流量比可变型流体供给装置的制作方法

专利名称：：流量比可变型流体供给装置的制作方法
技术领域：
：本发明涉及一种流量比可变型流体供给装置，用于半导体制造装置等，使从流量控制装置供给的设定流量的气体以所希望的流量比分流供给到腔室。
背景技术：
：近年来，半导体制造所使用的硅晶片有大径化的倾向，因此在半导体制造装置中也要求使用多条供给线路进行处理用气体对腔室的供给，并且比较细微地控制各供给线路间的气体流量比。图7表示以往的半导体制造装置中的使用多条供给线路对腔室供给气体的系统的一例，在各气体供给线路GL,、GL2上分別设置有流量控制装置FCS,、FCS2，由此调整各供给线路GL,、GL2的流量比Y=Q/Q2。此外在图7中，S是气体供给源，G是处理气体，C是腔室，D是气体排出器，H是晶片，I是晶片保持台。但是，在该图7的装置中需要两台流量控制装置FCS,、FCS2，所以会导致半导体制造装置的大型化以及设备费用和维修费用的上涨，存在不能应对设备的小型化和低成本化的要求的问题。此外，图8表示作为改良了上述图7中的缺陷的本申请的发明者们先前开发的气体供给设备，将借助流量控制装置FCS控制为设定流量Q的气体G，通过设置有借助分流量控制装置FRC进行控制的压力式分流量控制器FV"FV2的供给线路GL,、GL2,以所希望的流量比y=Q!/Q2供给到腔室C。即，图8的气体供给装置在腔室C内设置有具备既定口径cjM、*2的节流孔0L、0L2的气体排出器D，并且借助分流量控制器FV、FV2来调整其下游侧气体压力P3'、P3〃，从而将总量Q-Q1+Q2的气体通过气体排出器D的节流孔OLi、0L2，以由Q产K,P3'和Q产K2P3〃(其中，ld和K2是通过节流孔0L,、0L2的截面积等确定的常数)表示的所希望的分流量Qi、Q2供给到腔室C内(日本特开2004-5308)。但是在该图8的气体供给装置中，由于是具有既定口径dM、cj)25的节流孔0L!、0L2的气体排出器D设置在腔室C内的构成，所以存在气体排出器D的形态等受到大幅制约的问题。此外，由于不像上述图7的气体供给装置那样分別设置两台流量控制装置FCSi、FCS2，所以与上述图7的装置相比能够削减设备费用等，但是由于需要两台分流量控制器FV,、FV2或分流量控制装置FRC，所以存在不能实现设备费用的大幅削减和分流气体供给装置的大幅的小型化，而且流量比(h/Q2的控制本身变得过于复杂的问题。进而，图9作为改良了上述图8(日本特开20(M-5308号)中的缺陷的装置，是本申请的发明者们先前开发的，使用结构筒单的开闭阀V,、V2、一台压力式分流量控制器SV和流量比控制装置CT，使流量大的一方的供给线路的开闭阀全开，并且调整压力式分流量控制器SV的开度，从而调整从大流量側的供给线路向小流量侧的供给线路的气体流量，来进行两分支供给线路GL,、GL2的压力调整，将总流量Q-Q1+Q2的气体流G以所希望的分流比Y-Q7Q2供给到腔室C内(日本特开2005-11258号)。但是，在图9的气体供给装置中同样存在与上迷图8中的气体供给装置(日本特开2004-5308号)相同的问题，即，不仅不能实现分流供给装置的大幅的小型化和设备费用的大幅削减，而且不能自由地选择气体排出器D的形态。另一方面，作为这种分流气体供给装置，如图10所示开发了这样一种流量控制系统在各分支供给线路GL!、GL2上设置音速喷嘴SN,、SN2，并且利用自动调压器ACP调整音速喷嘴SN,、SN2的上游侧管路的气压P,，从而调整来自各分支供给路GL，、GL2的气体供给量Q,、Q2(日本特开2003-323217号等)。此外，在图10中，ACQ是流量控制部，V,、V2是控制阀。但是，图10的分流气体供给装置的目的在于，通过调整自动调压装置ACP的一次侧压力Pl，同时控制通过各音速喷嘴SN!、SN2(或节流部)流通的各气体流量Q"Q2，而任意地调整各分支管路GL:、GL2的流量比Y并不是发明的直接目的。专利文献1:日本特开2004-5308号公报专利文献2:日本特开2005-11258号公报专利文献3:日本特开2003-323217号公报
