金属材料的表面状态的评价装置、透明基材的视认性评价装置、其评价程序及记录有其的...的制作方法_3

文档序号:8909039阅读:来源:国知局
个观察点的亮度而制作观察点-亮度曲 线图。
[0102] 电脑12具备作为记忆手段的记忆体。于该记忆体中分别W电脑可读取的方式记 录(所谓保存)有经数位化的来自摄影手段11的图像、观察点-亮度曲线图制作式、视认 性评价式、铜巧的表面状态的评价式、及各阶段中的评价值等。
[0103] 显示手段13基于来自电脑12的各种信号显示观察点-亮度曲线图、视认性评价 结果、铜巧的表面状态的评价结果等特定的图像或数值等。
[0104] 其次,参照图2所示的流程图,对使用有上述实施方案的铜巧的表面状态的评价 装置10的铜巧的表面状态的评价方法进行说明。再者,图2所示的流程图是使用有本发明 的铜巧的表面状态的评价装置10的铜巧的表面状态的评价方法的一实施方案,能W本发 明的铜巧的表面状态的评价装置10实现的评价方法并不限定于图2的流程图中所示者。尤 其是,平滑化处理于图2中是于制作观察点-亮度曲线图之前对通过拍摄而获得的图像进 行,但并不限定于此,例如,亦可于制作观察点-亮度曲线图之后进行。
[0105] 于使用铜巧的表面状态的评价装置10的铜巧的表面状态的评价方法中,首先,准 备于将铜巧贴合于透明基材的至少一表面之后,通过蚀刻去除上述铜巧的至少一部分而制 作成的透明基材17。再者,亦可准备通过上述蚀刻去除上述铜巧的全部而制作成的透明基 材17。又,于铜巧为表面处理铜巧的情形时,准备于将至少一表面经粗化处理等表面处理 的表面处理铜巧自经粗化处理等表面处理的表面侧贴合于透明基材的至少一表面之后,通 过蚀刻去除上述铜巧的至少一部分而制作成的透明基材17。再者,亦可准备通过上述蚀刻 去除上述铜巧的全部而制作成的透明基材17。其次,通过摄影手段11隔着透明基材17拍 摄存在于透明基材17的下方的标记16。由摄影手段11拍摄的图像的信号被送向电脑12。 电脑12的观察点-亮度曲线图制作手段对于来自摄影手段11的图像信号,沿着横穿所观 察到的标记16的方向测定每个观察点的亮度而制作观察点-亮度曲线图。电脑12的铜 巧的表面状态评价手段于该观察点-亮度曲线图中,根据自标记16的端部起至无标记16 的部分产生的亮度曲线的斜率评价透明基材17的视认性,并基于该视认性的评价结果对 贴合于透明基材17的铜巧的表面状态进行评价。先前,若不于生产线上实际制作,则无法 判断是否可隔着透明基材视认为了进行位置对准等而设置的标记,于制造成本方面存在问 题。然而,若使用本发明的铜巧的表面状态的评价装置10,则通过上述构成,即便仅于实验 室中亦可容易且高效率地准确评价透明基材17的视认性,由此,可高效率且准确地进行铜 巧的表面状态的评价。例如,可将透明基材17的视认性的评价结果为良好的情形直接评价 为铜巧的表面状态良好。
[0106] 电脑12的铜巧的表面状态评价手段将自标记16的端部起至无标记16的部分产 生的亮度曲线的顶部平均值化与底部平均值化的差设为ab(ab=化一化),并使用 Sv进行视认性的评价,并使用该评价结果进行铜巧的表面状态的评价,上述Sv是于在观察 点-亮度曲线图中,将表示亮度曲线与化的交点中最接近于标记16的交点的位置的值(上 述观察点-亮度曲线图的横轴的值)设为tl,将表示于自亮度曲线与化的交点至W化为 基准0. 1AB为止的深度范围内,亮度曲线与0. 1AB的交点中最接近于标记的交点的位置 的值(上述观察点-亮度曲线图的横轴的值)设为t2时,由下述(1)式进行定义。
[0107] Sv= (ABX0.l)/(tl-t2) (1)
[0108] 先前,若不于生产线上实际制作,则无法判断是否可隔着透明基材视认为了进行 位置对准等而设置的标记,于制造成本方面存在问题。然而,若使用本发明的铜巧的表面状 态的评价装置10,则通过上述构成,即便仅于实验室中亦可容易且高效率地准确评价透明 基材17的视认性,由此,可高效率且准确地进行铜巧的表面状态的评价。例如,可将透明基 材17的视认性的评价结果为良好的情形直接评价为铜巧的表面状态良好。再者,于上述观 察点-亮度曲线图中,横轴表示位置资讯(像素X0.1),纵轴表示亮度(灰阶)的值。
