压电促动器及其制造方法、磁盘装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及压电促动器及其制造方法、以及搭载了压电促动器的磁盘装置。
【背景技术】
[0002]在现有技术中，在磁盘装置中，为了使磁性头部高精度地移动至盘上的期望位置，搭载了使磁性头部大致移动至期望位置的附近的第I促动器、和使磁性头部从通过第I促动器移动的位置开始向期望位置微量移动的第2促动器。
[0003]例如，图19是表示现有技术的磁盘装置结构的俯视图。如图19所示，磁性头部(未图示)设置在与悬架200的一端侧连接的平衡环210，作为第I促动器的音圈电机250设置在悬架支撑部件230中。在悬架200与悬架支撑部件230之间，设有作为第2促动器的压电促动器100。
[0004]压电促动器100具备由锆钛酸铅(PZT)等压电陶瓷构成的长方体形状的压电体、和分别在压电体的互相对置的两个面设置的外部电极，若对外部电极施加电压，则压电体伸缩。
[0005]在现有技术的磁盘装置中，设有由覆盖压电促动器100的表面的树脂构成的涂层101，通过涂层101，防止从压电促动器100的压电体脱落压电陶瓷的微细粒子。由此，在驱动压电促动器100时，因压电促动器100的压电体的伸缩等而使压电陶瓷的微细粒子从压电体脱落，脱落的粒子附着于磁性头部、磁性记录圆板310，从而防止向磁性记录圆板310的信息写入或来自磁性记录圆板310的信息读出的可靠性的降低。(例如，参照专利文献I)。
[0006]在先技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1:JP特开2002-163870号公报
【发明内容】
[0009]发明要解决的课题
[0010]涂层101是在悬架200与悬架支撑部件230之间安装压电促动器100之后设置的。因此，用于涂层101的树脂有可能附着在磁盘装置内的不期望的部位(例如，磁性头部附近)上。此外，磁盘装置的制造工序变得复杂，良品率的降低、制造成本的上升等成为原因。
[0011]此外，专利文献I公开了，用于涂层101的树脂优选使用未固化状态的粘度为100mPa.s以下的低粘度树脂，低粘度环氧树脂系粘接剂最佳，低粘度环氧树脂系粘接剂由含有量小于20%的环氧低聚物和含有量为80%以上的环氧单体构成，至少包含在热或者光下进行反应的聚合开始剂、催化剂、添加剂。
[0012]但是，在树脂的未固化状态的粘度为100?100mPa.s程度的情况下，树脂无法进入到在压电体的表面存在多个的微细的凹部的底部，涂层101容易被剥离。若涂层101被剥离，则压电体的表面被曝光，有时会从被曝光的部分脱落压电陶瓷的粒子。
[0013]此外，树脂的未固化状态的粘度越高ο，覆盖压电体表面的涂层101就越厚。若涂层101厚，则涂层101会阻碍压电促动器100的位移，导致压电促动器100的位移特性劣化，有时使磁性头部移动的精度会下降。
[0014]本发明鉴于上述情况而完成，提供一种能够可靠地防止来自压电体的压电陶瓷粒子的脱落的压电促动器及其制造方法、以及搭载压电促动器的磁盘装置。
[0015]用于解决课题的手段
[0016]本发明为了解决上述课题，提供如下构成的压电促动器。
[0017]本发明的压电促动器具备(a)长方体形状的压电体，由压电陶瓷构成，具有互相对置的2个主面和连接所述2个主面的4个侧面；(b)外部电极，设置于所述主面；(c)凹部，形成于所述4个侧面；和(d)涂层，设置于所述4个侧面，且由树脂构成。所述涂层覆盖所述4个侧面中的所述凹部。
[0018]在上述构成中，压电体的主面以及侧面的6个面被外部电极和涂层覆盖着。涂层覆盖着压电体的凹部，因此不易剥离。由于能够可靠地保持压电体的6个面被外部电极和涂层覆盖的状态，因此能够可靠地防止来自压电体的压电陶瓷的粒子的脱落。
[0019]在本发明的压电促动器中，优选还具备:增强部件，在至少一个所述外部电极的和与所述压电体相连的面相反的一侧的面沿着该面的周边而设置，且由树脂构成。