发明内容本申请发明解决以往的对腔室的气体分流供给装置的上述问题，即，需要自动调压装置和开闭控制阀及它们的控制部，不能实现气体分流供给装置的大幅的小型化和低成本，而且分流比的控制精度也低的问题，其主要目的在于提供一种小型且廉价的流量比可变型流体供给装置，仅使用结构极简单的开闭阀和节流部，就能够以所希望的分流比分流供给既定流量Q的气体。本申请的发明者们通过使用节流部的各种流量控制装置的开发，想到在临界膨胀条件下以高精度进行节流部的所谓修正系数的管理，从而能够形成构成极其筒单的流量比可变型流体供给装置。本申请发明是根据本申请的发明者们的上述想法而创作的，技术方案1的发明的基本构成在于，一种流量比可变型流体供给装置，将从流量控制装置6供给的流量Q的气体以既定的流量QQn向多条分流管路1,~ln分流，并将流量Q的气体从各分流管路1,~ln供给到腔室7内，其中，在上述分流管路ln中的一条或多条分流管路上设置有适当的开口面积S..的节流部3..,另外将上述其余的各分流管路设为并列状地连结多条分支管路2a~2n的管路，在上述各分支管路2a-2n上分别设置有适当的开口面积S2..的节流部4..，并且在上述分支回路的全部或一部分上设置有开闭阀Vb~Vn,通过该开闭阀Vb~Vn的开或闭来调整其余的各分流管路的能流通的节流部的合计开口面积S2。..，从而以流量比Q,/Q2/Q丄./QJ吏流量Q的气体流向各分流管路h~In分流，所述流量比与上述分流回路的各节流部3的开口面积S..和设置有分支管路的各分流回路的能流通的节流部的合计开口面积S2。..的比相等。技术方案2的发明的基本构成在于，一种流量比可变型流体供给装置，将从流量控制装置6供给的流量Q的气体以既定的流量Q,-Q。向多条分流管路1,~ln分流，并将流量Q的气体从各分流管路1!~ln供给到腔室7内，其中，在上述分流管路lr分流管路1『,上设置有开口面积S!S^的节流部3,3n—,，另外将上述其余的分流管路ln作为并列状地连结多条分支管路2a~2n的管路，在上述各分支管路2a~2n上分别设置有开口面积S2a~S2n的节流部4a~4n，并且在上述分支回7路的全部或一部分上设置有开闭阀Vb~Vn，通过该开闭阀Vb~Vn的开或闭来调整该分流管路In的能流通的节流部的合计开口面积S吣从而以流量比Q,/Q2/(y../Q^/Q。使流量Q的气体流向各分流管路1~In分流，所述流量比与上述各分流回路1!~ln的各节流部3~3n-,的开口面积和分流回路In的能流通的节流部的合计开口面积Sz。的比相等。技术方案3的发明在技术方案1或2的发明中，使节流部3为开口面积S—定的节流部3a和开口面积S，2能调整的节流部3b并列连接的构成的节流部3。技术方案4的发明的基本构成在于，一种流量比可变型流体供给装置，将从流量控制装置6供给的流量Q的气体以既定的流量Q、Q。向第1分流管路1和第2分流管路2分流，并将流量Q的气体从两分流管路l、2供给到腔室7内，其中，在上述第1分流管路1上设置有开口面积S,的第1节流部3,另外将上述第2分流管路2作为并列状地连结多条分支管路2a~2n的管路，在上述各分支管路2a~2n上分别设置有开口面积S2a~S2n..的节流部4a~4n,并且在上述分支回路的全部或一部分上设置有开闭阀Vb-Vn，通过该开闭阀VbVn的开或闭来调整第2分流管路2的能流通的节流部的合计开口面积S2。，从而以流量比QJQ。使流量Q的气体流向各分流管路1、2分流，所述流量比与上述第1分流回路1的第1节流部3和上述第2分流回路2的能流通的节流部的合计开口面积S2。的比相等。技术方案5的发明在技术方案4的发明中，使开口面积S!的第1节流部3为开口面积S，一定的节流部3a和开口面积Su能调整的节流部3b并列连接的构成的第1节流部3。技术方案6的发明在技术方案4的发明中，第2分流管路2由多条分支管路2a~2n形成，并且使其中的一条分支管路2a的节流部"的开口面积S2a与上述第1分流回路1的第1节流部3的开口面积S！