[0109] 又,电脑12的铜巧的表面状态评价手段使用AB(AB=化一Bb)及Sv进行透明 基材17的视认性的评价,并使用该评价结果进行铜巧的表面状态的评价,上述AB(AB= 化一Bb)是自标记16的端部起至无标记16的部分产生的亮度曲线的顶部平均值化与底 部平均值化的差,上述Sv是于在观察点-亮度曲线图中,将表示亮度曲线与化的交点中 最接近于标记16的交点的位置的值(上述观察点-亮度曲线图的横轴的值)设为11,将表 示于自亮度曲线与化的交点至W化为基准0. 1AB为止的深度范围内,亮度曲线与0. 1AB 的交点中最接近于标记的交点的位置的值(上述观察点-亮度曲线图的横轴的值)设为t2 时,由下述(1)式进行定义。
[0110]Sv= (ABX0.l)/(tl-t2) (1)
[0111] 根据此种构成,即便仅于实验室中亦可容易且高效率地准确评价透明基材17的 视认性,由此,可高效率且准确地进行铜巧的表面状态的评价。
[0112] 优选为电脑12进而具备平滑化处理手段,该平滑化处理手段对于通过利用摄影 手段11的拍摄而获得的图像,使亮度的不均缓和,观察点-亮度曲线图制作手段使用平滑 化处理后的亮度制作观察点-亮度曲线图。对自通过利用摄影手段11的拍摄而获得的图 像获得的亮度的包含杂讯的资料(原波形)进行利用平滑化处理手段的平滑化处理,由此, 该亮度的不均缓和,因此,可更准确地评价透明基材17的视认性,由此,可高效率且准确地 进行铜巧的表面状态的评价。作为利用平滑化处理手段的平滑化处理,可利用各种平滑化 程序进行,例如,可使用通过2、3次多项式配适法的平滑化处理、通过傅立叶变换的平滑化 处理、或通过移动平均法的平滑化处理等。再者,平滑化处理亦可使用公知的各种平滑化程 序进行。又,亮度资料的平滑化处理既可对有标记16的部分、及无标记16的部分的两者进 行,亦可对有标记16的部分进行,或亦可对无标记16的部分进行,或亦可局部地进行。
[0113] 再者,对于通过利用摄影手段11的拍摄而获得的图像,亦可于进行该亮度的平滑 化处理之前,预先进行该亮度的包含杂讯的资料(原波形)的观察点-亮度曲线图制作。
[0114] 又,铜巧表面状态评价手段于在透明基材17的视认性评价中仅基于上述Sv值评 价视认性的情形时,亦可将自标记16的端部起至无标记16的部分产生的亮度曲线的顶部 平均值化与底部平均值化的差设为AB(AB=化一化),于在观察点-亮度曲线图中, 将表示亮度曲线与化的交点中最接近于标记的交点的位置的值(上述观察点-亮度曲线 图的横轴的值)设为tl,将表示于自亮度曲线与化的交点至W化为基准0. 1AB为止的 深度范围内,亮度曲线与0. 1AB的交点中最接近于标记16的交点的位置的值(上述观察 点-亮度曲线图的横轴的值)设为t2时,将Sv成为3. 5W上的情形判定为铜巧的表面状 态良好。
[0115] 进而,铜巧表面状态评价手段于在透明基材17的视认性评价中基于上述Sv值及 AB值评价视认性的情形时,亦可将自标记16的端部起至无标记16的部分产生的亮度曲线 的顶部平均值化与底部平均值化的差AB(AB=化一Bb)为40W上,于在观察点-亮 度曲线图中,将表示亮度曲线与化的交点中最接近于标记的交点的位置的值(上述观察 点-亮度曲线图的横轴的值)设为tl,将表示于自亮度曲线与化的交点至W化为基准 0. 1AB为止的深度范围内,亮度曲线与0. 1AB的交点中最接近于标记16的交点的位置的 值(上述观察点-亮度曲线图的横轴的值)设为t2时,Sv成为3. 5W上的情形判定为铜 巧的表面状态良好。
[0116] 更优选为将Sv成为3. 9W上、优选为4. 5W上、优选为5. 0W上、更优选为5. 5W 上的情形判定为视认性良好、且铜巧的表面状态良好。又,Sv的上限无需特别限定,例如为 70W下、30W下、15W下、10W下。