[0020]此时，由于外部电极的端部被增强部件和涂层覆盖，因此压电促动器的角部的强度得到提高。
[0021]在优选的一个方式中，与所述涂层一体地形成所述增强部件。
[0022]在本发明的压电促动器中，优选所述涂层是未固化状态的粘度大于ImPa.s且小于10mPa.s的树脂固化而成的。
[0023]若未固化状态的树脂的粘度大于ImPa.S，则能够将涂层设置成与压电体的凹部的底部接触。若未固化状态的树脂的粘度小于100mPa*s，则不会使压电体的4个面中的涂层的厚度太厚。
[0024]在本发明的压电促动器中，优选所述涂层在所述4个侧面上的厚度为Iym以下。
[0025]此时，通过涂层几乎不会阻碍压电促动器的位移，因此能够提高压电促动器的位移特性。
[0026]在本发明的压电促动器中，优选所述压电体是通过切断集合基板而形成的单片，所述4个侧面是该单片的切断面。
[0027]在本发明的压电促动器中，优选所述涂层与所述4个侧面的所述凹部的底部接触。
[0028]本发明提供一种搭载了上述的任一种结构的压电促动器的磁盘装置。
[0029]此时，压电促动器防止了来自压电体的陶瓷粒子的脱落，因此在磁盘装置搭载压电促动器之后，无需在压电促动器的表面进一步设置涂层。
[0030]此外，本发明为了解决上述课题而提供如下那样构成的压电促动器的制造方法。
[0031]压电促动器的制造方法具备第I至第6工序。在所述第I工序中，准备在由压电陶瓷构成的压电体母基板的相互对置的2个面分别设有金属层的集合基板。在所述第2工序中，在所述集合基板上粘贴具有粘合性的薄膜，经由所述薄膜而将所述集合基板固定于基准面。在所述第3工序中，在被固定的所述集合基板上设置掩模。在所述第4工序中，与所述掩模一起切断所述集合基板来形成槽，形成长方体形状的多个单片。在所述第5工序中，在所述多个单片的切断面涂敷未固化状态的树脂之后使其固化，由此设置涂层。在所述第6工序中，从所述单片去除所述掩模，从所述薄膜剥离所述单片。
[0032]根据上述方法，能够制造压电体的6个面中的互相对置的2个面被金属层覆盖而其他4个面被涂层覆盖的压电促动器。
[0033]在本发明的压电促动器的制造方法中，所述未固化状态的树脂的粘度大于ImPa.s 且小于 10mPa.S。
[0034]优选，在所述第I工序之后且在所述第2工序之前，具备:第7工序，在所述集合基板的至少一个所述金属层上，以向在所述第4工序中形成所述槽的部分的两侧突出的方式设置由树脂构成的增强部件图案。在所述第4工序中，将与所述掩模以及所述集合基板一起切断的所述增强部件图案作为增强部件。
[0035]此时，由于至少一个外部电极的端部被增强部件和涂层覆盖，因此压电促动器的角部的强度得到提高。
[0036]优选，在所述第5工序中，所述未固化状态的树脂进入所述薄膜与所述集合基板或所述增强部件图案之间的间隙后被固化，由此成为所述增强部件。
[0037]优选，在所述第3工序中，所述掩模是第2薄膜，在所述第5工序中，所述未固化状态的树脂进入所述第2薄膜与所述集合基板或所述增强部件图案之间的间隙后被固化，由此成为所述增强部件。
[0038]发明效果
[0039]根据本发明，能够可靠地防止来自压电体的压电陶瓷粒子的脱落。
【附图说明】
[0040]图1是本发明的第I实施方式的压电促动器的(a)俯视图、(b)侧视图、(C)剖视图、(d)剖视图。
[0041]图2是本发明的第I实施方式的压电促动器的主要部分放大剖视图。
[0042]图3是表示本发明的第I实施方式的压电促动器的制造工序的主要部分放大剖视图。
[0043]图4是表示本发明的第I实施方式的压电促动器的制造工序的主要部分放大剖视图。
[0044]图5是表示本发明的第I实施方式的压电促动器的制造工序的说明图。
[0045]图6是表示本发明的实施例1的压电促动器和比较例I的压电促动器的磁带测试的结果的图表。
[0046]图7是实施例3的压电促动器中的压电体的侧面的照片。
[0047]图8是本