专利名称：磁头万向架组件及其制造方法
技术领域：
本发明涉及一种包括磁头滑动器和支撑该磁头滑动器的悬架的磁头万向架组件(HGA)。
背景技术：
磁盘驱动器包括记录数据的磁盘和访问该磁盘的磁头滑动器。磁头滑动器具有从磁盘读取数据/写数据到磁盘的磁头元件。磁头元件包括记录元件，其响应记录数据到磁盘，将电信号转变为磁场；还包括将来自磁盘的磁场转变为电信号的再现元件。
磁盘驱动器包括将磁头滑动器移动磁盘上的期望位置的支架。支架被音圈电机(VCM)驱动并围绕枢轴枢转，以在旋转磁盘上，在磁盘的径向上移动磁头滑动器。以此方式，磁头元件访问磁盘上形成的期望磁道，以便可以从其读出/写入到其。
支架包括弹性悬架，以及磁头滑动器被固定到该悬架。由与磁盘相对的磁头滑动器的空气支承面(ABS)和旋转磁盘之间的空气粘滞性引起的压力与由悬架在磁盘的方向上施加的压力平衡，以便磁头滑动器可以以与磁盘之间规定间隙在磁盘上方浮动。由磁头滑动器和支撑该滑动器的悬架制成的部件被称作“磁头万向架组件”(HGA)。
图6是传统HGA的视图，示出了从磁盘的记录面侧观察的HGA结构。如图6所示，HGA400包括磁头滑动器401、悬架402和引线403。引线403是用来在磁头滑动器401处形成的磁头元件(未示出)和放大器部分(未示出)之间传输记录信号和/或传输来自磁头元件的再现信号的导线。
悬架402包括柔性挠曲部分404和负载横梁405，柔性挠曲部分404在与磁盘相对的表面的侧上保持磁头滑动器401，负载横梁405在与磁盘相对的表面的侧上保持该挠曲部分404。所示的HGA 400是加载/卸载型装置，并在负载横梁405的尖端处具有小突片406，用来将器件收回到坡道机构中。
负载横梁由例如三层结构的层状材料构成，包括不锈钢板或两个不锈钢板及在其间设置的聚酰亚胺树脂层(例如参见专利文献1)。边缘部分在负载横梁的纵向上弯曲，以便保证需要的刚性。负载横梁的弯曲边缘部分在下文中将被称作凸缘。图6所示的负载横梁405具有凸缘407。
图7是HGA 400的剖面图。图7中的截面是沿滑动器401的中心并在HGA 400的纵向上得到的。在与磁头滑动器401相对的横梁405的位置中形成朝挠曲部分404侧升高(在图中向上)的凹陷408。由于挠曲部分404利用其自己的弹性压靠在凹陷408上，挠曲部分404在负载横梁405上施加压力。
如图7所示，基于磁头滑动器401的高度、挠曲部分404的高度以及负载横梁405的高度，来决定HGA 400的高度H。基于凹陷408的高度、形成负载横梁405的薄板的厚度以及凸缘407的高度，来决定负载横梁405的高度。这里，HGA 400的高度指与磁盘的记录面正交的方向上的HGA的厚度。
JP-A-2005-190511[专利文献2]JP-UM-A-63-58372发明内容本发明解决的问题近年来，随着更薄的磁盘驱动器的来临，需求一种具有较小高度的HGA。为了减小如图6和7所示的HGA 400的高度，负载横梁405的高度可以被减小。但是，如果凸缘407的高度被减小以减小负载横梁405的高度，那么负载横梁405的刚性(弯曲的和扭曲的刚性)可以被减小，不能保证必要的刚性。因此，考虑到应该确保的负载横梁405的刚性，凸缘407的高度可以减小的程度被限制。
注意，由专利文献2公开的HGA通过在与图7中的凸缘407相反的方向上在负载横梁的边缘处弯曲凸缘来减小其高度，换言之，凸缘向其上固定滑动器的侧弯曲。但是，如果这种结构被采用，那么将难以在滑动器周围设置凸缘以防止在负载横梁的边缘设置的凸缘和滑动器之间的干扰，或防止在凸缘和挠曲部分或滑动器周围设置的引线之间的干扰。从而负载横梁不能具有充分的刚性。
鉴于上述问题进行本发明，本发明提供一种HGA，可以在保持负载横梁的刚性的同时，具有减小的高度。