[0117] 优选为于AB(AB=化一Bb)为50W上的情形时判定为视认性良好、且铜巧的表 面状态良好,更优选为于60W上的情形时判定为视认性良好,且铜巧的表面状态良好。AB 的上限无需特别限定,例如为100W下、或80W下、或70W下。根据此种评价,可高效率地 且更准确地评价透明基材17的视认性,由此,可更高效率地且准确地进行铜巧的表面状态 的评价。
[011引此处,使用图对"亮度曲线的顶部平均值化"、"亮度曲线的底部平均值化"、及下 述进行说明。又,关于"亮度曲线的底部平均值化",于增大标记的宽度 (例如标记的宽度为0. 7mmW上、例如0. 8mmW上、例如5mmW下、4mmW下,例如可设为约 1. 3mm)者、及缩小标记的宽度(例如标记的宽度为0. 01mmW上、0. 05mmW上、0. 1mmW上、 0. 8mmW下、0. 7mmW下、0. 6mmW下,例如可设为0. 3mm)者中,规定不同,故而对各者的情形 进行说明。
[0119] 于图3中表示定义增大标记的宽度(设为约1. 3mm)的情形时的化及化的模式 图。图3的"标记"表示于通过上述CCD相机的拍摄而获得的图像中观察到的印刷物的线 状的标记(宽度约1. 3mm)。W重迭于该标记的方式描绘的曲线于上述观察点-亮度曲线 图中,表示自标记的端部起至无标记的部分产生的亮度曲线。如图3所示,"亮度曲线的顶 部平均值化"表示自离标记的两侧的端部位置100ym的位置起W30ym间隔测定5个部 位(两侧合计10个部位)时的亮度的平均值。"亮度曲线的底部平均值Bb"表示从自标记 的端部位置向内侧进入100ym的位置起W100ym间隔测定11个部位时的亮度的平均值。 再者,用W测定亮度的平均值的观察点的间隔可根据亮度曲线的形状而适当地于lym~ 500ym的范围内采用。为了避免观察点的偏差,观察点的间隔优选为大致等间隔或等间隔。 再者,观察点的间隔亦可并非大致等间隔,或亦可并非等间隔。又,认为测定间隔越宽,则越 能排除特定的观察点的影响,且越能减轻因观察点导致的误差。
[0120] 于图4(a)及图4(b)中表示定义将标记的宽度设为约0. 3mm的情形时的化及化 的模式图。于将标记的宽度设为约0. 3mm的情形时,存在如图4 (a)所示般成为V型的亮度 曲线的情形、及如图4(b)所示般成为与约1. 3mm的情形同样地具有底部的亮度曲线的情 形。于任一情形时,"亮度曲线的顶部平均值化"皆表示自离标记的两侧的端部位置50ym 的位置起与将标记的宽度设为约1. 3mm的情形同样地W30ym间隔测定5个部位(两侧合 计10个部位)时的亮度的平均值。另一方面,"亮度曲线的底部平均值化"于亮度曲线如 图4 (a)所示般成为V型的情形时,表示该V字的谷的前端部的亮度的最低值,于图4化)的 具有底部的情形时,表示约0.3mm的中屯、部的值。再者,用W测定亮度的平均值的观察点的 间隔可根据亮度曲线的形状适当地于lym~500ym的范围内采用。为了避免观察点的偏 差,观察点的间隔优选为大致等间隔或等间隔。再者,观察点的间隔亦可并非大致等间隔, 或亦可并非等间隔。又,认为测定间隔越宽,则越能排除特定的观察点的影响,且越能减轻 因观测地点导致的误差。
[012U于图5中表示定义tl、t2及Sv的模式图。"tl(像素X0. 1)"表示亮度曲线与化 的交点中最接近于上述线状标记的交点及表示该交点的位置的值(上述观察点-亮度曲线 图的横轴的值)。"t2 (像素XO. 1)"表示于自亮度曲线与化的交点至W化为基准0. 1AB为止的深度范围内,亮度曲线与0.IAB的交点中最接近于上述线状标记的交点及表示该 交点的位置的值(上述观察点-亮度曲线图的横轴的值)。此时,对于连结tl及t2的线 所表示的亮度曲线的斜率,W利用y轴方向上为0. 1AB、X轴方向上为(tl-t2)计算的 Sv(灰阶/像素X0. 1)进行定义。再者,横轴的1像素相当于lOym长度。又,Sv是测定 标记的两侧,采用较小的值。进而,于亮度曲线的形状不稳定而存在多个上述"亮度曲线与 化的交点"的情形时,采用最接近于标记的交点。
[0122] 于利用摄影手段11拍摄到的上述图像中,未附有标记的部分成为高亮度,但到达 至标记端部时亮度突然降低。若透明基材17的视认性良好,则可明确地观察此种亮度的 降低状态。另一方面,若透明基材17的视认性不良,则亮度于标记端部附近并非一下子自 "高"向"低"突然下降,而是降低的状态缓慢,亮度的降低状态变得不明确。