相同，并且使该分支回路2a不设置开闭阀地连结到笫2分支管路2。技术方案7的发明在技术方案4的发明中，第2分流管路2由4条分支管路2a-2d形成，并且使分支管路h的节流部4a的开口面积S2a与第1分支管路的第1节流部3的开口面积Si相同，另外使其他其余的分支管路2b-2d的节流部4b~4d的开口面积S2b~S,d分别为上述第1分支管路的第1节流部3的开口面积S,的5%、10%和2o%，并且8在其余的分支管路2b2d上分别设置有开闭阀Vb~Vd。技术方案8的发明在技术方案4的发明中，使开闭阀VdVn为仅具备使分支管路2d2n全开或全闭的功能的开闭阀。技术方案9的发明在技术方案4的发明中，各节流部3、4a4n的节流部开口面积构成为，其修正系数根据节流部的形状和节流部上游侧压力条件选定为适当的值来进行设定。技术方案10的发明在技术方案9的发明中，根据各节流部3、4a~4n的口径(J)的加工形状，使修正系数为0.6或0.7。技术方案11的发明在技术方案4的发明中，作为第l节流部3和第2节流部4a~4n，是利用金属膜片阀的膜片阀体和阀座的间隙的构成。技术方案12的发明在技术方案1、技术方案2或技术方案4的发明中，^使节流部3和节流部4或者第1节流部3和第2节流部4a~4n中的某一个为具备不同的两个节流孔0L,、0L2的两级切削型的节流部，并且使气体流从小径的节流孔朝大径的节流孔流通。在本发明中，由于仅由具有既定口径cl)的节流部、和仅使管路的通路全开或全闭的结构极其简单的开闭阀Vb~Vn来构成流量比可变型流体供给装置，所以能够简化流体供给装置的结构，能够实现其大幅的小型化和低成本化。此外在本发明中，通过适当地切换开闭阀Vb~Vn，能够容易地将分流比Y变更为多级，而且通过转换节流部本身，能够容易地将分流比Y变更为多级，而且通过转换节流部本身，也能够容易地应对分流比Y的大幅变更。进而，在本发明中，在确定节流部口径时，严格地管理其修正系数，根据加工形状，对口径d)-O.3以上的节流孔使用0.7的修正系数，并且对口径(J)小于0.3的节流孔使用0.6的修正系数。其结果为，在本发明的流量比可变型流体供给装置中，能够使分流流量Q!、Qo的误差为ly。s.p.^以下。图1是表示本发明的流量比可变型流体供给装置的构成的图。图2是一级切削型节流部的剖视图。图3是两级切削型节流部的剖视图。图4是节流部流量特性试验的试验装置的构成图。图5是表示d)-O.55mm和4>=0.lmm的各节流部流量特性和节流部修正系数的运算值的图。图6表示节流部0F的下游側压力P2为20Torr的情况下的节流部上游侧压力P,和流量测量误差(rdg误差)的关系的图。图7是以往的使用多条线路的对腔室的气体供给装置的说明图。图8是表示以往的使用多条线路的对腔室的气体供给装置的另一例的说明图。图9是表示以往的使用多条线路的对腔室的气体供给装置的又一例的说明图。图10是表示以往的使用音速喷嘴的分流气体供给装置的一例的说明图。标号说明A流量比可变型流体供给装置G气体Q全流量(h第1分流管路的流量Q。第2分流管路的流量Q2~Q5分支管路的流量Y流量比(Q,/Q。)OF节流部0L、0L!、0L2节流孑L1第1分流管路2第2分流管路2a~2d分支管路3第1节流部4a第2节流部4b第3节流部4c第4节流部4d第5节流部S全节流孔开口截面积S,第1节流部的开口面积S2a~S2d第2~第5节流部的开口面积S2。第2分流管路2的能流通的节流部的合计开口面积4)节流部口径Vb~Vd开闭阀5气体供给源6流量控制装置7处理腔室8a/8b氮气供给源9摩尔块10a/10b压力调整器11真空计12开闭控制阀13真空泵具体实施例方式以下根据本发明的实施方式。图1是表示本发明的流量比可变型流体供给装置A的构成的图，在图1中，A是流量比可变型流体供给装置，Q、(h、Q2、Q3~Q5、Q。是流量，l是第l分流管路，2是第2分流管路，2a、2b、2c、2d是分支管路，3是第1节流部，4a是第2节流部，4b是第3节流部，4c是第4节流部，4d是第5节流部，S,、S2a-S2d是各节流部的截面积，Vb、Vc、Vd是开闭阀，5是气体供给源，6是流量控制装置，7是处理腔室。