一种离子束横截面离子浓度检测系统的制作方法

技术总结
本实用新型提供一种离子束横截面离子浓度检测系统，包括：离子束、第一法拉第杯、第二法拉第杯及数据处理器；在X轴向上的第一法拉第杯，及与X轴向正交的Y轴向上的第二法拉第杯，可准确的反映离子束的实际分布状态，使得工作人员能准确的优化离子束，从而缩短了优化离子束的时间；提高后续制备的晶圆质量；有利于对异常离子束或事件的判断。

技术研发人员：唐瑞龙;倪明明;洪纪伦;吴宗祐;林宗贤
受保护的技术使用者：德淮半导体有限公司
技术研发日：2017.12.18
技术公布日：2018.09.11