解决问题的方法根据本发明的HGA包括具有磁头元件的磁头滑动器，磁头元件进行从磁盘读取数据和写数据到磁盘的至少一种；保持磁头滑动器的挠曲部分；以及固定有该挠曲部分的负载横梁。该负载横梁包括凸缘，在纵向上延伸的负载横梁的边缘处在一侧上突出，该侧与负载横梁在与磁盘相对的侧上的表面相对；以及凹陷部分，提供以向与磁盘相对的侧面开口，并具有大于与挠曲部分相对的磁头滑动器的第一表面的面积的开口面积。磁头滑动器被放置在凹陷部分中，以便与磁盘相对的侧上的负载横梁的表面的位置，位于包括与磁盘相对的磁头滑动器的表面的虚拟表面和包括第一表面的虚拟表面之间。
以此方式，在根据本发明的HGA中，在负载横梁处设置的凹陷部分中，偏离磁盘地设置磁头滑动器。此外，形成在远离磁盘的方向上突出的凸缘。因此，磁头滑动器的高度被凸缘的高度抵消磁头滑动器相对于磁盘的偏移量。以此方式，HGA的高度可以被降低至少磁头滑动器的高度的偏移量。在不减小凸缘的高度的条件下，可以减小HGA的高度，因此负载横梁的刚性不被减小。
此外，在根据本发明的HGA中，从磁盘侧观察的第一表面的位置期望位于与磁盘相对的侧上的负载横梁的表面和包括凸缘的尖端的虚拟表面之间。
在根据本发明的HGA中，期望负载横梁由具有第一和第二板材料和其间的中间层的层状材料形成，第一板材料形成负载横梁的基板，中间层形成凹陷部分的侧壁，以及第二板材料形成凹陷部分的底部。
注意中间层期望地由树脂材料形成。树脂材料用作阻尼材料，因此可以预期阻尼效应。
此外，第一板材料和第二板材料可以是不锈钢，以及中间层可以是聚酰亚胺树脂。
同时，根据本发明制造HGA的方法包括以下步骤。制备具有第一和第二板材料和其间的中间层的层状材料。然后，从第一板材料侧刻蚀第一板材料和中间层，以便形成具有用作底部的第二板材料和用作侧壁的中间层的凹陷部分。然后，第二板材料和中间层从第二板材料侧被刻蚀，至少除去在第二板材料中的形成凹陷部分的底部的区域，以便通过第一板材料形成负载横梁的基板。基板的边缘部分向中间层的侧面弯曲，以形成凸缘。最后，设置挠曲部分和磁头滑动器，以便磁头滑动器被定位于凹陷部分中。
通过该制造方法，可以容易地提供在保持负载横梁刚性的同时允许其高度减小的HGA。刻蚀被采用，以便可以由于防止冲压-加工而发生的负载横梁的宽度扩大。
本发明的优点如上所述，根据本发明，在不改变负载横梁的凸缘部分的高度的条件下，可以减小HGA的总高度。以此方式，可以减小HGA的高度，同时可以保持负载横梁的刚性。
图1是根据本发明的磁盘驱动器的结构的示例性视图。
图2是根据本发明的HGA结构的示例性视图。
图3是根据本发明的HGA的示例性剖面图。
图4是根据本发明的HGA的示例性剖面图。
图5是用于在描述根据本发明的制造负载横梁的步骤中使用的示例性视图。
图6是传统HGA的结构的视图。
图7是传统HGA的结构的视图。
具体实施例方式
下面，将结合附图详细描述本发明的特定实施例。注意在图中，相同元件由相同的参考字符表示，以及为了描述的清楚，将视情况而定地不重复该描述。下列实施例是本发明应用于负载/卸载型磁盘驱动器的情况。
本发明的第一实施例首先，为了更容易理解本发明，将描述磁盘驱动器的通用结构。图1是根据该实施例的磁盘驱动器100的结构的示例性示意平面图。磁盘驱动器100包括磁盘101，作为用来记录数据的记录介质。磁盘101是非易失性存储器，其使得其磁层磁化并由此记录数据。在基板102中存储磁盘驱动器100的各个构成元件。基板102通过覆盖基板102的上开口的盖(未示出)和垫圈(未示出)固定以形成外壳，以便可以以密封状态存储磁盘驱动器100的各个构成元件。
磁盘101被固定到主轴电机(SPM)103。磁头滑动器105包括从磁盘101读数据/写数据到磁盘101以至于输入数据到主机(未示出)/从主机输出数据的磁头元件。磁头元件具有写元件和/或再现元件，写元件响应存储数据到磁盘101而将电信号转变为磁场，再现元件将来自磁盘101的磁场转变为电信号。
