1.一种离子束横截面离子浓度检测系统,其特征在于,包括:
离子束,所述离子束横截面包括水平X轴向及与所述X轴向正交的Y轴向;
第一法拉第杯,位于所述离子束末端,沿所述X轴向运行,所述第一法拉第杯的接收面在所述Y轴向的宽度大于所述离子束横截面的Y轴向的宽度,用以接收所述离子束横截面的Y轴向排布的所述离子束;
第二法拉第杯,沿所述Y轴向运行,所述第二法拉第杯的接收面在所述X轴向的长度大于所述离子束横截面的X轴向的长度,用以接收所述X轴向排布的所述离子束;
数据处理器,连接所述第一法拉第杯及所述第二法拉第杯。
2.根据权利要求1所述的离子束横截面离子浓度的检测系统,其特征在于:所述离子束横截面的X轴向距离范围为100~350mm。
3.根据权利要求1所述的离子束横截面离子浓度的检测系统,其特征在于:所述离子束横截面的Y轴向距离范围为50~150mm。
4.根据权利要求1所述的离子束横截面离子浓度的检测系统,其特征在于:还包括调控装置,所述调控装置调节所述离子束的浓度。
5.根据权利要求4所述的离子束横截面离子浓度的检测系统,其特征在于:所述调控装置连接于所述数据处理器,包括自动调控装置及手动调控装置中的一种或组合。
6.根据权利要求1所述的离子束横截面离子浓度的检测系统,其特征在于:所述第一法拉第杯位于所述离子束与所述第二法拉第杯之间。
7.根据权利要求1所述的离子束横截面离子浓度的检测系统,其特征在于:所述第二法拉第杯位于所述离子束与所述第一法拉第杯之间。
8.根据权利要求1所述的离子束横截面离子浓度的检测系统,其特征在于:所述第一法拉第杯及所述第二法拉第杯的接收面平行于所述离子束横截面。
9.根据权利要求1所述的离子束横截面离子浓度的检测系统,其特征在于:所述离子束包括锑、铟及镓离子束中的一种。
10.根据权利要求1所述的离子束横截面离子浓度的检测系统,其特征在于:所述数据处理器包括显示屏。