上述流体供给源5是所谓半导体制造用的各种气体的供给源，在本实施方式中设置氮气的供给源。此外，流量控制装置6将供给到处理腔室7的气体流量Q调整为一定流量，在本实施方式中通过压力式流量控制装置FCS供给Q-1SLM的氮气。在本实施方式中，上述处理腔室7使用内部压力调整为10Torr的腔室7,从第1分流管路1对该腔室7的中央部供给所希望流量Q!的氮气流，另外从第2分流管路2对该腔室7的端缘部供给流量Q。的氮气流。从上述气体供给源5供给的气体G在流量控制装置6中例如调整为Q=1SLM，然后通过第1分流管路1和第2分流管路2供给到处理腔室7内。此外，通过各分流管路1、2的气体流量的分流比Y-QJQ。通过适当地开闭切换(全开或全闭)开闭阀Vb~Vd，；故切换调整为预先确定的分流比y-Q,/Q。。此外在本实施方式中，如上迷那样，从流量控制装置6定量供给(hlSLM的氮气。在本实施方式中，如下述那样，能够通过开闭阀Vc~Vd的切换操作，将上述分流比Y-QJQ。，在1/1~1/1.35之间按照5%的刻度，调整为共计8级(即1/1、1/1.05、1/1.1、1/1.15、1/1.20、1/1.25、1/1.30、1/1.35)。参照图1，在各节流部3、4a~4d的上游侧压力P!和下游侧压力P^或P"之间保持所谓临界膨胀条件的情况下，流过各节流部3、4a~4d的节流孔的气体流量与各节流部3、4a~4d的截面积成正比。即，在临界膨胀条件下，通过各节流部的气体流量的流量比由节流孔的截面积、比确定。这样，现在在图1中，使各节流部3、4a4d的节流孔的截面积为S,、S2a、S2b、S2c、S2d，并使第1分流管路1的流量为第2分流管路的流量为Q。，总供给流量为Q，分流比Y-Q7Q。由下述的(1)式表示。Y-Q〃Q。-S〃(S2a+(S2b+S2c+S2d))..(1)此外，由于分流比Y如上所述为Y-l/l~l/l.35(间隔5%切换为8级)，所以需要下述的(2)和(3)式成立。Sl/S2a=l/1.".(2)S2a/S2b/S2c/S2d=100/20/10/5....(3)接下来说明所需的各节流部S!、S2a~S2d的截面积的总和、以及各节流部S,、S2a-S2d的运算。现在使腔室7的内压为10Torr，考虑到阀VbVd等的压力损失，节流部下游側压力P21、Pn最大为20Torr位。此外，为了使临界膨胀条件成立，需要以使Vb~Vd全开时的节流部上游侧压力P!成为40Torr(P,/Pf2以上)的方式确定全节流部的开口截面积s。在本申请发明中，利用下述的(4)和(5)式所示的节流部Cv值的运算式，算出各节流部S,、S2a~S2d的截面积的总和S。Cv-axS/17….(4)Cv-Qg/(2019xp,)x(Gg(273+t))1/2...(5)其中，在(4)和(5)式中，a是修正系数(0.8)，S是全节流部的总开口截面积(mm2)，Qg是流量(m7h=0.06)，P,是节流部上游側压力(MPaabs-O.0053)，Gg是气体流体比重(0.97)，t是流体温度(匸-21),在本实施方式中，以气体总流量Q-1SLM，节流部上游侧压力P,-40Torr，气体种类为氮气，气体温度为21T为条件进行各运算。即，根据上述(4)和(5)式，各节流部S,、S2aS2d的开口截面积的总和S为S-2.01咖2,另外根据上述(l)~(3)式，各节流部Si、SiaS!d的开口截面积为，S产Sia-O.855rmn2,S山-O.171咖2,S!c-O.o86mm2，S2d=0.043mm2。例如现在在图1中，如果使开闭阀Vb~Vd全开，则流量比Y-QK/(S2a+S2b+S2c+S2d)=1/1.35。此外，如果使开闭阀Vb-Vd全闭，则流量比y-Q,/Q。-S,/S2a-l/1。进而，如果使开闭阀Vb打开，而Vc和Vd闭合，则流量比Y-Qi/Qc^Sj(S2a+S2b)=1/1.2，通过开闭阀Vb~Vd的切换使流量比Y^h/Q。