支架106保持并移动磁头滑动器105。支架106围绕枢轴107枢轴地支撑并由作为驱动机构的VCM(音圈电机)109驱动。支架106在纵向上从尖端包括悬架110、臂111、线圈支撑件112以及扁平线圈113，其中设置磁头滑动器105，以及这些元件以提及的顺序耦合。注意，之后将描述悬架110的结构。VCM 109包括扁平线圈113、固定到上侧定子磁铁保持板114的定子磁铁(未示出)以及固定到下侧定子磁铁保持板的定子磁铁(未示出)。
在旋转磁盘101的表面中的数据区上方，支架106移动磁头滑动器105，以允许数据被写到磁盘101/从磁盘101读数据。支架106的枢轴移动在磁盘101的表面的径向上移动磁头滑动器105。以此方式，磁头滑动器105可以访问磁盘101上的期望磁道。
磁头滑动器105和控制器(未示出)之间的信号通过作为导电线的引线201和柔性印刷电路板(FPC)117传送。由与磁盘101相对的磁头滑动器105的空气支承面(ABS)和磁盘101之间的空气粘滞性引起的压力与通过悬架在磁盘的方向上施加的作用力平衡，以便磁头滑动器105可以以规定间隙在磁盘101上方浮动。
当磁盘101的旋转停止时，支架106从数据区收回磁头105到坡道机构115。支架106在坡道机构115的方向上枢轴转动，设置在支架106的尖端处的突片116在坡道机构115的表面上滑动并停靠在坡道机构115上的停放表面上，这样磁头滑动器105被卸载。当磁头被加载时，在停放表面上支撑的磁头滑动器105脱离坡道机构115并移到磁盘101上方。
现在，将描述根据该实施例的HGA 200。图2是从磁盘101侧观察的HGA 200的必需结构的示例性平面图。HGA 200包括多个元件、磁头滑动器105、挠曲部分202、负载横梁203以及引线201。注意，从图2去除的部分具有与图6所示的常规HGA 400相同的结构，因此不提供该部分的详细描述。
引线201是用来在磁头滑动器105处形成的磁头元件(未示出)和磁盘驱动器100中包括的放大器部分(未示出)之间传送记录信号和再现信号的导电线。在磁盘101的一侧上，柔性挠曲部分202被固定到负载横梁203上。挠曲部分202保持磁头滑动器105。由负载横梁203、挠曲部分202以及引线201制成的组件是图1所示的悬架110。
在负载横梁203的尖端处形成突片116，以及在边缘部分处形成凸缘204。通过将负载横梁203的边缘部分磁盘101的相对侧弯曲而形成凸缘204，换言之，在2中的纵向上弯曲。负载横梁203具有在远离磁盘101的记录面的方向上换言之在图2中的纵向上凹陷的凹陷部分206，，并且该凹陷部分206被设置以围绕滑动器105。在下面，将结合图3和4来详细描述根据该实施例的负载横梁203的特征形状。
图3(a)是HGA 200沿图2中的线A-A得到的示例性剖面图，图3(b)是HGA 200沿图2中的线B-B得到的示例性剖面图，以及图4是HGA 200沿图2中的线C-C得到的示例性剖面图。如图3(a)和4所示，负载横梁203具有在远离磁盘101的记录面的方向上凹陷的凹陷部分206(在图中向下)。更具体地说，形成凹陷部分206和凸缘204以在远离磁盘101的记录面的方向上突出。
磁盘101被定位于图3(a)和3(b)中的上部中和图4中的左侧部分中。图3(a)和4中的参考数字205表示支撑挠曲部分202的凹座。图3和4中的参考数字202a指载物台，是其中在挠曲部分202中设置磁头滑动器105的区域。
