一种石英基板底厚快速测量装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种厚度测量装置，具体涉及一种石英基板底厚快速测量装置。
【背景技术】
[0002]在使用基板的生产过程中，需要对石英基板的底厚进行测量确认，现有技术中通常采用测量石英基本凹槽深度，然后与石英基板直径相减得到基板厚度。但由于石英基板一般直径较小，测量难度大且测量的数值会出现偏差，测量部不准确。
【实用新型内容】
[0003]实用新型目的:本实用新型的目的是为了解决现有技术中的不足，提供一种操作方便，测量快速、准确的石英基板底厚快速测量装置。
[0004]技术方案:本实用新型所述的一种石英基板底厚快速测量装置，包括底座和与所述底座固定连接的固定架，所述固定架通过支架固定连接有百分表，所述百分表下端通过伸缩管活动连接有测头，所述测头正下方设有与底座固定连接的支撑垫片，所述支撑垫片上放置有待测石英基板。
[0005]作为优化，所述伸缩管上固定连接有按压把手。
[0006]作为优化，所述测头为不锈钢测头，且表面光滑平整。
[0007]作为优化，所述支撑垫片与所述底座通过两侧的锁紧螺丝固定连接。
[0008]作为优化，所述待测石英基板倒置放置。
[0009]作为优化，所述待测石英基板的宽度大于所述支撑垫片的宽度。
[0010]有益效果:本实用新型具有结构简单，能直观看到测量结果，测量准确，操作方便的优点，解决了现有技术中单纯测量基板凹槽深度不方便的技术问题。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型的结构主视图。
[0012]图2为本实用新型的结构俯视图。
[0013]图3为本实用新型的支撑垫片与待测石英基板结构放大图。
【具体实施方式】
[0014]如图1-3所示的一种石英基板底厚快速测量装置，包括底座I和与所述底座I固定连接的固定架2，固定架2通过支架7固定连接有百分表3，百分表3下端通过伸缩管4活动连接有测头6，测头6正下方设有与底座I固定连接的支撑垫片8，支撑垫片8上放置有待测石英基板9，其中伸缩管4上固定连接有按压把手5，测头6为不锈钢测头，支撑垫片8与所述底座I通过两侧的锁紧螺丝固定连接，待测石英基板9倒置放置，待测石英基板9的宽度大于所述支撑垫片8的宽度。
[0015]本实用新型的测量过程为:根据石英基板的凹槽宽度选择合适宽度的支撑垫片，将垫片与底座固定，待测基板倒置放在垫片上，把百分比清零校正，下压把手时测头与基板表面接触，读出百分表读数，拿掉待测基板，测量垫片的高度，并读出百分表读数，最后将两个读数相减得出最后的基板底厚数值。
[0016]本实用新型具有结构简单，能直观看到测量结果，测量准确，操作方便的优点，解决了现有技术中单纯测量基板凹槽深度不方便的技术问题。
【主权项】
1.一种石英基板底厚快速测量装置，其特征在于:包括底座(I)和与所述底座(I)固定连接的固定架(2)，所述固定架(2)通过支架(7)固定连接有百分表(3)，所述百分表(3)下端通过伸缩管(4)活动连接有测头(6)，所述测头(6)正下方设有与底座(I)固定连接的支撑垫片(8)，所述支撑垫片(8)上放置有待测石英基板(9)。
2.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量装置，其特征在于:所述伸缩管(4)上固定连接有按压把手(5)。
3.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量装置，其特征在于:所述测头(6)为不锈钢测头。
4.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量装置，其特征在于:所述支撑垫片(8)与所述底座(I)通过两侧的锁紧螺丝固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量装置，其特征在于:所述待测石英基板(9)倒置放置。
6.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量装置，其特征在于:所述待测石英基板(9)的宽度大于所述支撑垫片(8)的宽度。
【专利摘要】本实用新型公开了一种石英基板底厚快速测量装置，包括底座和与所述底座固定连接的固定架，所述固定架通过支架固定连接有百分表，所述百分表下端通过伸缩管活动连接有测头，所述测头正下方设有与底座固定连接的支撑垫片，所述支撑垫片上放置有待测石英基板。本实用新型具有结构简单，能直观看到测量结果，测量准确，操作方便的优点，解决了现有技术中单纯测量基板凹槽深度不方便的技术问题。
【IPC分类】G01B5-06
【公开号】CN204594387
【申请号】CN201520298019
【发明人】虞王君
【申请人】虞王君
【公开日】2015年8月26日
【申请日】2015年5月8日