基于双悬臂梁增强型光声光谱的气体分解组分检测装置的制作方法

文档序号:23506303发布日期:2021-01-01 18:16阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种气体分解组分检测装置,其特征在于,包括:

硅微悬臂梁传声器,所述硅微悬臂梁传声器包括:光声池(4),光声池(4)上具有进气口(23)、出气口(12)和两个对称的光声检测通道,所述两个对称的光声检测通道内设有硅微悬臂梁(6,13);激光干涉仪(11,17),用于透过所述两个对称的光声检测通道上的透激光玻璃(10,14)测量硅微悬臂梁(6,13)的振动;数字信号处理模块(5、19),用于对激光干涉仪(11,17)测量的硅微悬臂梁(6,13)振动信号进行预处理;

红外激光光源(1),红外激光光源(1)发出的红外激光光束经过光学斩波器(2)调制后从光声池(4)端部的透红外光玻璃(3)射入光声池(4)内;以及

计算机(22),连接数字信号处理模块(5、19)对数字信号处理模块(5,19)输出的与硅微悬臂梁(6、13)自由末端位移成比例的电压信号进行处理。

2.根据权利要求1所述的气体分解组分检测装置,其特征在于,红外激光光源(1)的中心对准光声池(4)的中心轴线。


技术总结
公开了一种基于双悬臂梁增强型光声光谱的气体分解组分检测装置,包括红外激光光源(1)、光学斩波器(2)、光声池(4)、硅微悬臂梁(6,13)、激光干涉仪(11,17)、上位机(22)。红外激光光源发出红外光,经光学斩波器调制成周期性红外光。光声池内的待测气体与周期性红外光作用后产生的光声效应,借助两个硅微悬臂梁对待测气体光声效应产生的声信号进行测量,将其转换为与声波强度成正比的电信号输出,将电信号转换为数字信号传入计算机,即可得到待测气体产生的光声信号。双悬臂梁传声器同时检测,检测对称位置的光声效应,能有效减少噪声对检测结果的影响。

技术研发人员:戴锋;卞超;程骏;甘强;陶加贵;陈轩;张正东;张晓星;张引;王毅
受保护的技术使用者:国网江苏省电力有限公司检修分公司
技术研发日:2020.09.17
技术公布日:2021.01.01
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