磁头滑动器105以从磁盘101偏离的状态设置，似乎它被嵌入负载横梁203中设置的凹陷部分206中。更具体地说，在与ABS 105a相对的侧的并固定到载物台202a的磁头滑动器105的表面(滑动器后表面105b)被在远离磁盘101的方向上偏离设置，至少超过磁盘101侧的负载横梁203的表面203a。换句话说，磁头滑动器105被设置为以至于磁头滑动器后表面105b被定位于负载横梁表面203a和包括凸缘204的尖端的虚拟表面301之间。
如上所述，根据该实施例的HGA 200在负载横梁203中具有凹陷部分206，磁头滑动器105被设置在从磁盘101偏离的部分中。凹陷部分206和凸缘204两个都形成为在远离磁盘101的记录面的方向上突出。因此，凹陷部分206的高度H2被凸缘204的高度H3抵销，以及HGA 200的高度不被凹陷部分206增加。
如上所述，根据该实施例的HGA 200可以具有使其高度H1比图7中所示的常规HGA 400的高度H小了偏移磁头滑动器105的高度和挠曲部分202的厚度的总和。在不降低凸缘204的高度的条件下，可以降低HGA 200的高度，因此负载横梁203的刚性不被降低。
如图3(a)所示，凹陷部分206的高度H2可以等于或小于凸缘204的高度H3。无论凹陷部分206的高度H2是否超过凸缘204的高度H3，或H2等于H3，HGA 200的总高度H1基本上是相同的，因此大于H3的高度H2不有助于减小HGA 200的高度。
现在，将描述根据该实施例的负载横梁203的材料及其制造方法。负载横梁203由通过设置两个不锈钢板和其间的聚酰亚胺树脂层而产生的层状材料形成。图3(a)、3(b)和4中所示的参考标记2031和2033指不锈钢板，以及参考数字2032指聚酰亚胺树脂层。
更具体地说，通过聚酰亚胺树脂层2032形成树脂部分的侧壁以及通过不锈钢板2031形成凹陷部分206的底部。以此方式，在负载横梁203中，两个不锈钢板2031和2033被聚酰亚胺树脂层2032分开。通过聚酰亚胺树脂层2032的厚度可以调整凹陷部分206的深度。
注意通过聚酰亚胺树脂层2032形成的凹陷部分206的侧壁无须被设置在四个方向的每一个中，以及可以如图3和4的剖面图被部分地设置。由不锈钢板2031形成的凹陷部分206的底部可以设有孔，如图4中的剖面图所示的开口。滑动器105的枢轴107的侧面上的凸出2035形成滑动器限制器的一部分。当滑动器105移动离开凹座205时，在挠曲部分202上捕捉负载横梁203的侧面上的凸出2035，并防止脱离。
下面将结合图5描述制造负载横梁203的步骤。图5(a)示出了在处理之前包括三个层的层状材料50的示例性状态，包括不锈钢层2031、聚酰亚胺层2032以及不锈钢层2033。在第一步骤中，通过光刻蚀处理不锈钢2031和2033的金属层。更具体地说，在不锈钢2031和2033的表面上形成其形状适合于希望通过处理获得的形状的抗蚀剂膜，然后通过已知的湿法或干法刻蚀技术来刻蚀不锈钢层2031和2033，然后除去抗蚀剂膜。
图5(b)示出了执行如上所述的第一步骤之后的层状材料50的示例性状态。注意在处理不锈钢层2031和2033的时候，层状材料50必须从两侧被刻蚀。因此，如果两个方向上的刻蚀不能同时进行，那么不锈钢层2031和2033可以被顺序地刻蚀。
在第二和第三步骤中，处理聚酰亚胺树脂2033。在第二步骤中，通过已知的湿法或干法刻蚀技术，从在图中的上部刻蚀并除去聚酰亚胺树脂2032(图5(c))，以及在第三步骤中，聚酰亚胺树脂2032从图中的下面刻蚀并除去。图5(d)示出了在执行第一至第三步骤之后层状材料50的示例性状态，以及形成凹陷部分206。
如上所述，通过蚀刻技术处理层状材料，以便可以在不执行挤压加工的情况下形成凹陷部分206。上述制造步骤只不过是一个例子，执行该步骤的顺序不局限于描述的顺序。
