专利名称：具有工作件转送保护功能的半导体制程设备的制作方法
技术领域：
本实用新型有关一种具有工作件转送保护功能的半导体制程设备，特别是有关一种保护制程设备和标准机械介面(standardized mechanical interface)(SMIF)自动化传送装置的半导体制程设备。
背景技术：
对降低每单位晶片制程成本的需求，驱使半导体业不断的搜寻增加晶片优良率及降低制造循环周期的方法。而众所周知，要增加半导体晶片制造系统的总产量，不外乎确保每一机台稳定的晶片供给量。因此，工厂的物料管理系统的处理能力就影响了在场内循环的晶片载具数量。当晶片的尺寸持续增大，为了适应尺寸及晶片箱重量的变大，对晶片的处理方式则越来越趋向于自动化。也就是说，介面装置传送晶片或晶舟到制程或量测设备的动作，变得越来越重要和越来越复杂。
因为要避免周围的微粒或制程所生的微粒的污染，对半导体晶片的处理和制造就需要极度的注意。因其一旦受到了污染就会降低制程优良率，所以，集成电路的制造就更加的昂贵和费时。标准机械介面(SMIF)系统的发展，不仅促进半导体晶片的制造，同时也减少了于半导体制程储存和传送晶片时，微粒落到晶片的机会。标准机械介面(SMIF)系统主要包括三个部分一密闭箱子，用来传送或储存晶片的晶舟；一微小的环境，其为利用超纯气体环绕晶舟装载处和制程设备的晶片制造区域，以使得箱子内部环境和微小环境间成为缩小型的洁净空间；及自动传送组件，装载/卸载晶舟及/或晶片，将其从密闭箱子传送到制程机台，而不使晶舟中的晶片受到外在环境的污染。因此，当晶片在晶片厂移动时，标准机械介面系统提供持续性的超洁净环境，是一种操作者和制程机台间的有力介面。
近来所设计的自动化装置和其他具有标准机械介面装置的机器，是用以集成将晶舟装载和卸载到晶片制程或量测设备。因此，操作介面就日益复杂。利用安全感应器检查介面装置是否处于适当的操作状态，是属于装置本身的控制介面，而自动介面装置和制程工具间复杂的操作介面，造成操作者强大的负担而容易导致操作错误。例如，自动介面装置本身的安全感应器无法检查出制程工具是否处于正常状态，(或说达到预选状态)，而当制程工具处于非预选状态时，操作者在未察觉的情形下启动了卸载的动作，就可能造成自动介面装置或制程工具，以及晶片的损坏。
一般控制介面中的许多警示器都是有其必要的作用，但是简化操作介面以减轻操作者的负担，进而避免操作者的误动作发生，仍是不断需要发展的目标。因此，利用制程工具和介面装置间的简易保护装置，提供一种具有工作件转送保护功能的半导体制程设备，使其不因误动作的发生而损害设备乃是业界的一大期望。
发明内容
本实用新型的目的为提供一种具有工作件转送保护功能的半导体制程设备，它可以显示制程工具是否处于适当的操作状态，而当制程工具不是处于适当的操作状态时，会自动关闭介面装置的动作，以避免因误动作而发生的损害。
为实现上述目的，本实用新型的具有工作件转送保护功能的半导体制程设备，其特点是，所述半导体制程设备包括一制程工具，所述制程工具包括一可移动平台用以支撑一工作件；一介面装置，所述介面装置包括一自动传送装置用以传送所述工作件往返于所述可移动平台及所述介面装置之间；一感应装置，用以检查所述制程工具的所述可移动平台是否处于一预选状态，且产生一输出信号；及一控制组件，根据所述输出信号以控制所述自动传送装置启闭。
本实用新型利用感应器检查制程工具的可移动平台是否处于预选状态(home)，并且产生一输出信号。然后将输出信号传送至控制组件。假如感应器检查出可移动平台不处于预选状态，保护功能就会作用，而关闭介面装置的自动传送装置的装载/卸载功能，以避免因操作误动作而使得晶片，制程工具，以及介面装置的损坏。
为更清楚理解本实用新型的目的、特点和优点，下面将结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细说明。
图1是本实用新型具工作件转送保护功能的半导体制程设备的简易图；图2是本实用新型的半导体制程设备电路连结及信号传输的简易图；图3是本实用新型的半导体制程工作件传送的的简易图；及图4是本实用新型的半导体制程工作件传送的作业流程图。
具体实施方式
于本实用新型的实施例中，提供了一种具工作件转送保护功能的半导体制程设备。如图1所示，本实用新型的传送工作件的半导体制程设备100，至少包括一介面装置101，它具有传送工作件往返于制程工具102的可移动平台114和介面装置101之间的自动传送装置。本实用新型的重点是利用一感应装置116检查制程工具102的可移动平台114是否处于一预选状态，例如是否达到A的位置，并产生一输出信号。假如可移动平台114移动到介面装置101的自动传送装置可以进行装载/卸载(load/unload)工作件的位置，例如位置A，则定义其达到预选状态(home)或准备好状态(ready)。反之，则定义为未达到预选状态(not home)或未准备好状态(not ready)。而控制组件118根据此输出信号，用以控制介面装置101的自动传送装置的传送功能。虽然本实用新型所描述的介面装置101是有关标准介面(SMIF)系统，但本实用新型可运用于任何一种储存和传送半导体晶片的介面装置。而制程工具102可以是晶片制程或量测的设备，例如蚀刻机台或表面扫描量测机台。而″半导体晶片″或″晶片″一词，所指的是任何半导体晶片制造阶段中，可能产生的晶片底材。
