1.一种气体分解组分检测装置,其特征在于,包括:
硅微悬臂梁传声器,所述硅微悬臂梁传声器包括:光声池(4),光声池(4)上具有进气口(23)、出气口(12)和两个对称的光声检测通道,所述两个对称的光声检测通道内设有硅微悬臂梁(6,13);激光干涉仪(11,17),用于透过所述两个对称的光声检测通道上的透激光玻璃(10,14)测量硅微悬臂梁(6,13)的振动;数字信号处理模块(5、19),用于对激光干涉仪(11,17)测量的硅微悬臂梁(6,13)振动信号进行预处理;
红外激光光源(1),红外激光光源(1)发出的红外激光光束经过光学斩波器(2)调制后从光声池(4)端部的透红外光玻璃(3)射入光声池(4)内;以及
计算机(22),连接数字信号处理模块(5、19)对数字信号处理模块(5,19)输出的与硅微悬臂梁(6、13)自由末端位移成比例的电压信号进行处理。
2.根据权利要求1所述的气体分解组分检测装置,其特征在于,红外激光光源(1)的中心对准光声池(4)的中心轴线。