注意诸如不锈钢板的一个薄板可以经受挤压加工和可以形成具有用来偏置磁头滑动器105的凹陷部分206的负载横梁。为了通过挤压加工来形成凹陷部分206，必须在负载横梁的纵向上的两个或更多位置处弯曲负载横梁。经受弯曲处理的位置需要指定弯曲曲率。因此，具有通过挤压加工形成的凹陷部分206的负载横梁具有大的宽度。负载横梁的宽度增加是不希望的，因为它限制磁盘驱动器的布局和增加HGA的重量。
与之对比，根据该实施例的负载横梁203通过刻蚀三层结构的层状材料的表面来设有凹陷部分206。因此，与通过挤压加工形成负载横梁的情况相比，不具有通过挤压加工而产生的扩大负载横梁的宽度，负载横梁可以具有较小的宽度。
中间具有聚酰亚胺树脂层的层状材料的使用允许聚酰亚胺树脂用作阻尼部件，以便可以预期阻尼效应。注意可以使用其它树脂材料来代替聚酰亚胺树脂作为形成负载横梁203的层状材料的中间层。
注意本发明可以被应用于CSS(接触起动停止)型磁盘驱动器，其中当不进行数据写/读时，磁头滑动器105退入在磁盘101的内圆周处设置的区中。在上述磁盘驱动器中，为了简化，磁盘101是一个单侧记录磁盘，而磁盘驱动器100可以具有一个或多个双面记录磁盘。
其他实施例根据本发明的第一实施例的HGA 200仅仅在与负载横梁203的磁头滑动器105相对的区域中设有凹陷部分206。但是，它仅仅需要凹陷部分206的开口面积大于磁头滑动器105的后表面105b的面积，以便磁头滑动器105可以偏离磁盘101。
因此，凹陷部分206可以具有较大的开口面积，例如，在负载横梁203的纵向上，可以对于包括与磁头滑动器105相对的位置的整个负载横梁203形成凹陷部分206。此时，负载横梁203在纵向上可以被凹陷至其端部，以便凹陷部分206的侧壁可以具有打开形状。
根据本发明的第一实施例的负载横梁203由包括不锈钢板和聚酰亚胺树脂的层状材料形成，而其他种类的金属板可以被使用来代替不锈钢板，其他代用材料可以被使用，只要诸如重量、刚性和污染的条件可以被满足。其他材料可以被使用来代替聚酰亚胺树脂。
负载横梁203的材料不局限于结合本发明的第一实施例描述的层状材料。制造负载横梁203的方法不局限于通过刻蚀制造。例如，可以通过挤压加工为单块金属板，来形成具有凹陷部分206的负载横梁203。可以应用控制刻蚀的深度的半蚀刻技术，以便可以由单块不锈钢板形成具有凹陷部分206的负载横梁203。
根据本发明的第一实施例的形成负载横梁203的层状材料中包括的层数目不局限于三个。该层数目可以更大。知道本发明不局限于上述实施例，在不脱离本发明的范围的条件下可以进行各种改进。
100磁盘驱动器，101磁盘，105磁头滑动器，105a空气支承面(ABS)，105b磁头滑动器后表面，106支架，110悬架，111臂，116突片，200磁头万向架组件(HGA)，201引线，202挠曲部分，202a载物台，203负载横梁，203a负载横梁表面，204凸缘，205凹座，206凹陷部分，2031，2032不锈钢板，2032聚酰亚胺树脂层
权利要求
1.一种磁头万向架组件，包括磁头滑动器，具有用于从磁盘读取数据和/或写数据到磁盘的磁头元件；挠曲部分，用于保持磁头滑动器；以及负载横梁，固定有该挠曲部分，并包括在纵向上延伸的负载横梁的边缘处在一侧上突出而形成的凸缘，该侧与在与磁盘相对的侧上的负载横梁的表面相对，以及包括凹陷部分，其向与磁盘相对的侧提供开口并具有大于与该挠曲部分相对的磁头滑动器的第一表面的面积的开口面积，其中与磁盘相对的侧上的负载横梁的表面的位置位于包括与磁盘相对的磁头滑动器的表面的虚拟表面和包括第一表面的虚拟表面之间，该磁头滑动器被设置在该凹陷部分中。
2.根据权利要求1的磁头万向架组件，其中第一表面的位置位于在与磁盘相对的侧上的负载横梁的表面和包括凸缘的尖端的虚拟表面之间。
