测件成第一夹角的第一方向向所述被测件投射第一入射光,当所述第一入射光通过所述被测件后形成第一散射光时,设置在所述被测件正上方的第一图像采集单元获取所述第一散射光,并根据所述第一散射光确定所述被测件被照射区域存在疵病;

将存在疵病区域确定为第一被测块,第二入射光依次通过斩波器,扩束系统,第一聚焦镜,光路转折组件和第二聚焦镜投射到所述第一被测块,当所述第二入射光通过所述第一被测块后形成第二散射光,通过设置在所述置物台上方的导光管,进入光电探测器;其中,在所述被测件被上确定所述第一被测块后,所述第一入射光停止照射所述被测件。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述置物台能够移动。

3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一图像采集单元包括成像透镜和CCD。

4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一入射光为白光;所述第二入射光为激光。

5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第二入射光在通过所述扩束镜之前,为高斯光束。

6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,进入所述光电探测器的光敏面的所述第二散射光的焦点为爱里斑。

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