[0123]本发明基于此种见解,对透明基材17,例如将附有标记的印刷物置于下方,控制于 自利用摄影手段11隔着透明基材17拍摄到的上述标记部分的图像获得的观察点-亮度 曲线图中所描绘的标记端部附近的亮度曲线的斜率。更详细而言,将亮度曲线的顶部平均 值化与底部平均值化的差AB(AB=化一Bb)设为40W上,评价于在观察点-亮度曲 线图中,将表示亮度曲线与化的交点中最接近于上述线状标记的交点的位置的值(上述 观察点-亮度曲线图的横轴的值)设为tl,将表示于自亮度曲线与化的交点至W化为基 准0. 1AB为止的深度范围内亮度曲线与0. 1AB的交点中最接近于标记的交点的位置的值 (上述观察点-亮度曲线图的横轴的值)设为t2时,由下述(1)式定义的Sv,由此可进行 准确的透明基板的视认性评价。优选为将Sv成为3.5W上的情形判定为视认性良好。更 优选为将Sv成为3. 9W上、优选为4. 5W上、优选为5. 0W上、更优选为5. 5W上的情形判 定为视认性良好。又,AB优选为50W上,优选为60W上。AB的上限无需特别限定,例如 为100W下、或80W下、或70W下。又,Sv的上限无需特别限定,例如为70W下、30W下、 15W下、10W下。根据此种构成,标记与非标记的部分的交界变得更明确,定位精度提高, 标记图像辨识的误差减少,可更准确地进行位置对准。由此,于Sv、AB的值为上述Sv、AB 的值的范围内的情形时,亦可判定为铜巧的表面状态良好。
[0124] 又,通过将如上所述的处理程序作为程序使电脑执行,可高效率且准确地评价铜 巧的表面状态。
[01巧]进而,通过将该程序W电脑可读取的方式记录于光学、或磁碟等记录媒体而使用, 即便其他电脑亦可实现该程序,可获得与上述处理程序相同的作用效果。
[0126](透明基材的视认性评价装置、视认性评价方法、视认性评价程序及记录媒体)
[0127]作为本发明的实施方案的透明基材的视认性评价装置,可直接使用如对上述铜巧 的表面状态的评价装置进行说明的图1所示的构成的装置。即,"透明基材的视认性评价装 置"具备:摄影手段11,其隔着透明基材17拍摄存在于设置在平台15上的透明基材17的 下方的标记16 ;电脑12,其基于来自摄影手段11的图像信号进行各种处理;显示手段13, 其基于来自电脑12的各种信号显示特定的图像等;及照明手段14,其对平台上的透明基材 17及标记16照射光。本发明中设为评价的对象的透明基材17并无特别限定,只要透明则 亦可为玻璃制或树脂制基材。再者,于本发明中所谓透明亦包括具有透光性的情况。再者, 本发明中的标记既可为印刷至纸等印刷物的记号,亦可为铜配线或金属,既可为无机物,亦 可为有机物,只要为成为标记的记号则可为任何形态。
[012引于此情形时,电脑12基于来自摄影手段11的图像信号进行各种处理。电脑12具 备;观察点-亮度曲线图制作手段,其对于来自摄影手段11的图像信号,沿着横穿所观察到 的标记16的方向测定每个观察点的亮度而制作观察点-亮度曲线图;及视认性评价手段, 其于观察点-亮度曲线图中,根据自标记16的端部起至无标记16的部分产生的亮度曲线 的斜率评价透明基材17的视认性。
[0129] 再者,于本发明中,"横穿标记的方向"亦可为与标记延伸的方向交叉的方向。又, 观察点-亮度曲线图亦可沿着与所观察到的上述标记延伸的方向垂直的方向测定每个观 察点的亮度而制作。于观察点-亮度曲线图是沿着与所观察到的上述标记延伸的方向垂直 的方向测定每个观察点的亮度而制作的情形时,自存在标记的部分至不存在标记的部分的 亮度的值更急遽地变化,因此可更良好地评价铜巧的表面状态。此处,于标记为直线状的情 形时,所谓标记延伸的方向是指与该直线状的标记大致平行或平行的方向。又,于标记并非 直线状的情形时,所谓标记延伸的方向是指于画有与标记的外缘相切的直线的情形时与该 直线大致平行或平行的方向。