3.根据权利要求1的磁头万向架组件，其中该凹陷部分包括底部，该底部具有升高到其上放置有磁头滑动器的侧面的凹座，以及该挠曲部分与凹座接触地支撑。
4.根据权利要求1的磁头万向架组件，其中该负载横梁由层状材料形成，该层状材料在第一板和第二板之间具有中间层，第一板形成负载横梁的基板，中间层形成凹陷部分的侧壁，以及第二板形成凹陷部分的底部。
5.根据权利要求4的磁头万向架组件，其中该中间层由树脂形成。
6.根据权利要求4的磁头万向架组件，其中该第一板和第二板是不锈钢，以及中间层是聚酰亚胺树脂。
7.一种制造磁头万向架组件的方法，该磁头万向架组件包括具有磁头元件的磁头滑动器、保持该磁头滑动器的挠曲部分以及固定有该挠曲部分的负载横梁，该方法包括以下步骤制备在第一板和第二板之间具有中间层的层状材料；从第一板侧刻蚀第一板和中间层，由此形成凹陷部分，其具有用作底部的第二板和用作侧壁的中间层；从第二板侧刻蚀第二板和中间层，至少去除在第二板中形成凹陷部分的底部的区域，由此利用第一板形成负载横梁的基板；将基板的边缘部分向中间层侧弯曲，由此形成凸缘；以及设置挠曲部分和磁头滑动器，以便将磁头滑动器放置在凹陷部分中。
8.根据权利要求7的制造方法，其中该磁头滑动器被设置为使得基板的位置位于包括与磁盘相对的磁头滑动器的表面的虚拟表面和包括与该挠曲部分相对的表面的虚拟表面之间。
9.根据权利要求7的制造方法，其中该磁头滑动器被设置为使得与该挠曲部分相对的磁头滑动器的表面位于包括凸缘的根部的虚拟表面和包括该凸缘的尖端的虚拟表面之间。
10.根据权利要求7的制造方法，其中该中间层是树脂。
11.根据权利要求7的制造方法，其中第一板和第二板是不锈钢，以及中间层是聚酰亚胺树脂。
12.一种用于保持具有磁头元件的磁头滑动器的悬架，包括具有载物台的挠曲部分，在该载物台处放置磁头滑动器；以及在其处固定该挠曲部分的负载横梁，包括凸缘，该凸缘形成以在与在一侧上的负载横梁的表面相对的侧上突出，在该所述前一侧上在负载横梁的纵向上延伸的负载横梁的两个边缘处设置挠曲部分，以及提供向其上设置有挠曲部分的侧打开的凹陷部分，其中该挠曲部分被设置在凹陷部分中，以便包括载物台的虚拟表面的位置位于包括凸缘的端部的虚拟表面和包括在其上设有挠曲部分的侧上的负载横梁的表面的虚拟表面之间。
13.根据权利要求12的悬架，其中该凹陷部分具有底部，该底部具有升高至其上放置有磁头滑动器的侧面的凹座，以及其中该挠曲部分与凹座接触地支撑。
14.根据权利要求12的悬架，其中该负载横梁由层状材料形成，该层状材料在第一板和第二板之间具有中间层，第一板形成负载横梁的基板，中间层形成凹陷部分的侧壁，以及第二板形成凹陷部分的底部。
15.根据权利要求14的悬架，其中该中间层由树脂形成。
16.根据权利要求14的悬架，其中第一板和第二板是不锈钢，以及中间层是聚酰亚胺树脂。
全文摘要
为了在保持负载横梁的刚性的同时减小磁头万向架组件(HGA)的高度。根据本发明的一个实施例，HGA 200包括滑动器105、挠曲部分202以及负载横梁203。负载横梁203包括在纵向上延伸的负载横梁的边缘处向关于磁盘的相对侧而形成的凸缘204。负载横梁203具有凹陷部分206，向与磁盘相对的侧开口并具有大于与挠曲部分202相对的滑动器105的后表面105b的面积的开口面积。磁头滑动器105被设置在凹陷部分206中，以便负载横梁203的表面203a的位置位于包括与磁盘相对的滑动器105的表面的虚拟表面和包括滑动器后表面105b的虚拟表面之间。
文档编号G11B5/60GK101083124SQ20071010510
公开日2007年12月5日 申请日期2007年5月22日 优先权日2006年5月30日
发明者出口隆明, 太田睦郎, 木村伸一, 松田浩 申请人:日立环球储存科技荷兰有限公司