在1/1~1/1.35之间切换调整为0.5刻度的8级。此外，虽然在图1的实施方式中使用第1分流管路1和第2分流管路两条分流管路对腔室7供给气体流，但是当然也可以使分流管路为3条以上的分流管路，并且使其中的某一条管路或多条管路为具备多条分支管路的管路。截面积小的节流部OF的流量特性和修正系数在现实中需要使用实测值。因此，关于如图2和图3的方式的两种节流部OF,使用图4的流量特性试验装置进行修正系数等的测量。即，在本实施例中，在内径为0.Sinm以上的节流部OF的情况下，如图2所示，通过一级切削来形成节流孔0L,另外，在内径不足0.3mffl4)的节流部OF的情况下，如图3所示，通过OL!和0"的两级切削来形成节流孔0L。是一级切削还是两级切削根据节流部的厚度和加工设备13的精度等来适当地判断。此外，各节流部OF形成为所谓的垫團类型，在插入到管路中的节流部保持器(省略图示)内更换自如且气密状地插入固定有各节流部0F。此外在本实施例中，作为孔径(j)为0.3mmc|)、0.4mm(t)、0.9咖(|)的节流部OF，使用图2所示的构成的节流部，另外作为孔径巾为0.2mm4)的节流部OF，^t用图3所示的构成的节流部.各节流部OF的流量特性和修正系数使用如图4的试验装置进行实测.即在图4中，8a、8b是氮气供给源，9是摩尔块，10a、10b是压力调整装置，OF是节流部，11是真空计(100Torr非稳定波型磁控管)，12是开闭控制阀，13是真空泵，此外，摩尔块9的测量精度是±0.2%rdg,压力调整装置10a、10b的测量精度是土0.2站.S.(1~40X)和±0.5%S.P.(40X~100%)。测定是利用压力调整器10a来调整节流部OF的上游側压力并利用摩尔块9来测量节流部流通气体量.此外，为了确认下游側压力P2的依存性，利用下游側压力调整器10b来调整节流部OF的下游側压力.图5(a)和(b)是表示本实施例的节流部OF的流量特性的图，另外图5(c)是根据困5(a)和(b)的数据计算修正系数oc的图。根据上述实施例1的试验结果，在本发明中如下述的表1所示，^使节流部上游側压力P,为64Torr，分别选定图1的第1分流管路1、各分支管路2a、2b、2c、2d的节流部直径和修正系数。<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>此外，困6是表示在上述图4的试验装置中节流部OF的下游侧力P2为20Torr的情况下的节流部上游侧压力P,和流量测量精度的关系的图。当节流部下游側压力P2为20Torr时，从图6也可知，为了使其测量值误差(rdg.误差)在1X以内，以使节流部下游侧压力Pz与真空状态下的测量精度相同，需要将节流部上游側压力P,保持在64Torr以上。表2是从上述实施例得到的测量结果的汇总，在节流部上游側压力P产64Torr、气体供给流量Q-1SLM、气体温度21"C、气体系数(气体比重)0.97(氮气)、修正系数l的情况下，所需的节流部总开口截面积、为1.018mm2，此夕卜，在使节流部的面积比与图1的情况相同(S!/S2a/S2b/S2c/S2d-100/100/20/10/5)时,各节流部3、4a~4d、流量比Y、节流孔截面积(修正系数0.6和0.7)、运算节流部口径cj)(mm)(修正系数0.6和0.7)、以及现实的选定节流部口径d)(咖)如表2所示。表2〗节流流量比截面积截面积截面积节流部节流部选定节部编(咖2)(修正系(修正系直径直径流部口号(修正数0-6)数0.7)(修正系(修正系径系数l)数0.6)数0.7)31000.4330.7220.6190.9590-m0.94b200.0870.1440.1240.4290.3970.44c100.0130.0720.0620.3030.2810.34d50.0220.0360.0310.2140.1980.24a1000.4330.7220.6190.9590.8880.9此外，由于现实的节流部口径(J)制作成0.05mm刻度，所以优选分别选定为，节流部直径为0.25咖d)以下时，修正系数为0.6，节流部直径为0.30mm(J)以上时，修正系数为0.7。