[0130] 其次,参照图8所示的流程图,对使用上述实施方案的透明基材的视认性评价装 置的视认性评价方法进行说明。再者,图8所示的流程图是使用本发明的透明基材的视认 性评价装置的视认性评价方法的一实施方案,能W本发明的视认性评价装置实现的评价方 法并不限定于图8的流程图中所示者。尤其是,平滑化处理于图8中是于制作观察点-亮度 曲线图之前对通过拍摄而获得的图像进行,但并不限定于此,例如,亦可于制作观察点-亮 度曲线图之后进行。
[0131] 于使用透明基材的视认性评价装置的视认性评价方法中,首先,通过摄影手段隔 着透明基材拍摄存在于透明基材的下方的标记。由摄影手段拍摄的图像的信号被送向电 脑。电脑的观察点-亮度曲线图制作手段对于来自摄影手段的图像信号,沿着横穿所观察 到的标记的方向测定每个观察点的亮度而制作观察点-亮度曲线图。电脑的视认性评价手 段于该观察点-亮度曲线图中,根据自标记的端部起至无标记的部分产生的亮度曲线的斜 率评价透明基材的视认性。
[0132] 电脑的视认性评价手段将自标记的端部起至无标记的部分产生的亮度曲线的顶 部平均值化与底部平均值化的差设为AB(AB=化一化),使用Sv进行视认性的评价, 上述Sv是于在观察点-亮度曲线图中,将表示亮度曲线与化的交点中最接近于标记16的 交点的位置的值(上述观察点-亮度曲线图的横轴的值)设为tl,将表示于自亮度曲线与 化的交点至W化为基准0. 1AB为止的深度范围内,亮度曲线与0. 1AB的交点中最接近于 标记的交点的位置的值(上述观察点-亮度曲线图的横轴的值)设为t2时,由下述(1)式 进行定义。
[013引Sv= (ABX0.l)/(tl-t2) (1)
[0134] 先前,若不于生产线上实际制作,则无法判断是否可隔着透明基材视认为了进行 位置对准等而设置的标记,于制造成本方面存在问题。然而,若使用本发明的透明基材的视 认性评价装置,则通过上述构成,即便仅于实验室中亦可容易且高效率地准确评价透明基 材的视认性。再者,于上述观察点-亮度曲线图中,横轴表示位置资讯(像素X0.1),纵轴 表示亮度(灰阶)的值。
[0135] 又,电脑的视认性评价手段使用AB(AB=化一Bb)及Sv进行视认性的评价,上 述AB(AB=化一Bb)是自标记的端部起至无标记的部分产生的亮度曲线的顶部平均值 化与底部平均值化的差,上述Sv是于在观察点-亮度曲线图中,将表示亮度曲线与化的 交点中最接近于标记的交点的位置的值(上述观察点-亮度曲线图的横轴的值)设为tl, 将表示于自亮度曲线与化的交点至W化为基准0. 1AB为止的深度范围内,亮度曲线与 0. 1AB的交点中最接近于标记的交点的位置的值(上述观察点-亮度曲线图的横轴的值) 设为t2时,由下述(1)式进行定义。
[0136]Sv= (ABX0.l)/(tl-t2) (1)
[0137]根据此种构成,即便仅于实验室中亦可容易且高效率地更准确地评价透明基材的 视认性。
[0138]优选为电脑进而具备平滑化处理手段,该平滑化处理手段对于通过利用摄影手段 的拍摄而获得的图像,使亮度的不均缓和,观察点-亮度曲线图制作手段使用平滑化处理 后的亮度制作观察点-亮度曲线图。对自通过利用摄影手段的拍摄而获得的图像获得的亮 度的包含杂讯的资料(原波形)进行利用平滑化处理手段的平滑化处理,由此,该亮度的不 均缓和,因此,可更准确地评价透明基材的视认性。作为利用平滑化处理手段的平滑化处 理,可利用各种平滑化程序进行,例如,可使用通过2、3次多项式配适法的平滑化处理、通 过傅立叶变换的平滑化处理、或通过移动平均法的平滑化处理等。再者,平滑化处理亦可使 用公知的各种平滑化程序进行。又,亮度资料的平滑化处理既可对有标记的部分、无标记 的部分的两者进行,亦可对有标记的部分进行,亦可对无标记的部分进行,或亦可局部地进 行。
[0139]再者,对于通过利用摄影手段的拍摄而获得的图像,亦可于进行该亮度的平滑化 处理之前,预先进行该亮度的包含杂讯的资料(原波形)的观察点-亮度曲线图制作。
[0140] 又,于在利用视认性评价手段的视认性评价中仅基于上述Sv值评价视认性的情 形时,亦可将自标记的端部起至无标记的部分产生的亮度曲
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