此外，虽然在上述实施方式和实施例中，分流管路仅有第1分流管路1和笫2分流管路2两个系统，但是分流管路当然也可以是两个系统以上的多个系统.此外，在分流管路为多个的情况下，可以使其中的一条或两条以上的分流管路为具备开口面积S—定的节流部3的分流管路，并且使15其余的分流管路为具备分支管路2a~2d的分流管路。进而，虽然在上述实施方式和实施例中，流量比为1/1.35，能够在其间以0.5的刻度分8级地选定分流比，但是当然能够任意地设定分流比的范围及该分流比的切换的大小。而且，虽然在本实施方式和实施例中，将使用节流部作为基本方案，但是也可以使用所谓的临界喷嘴来代替节流部，或者使用金属接触型膜片阀的阀体与阀座的间隙来代替节流部。在上述图1所示的实施方式中，开口面积S,—定的第1节流部3由一个节流部形成，但是也可以将开口面积Su—定的节流部3a和开口面积Su能调整的节流部(例如金属接触型膜片阀等)3b并列连接，来形成开口面积S,(S产S+S12)—定的第1节流部3。这样，通过使两个节流部中的一个节流部的开口面积Su调整自如，能够使第1节流部3的开口面积Si的大小在一定范围上调节后将其固定，较为方便。本发明不仅可以用作半导体制造装置用的针对腔室的流量比可变型流体供给装置，而且也可以用作各种气体供给设备的流量比可变型流体供给装置。权利要求1.一种流量比可变型流体供给装置，将从流量控制装置(6)供给的流量Q的气体以既定的流量Q1～Qn向多条分流管路(11～1n)分流，并将流量Q的气体从各分流管路(11～1n)供给到腔室(7)内，其特征在于，在上述分流管路(11～1n)中的一条或多条分流管路上设置有适当的开口面积S..的节流部(3..)，另外将上述其余的各分流管路作为并列状地连结多条分支管路(2a～2n)的管路，在上述各分支管路(2a～2n)上分别设置有适当的开口面积S2..的节流部(4..)，并且在上述分支回路的全部或一部分上设置有开闭阀(Vb～Vn)，通过该开闭阀(Vb～Vn)的开或闭来调整其余的各分流管路的能流通的节流部的合计开口面积S20.，从而以流量比Q1/Q2/Q3/../Qn使流量Q的气体流向各分流管路(11～1n)分流，所述流量比与上述各分流回路(11～1n)的各节流部(3)的开口面积S..和设置有分支管路的各分流回路的能流通的节流部的合计开口面积S20..的比相等。2.—种流量比可变型流体供给装置，将从流量控制装置(6)供给的流量Q的气体以既定的流量Q广Q。向多条分流管路(ln)分流，并将流量Q的气体从各分流管路(1^1n)供给到腔室(7)内，其特征在于，在上述分流管路(l,)分流管路(ln—,)上设置有开口面积S,Sn-,的节流部(3r3h)，另外将上述其余的分流管路(ln)作为并列状地连结多条分支管路(2a-2n)的管路，在上述各分支管路(2a-2n)上分别设置有开口面积S2a~S2n的节流部(4a~4n)，并且在上述分支回路的全部或一部分上设置有开闭阀(Vb~Vn)，通过该开闭阀(Vb~Vn)的开或闭来调整该分流管路(ln)的能流通的节流部的合计开口面积S2。，从而以流量比Q,/Q2/Q3/../Qn-/Q。使流量Q的气体流向各分流管路(l,ln)分流，所述流量比与上述各分流回路(l,~ln)的各节流部(3,-3n—J的开口面积和分流回路(In)的能流通的节流部的合计开口面积S2。的比相等。3.根据权利要求1或2所述的流量比可变型流体供给装置，其特征在于，使节流部(3)为开口面积S—定的节流部(3a)和开口面积Su能调整的节流部(3b)并列连接的构成的节流部(3)。4.一种流量比可变型流体供给装置，将从流量控制装置(6)供给的流量Q的气体以既定的流量Q,、Q。向第l分流管路(1)和第2分流管路(2)分流，并将流量Q的气体从两分流管路(1、2)供给到腔室(7)内，其特征在于，在上述第1分流管路(l)上设置有开口面积S!的第1节流部(3)，另外将上述第2分流管路(2)作为并列状地连结多条分支管路(2a~2n)的管路，在上述各分支管路(2a~2n)上分别设置有开口面积S2a~S2n..的节流部(4a~4n)，并且在上述分支回路的全部或一部分上设置有开闭阀(Vb~Vn),通过该开闭阀(Vb~Vn)的开或闭来调整第2分流管路2的能流通的节流部的合计开口面积S2。，从而以流量比Q7Q。使流量Q的气体流向各分流管路(1、2)分流，所述流量比与上述第1分流回路(1)的第1节流部(3)和上述第2分流回路(2)的能流通的节流部的合计开口面积S2。的比相等。5.根据权利要求3所述的流量比可变型流体供给装置，其特征在于，使开口面积S,的第1节流部(3)为开口面积Su—定的节流部(3a)和开口面积S^能调整的节流部(3b)并列连接的构成的节流部(3)。6.根据权利要求4所述的流量比可变型流体供给装置，其特征在于，第2分流管路(2)由多条分支管路(2a~2n)形成，并且使其中的一条分支管路Ua)的节流部(")的开口面积S2a与上述第1分流回路(1)的第1节流部(3)的开口面积S,相同，并且使该分支回路(2a)不设置开闭阀地连结到第2分支管路(2)。7.根据权利要求4所述的流量比可变型流体供给装置，其特征在于，第2分流管路(2)由4条分支管路(2a-2d)形成，并且使分支管路(2a)的节流部(")的开口面积S2a与第1分支管路的第1节流部(3)的开口面积S,相同，另外使其余的分支管路(2b~2d)的节流部(4b4d)的开口面积S2bS4(i分别为上述第l分支管路的第1节流部(3)的开口面积S,的5%、10。/和20%，并且在其余的分支管路(2b~2d)上分别设置有开闭阀(Vb-Vd)。8.根据权利要求4所述的流量比可变型流体供给装置，其特征在于，使开闭阀(Vd~Vn)为仅具备使分支管路(2d~2ii)全开或全闭的功能的开闭阀。9.根据权利要求4所述的流量比可变型流体供给装置，其特征在于，各节流部(3、4a~4n)的节流部开口面积构成为，其修正系数根据节流部的形状和节流部上游侧压力条件选定为适当的值从而对开口面积进行设定。10.根据权利要求9所述的流量比可变型流体供给装置，其特征在于，根据各节流部(3、4a~4n)的口径d)的加工形状，使修正系数为0.6或0.7。11.根据权利要求4所述的流量比可变型流体供给装置，其特征在于，作为第1节流部(3)和第2节流部(4a-4n)，是利用金属膜片阀的膜片阀体和阀座的间隙的构成。12.根据权利要求1、2或4所述的流量比可变型流体供给装置，其特征在于，使各节流部(3、4、"化)中的某一个为具备不同的两个节流孔(0L,、0L2)的两级切削型的节流部，并且使气体流从小径的节流孔朝大径的节流孔流通。全文摘要本发明提供一种流量比可变型流体供给装置，能够使对半导体制造装置用腔室的流量比可变型气体分流供给装置大幅地小型化和低成本化，并且能够简单且高精度地进行流量比的调整。一种流量比可变型流体供给装置，将从流量控制装置(6)供给的流量Q的气体以既定的流量Q₁、Q₂向第1分流管路(1)和第2分流管路(2)分流，并将流量Q的气体从两分流管路(1、2)供给到腔室内，其中，在上述第1分流管路(1)上设置有开口面积S₁的第1节流部(3)，另外将上述第2分流管路(2)作为并列状地连结多条分支管路(2a～2n)的管路，在上述各分支管路(2a～2n)上分别设置有开口面积S₂a～S₂n的节流部(4a～4n)，并且在上述分支回路的全部或一部分上设置有开闭阀(Vb～Vn)，通过该开闭阀(Vb～Vn)的开或闭来调整第2分流管路(2)的能流通的节流部的合计开口面积S_2o，从而以流量比Q₁/Q₂使流量Q的气体流向各分流管路(1、2)分流，所述流量比与上述第1分流回路(1)的第1节流部(3)和上述第2分流回路(2)的能流通的节流部的合计开口面积S_2o的比相等。文档编号G05D7/06GK101479681SQ20078002450公开日2009年7月8日申请日期2007年6月13日优先权日2006年6月27日发明者土肥亮介,平田薰,池田信一,泽田洋平,西野功二申请人:株式会社富士金