图2是具有工作件转送保护功能的半导体制程设备100中，感应装置116，控制组件118，显示组件124，及介面装置101间的电路连结及信号传送的简易图。感应装置116可将检测制程工具的可移动平台是否到达位置A的状态，输出一信号到控制组件118，控制组件118则依据此输出信号，来控制介面装置101的自动传送装置，同时可将信号显示于一显示组件124上。例如，当感应装置检测到可移动平台未达到准备位置，也即未达到位置A，输出一信号到控制组件，控制组件依据此信号关闭介面装置的自动传送装置的装载/卸载功能。当感应装置检测到可移动平台达到准备位置，也即达到位置A，输出一信号到控制组件，控制组件依据此信号启动介面装置的自动传送装置的装载/卸载功能。
参考图3，本实用新型的保护设备至少包括一制程工具102，一介面装置101，一感应装置116，及一控制组件118。其中制程工具102具一可移动平台114用以支撑工作件110。工作件110可以是具有一片或多片半导体晶片的半导体晶片承载盒，或者是一片晶片，于本实施例中其为一晶片承载盒。可移动平台114则可以垂直或水平的移动，以达到制程工具102对工作件110进行制程的目的。介面装置101包括一自动传送装置112用以传送工作件110往返于可移动平台114及介面装置101之间。感应装置116，乃用以检查制程工具102的可移动平台114是否处于预选状态，且产生一输出信号。控制组件118，则根据输出信号以控制自动传送装置112的启闭。
在工作件的传送过程中，通常利用传送箱(pod)或标准机械介面箱(SMIF pod)来装载工作件。传送箱或标准机械介面箱通常包括箱盖部份120和底座部份122。当传送箱放置于介面装置101上时，介面装置101首先会将箱盖部份120与底座部份122分离，然后将包括工作件110的底座部份122降低至与可移动平台114紧邻的位置。再依据感应装置116检测可移动平台位置结果，控制装置118会启闭自动传送装置112的装载/卸载功能，将工作件110传送到制程工具102内，然后放在可移动平台114上。其中感应装置116是用以检查制程工具102的可移动平台114是否处于一预选状态，例如是否达到位置A，且产生一输出信号。感应装置116可以是一开关感应器(或闸刀开关)，用以检测可移动平台114是否处于准备好的状态，且包括传送输出信号到一控制组件118的所有电路。以开关感应器为例，其一端电路是接地，而另一端则是连接到控制组件118。控制组件118根据输出信号以控制介面装置101的自动传送装置112。此外，控制组件118可以是外接式的控制组件，用以控制自动传送装置112，也可以是介面装置101本身的内部控制组件。
本实用新型的主要重点是当感应装置116检测到可移动平台114并未达到准备位置，自动传送装置112的传送功能将会自动关闭，而达到简化操作介面的目的。也就是说，当可移动平台114并未达到准备位置，反应输出信号的控制组件118会关闭自动传送装置112的装载/卸载功能。当感应装置116检测到可移动平台114并达到准备位置，也即达位置A，反应输出信号的控制组件118会启动自动传送装置112的装载/卸载功能。因此可避免因不当操作而造成制程工具和介面装置的损坏，而使得设备故障时间增加。此外，控制组件包括一显示组件124，例如灯号显示器，其可显示可移动平台的准备状态(ready/not ready)。例如，当可移动平台达准备状态，灯号显示器就会亮灯，反的，当可移动平台未达准备状态，灯号显示器就不会亮灯，这样，操作者可以通过显示组件轻易得知需要执行装载/卸载的操作时机。因此可避免因不当操作而造成制程工具和介面装置的损坏而使得设备故障时间增加。
图4为本实用新型设备的作业流程。首先，利用一感应装置，感应检测制程工具内的可移动平台是否处于预选位置，且产生一输出信号。然后，接收输出信号以判定可移动平台是否处于预选位置。另外，当可移动平台不在预选位置时，停止自动传送任何一工作件至可移动平台上。同时，将显示出输出信号。当可移动平台达到预选位置时，自动传送任何一工作件至可移动平台上。
通常标准机械介面系统提供一种单一装载/卸载功能来传送工作件。单一装载/卸载功能是一旦一批晶片装载到制程工具后，只有当这批晶片完成制程且被卸载后，才会再装载另一批晶片到制程工具。本实用新型半导体制程设备配合介面装置的单一装载/卸载功能，操作者可以很轻易地操作传送装置，而类似两个晶舟撞在一起造成破片，及制程工具和介面装置损坏的误动作，就可以轻易地避免。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用以限定本实用新型的申请专利范围；凡其它未脱离本实用新型所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包括在本实用新型的申请专利范围内。
权利要求1.一种具有工作件转送保护功能的半导体制程设备，其特征在于，所述半导体制程设备包括一制程工具，所述制程工具包括一可移动平台用以支撑一工作件；一介面装置，所述介面装置包括一自动传送装置用以传送所述工作件往返于所述可移动平台及所述介面装置之间；—感应装置，用以检查所述制程工具的所述可移动平台是否处于一预选状态，且产生一输出信号；及—控制组件，根据所述输出信号以控制所述自动传送装置启闭。
2.如权利要求1所述的半导体制程设备，其特征在于，所述工作件至少包括一半导体晶片承载盒。
3.如权利要求1所述的半导体制程设备，其特征在于，所述介面装置至少包括一标准机械介面装置。
4.如权利要求1所述的半导体制程设备，其特征在于，所述感应装置至少包括一开关感应器。
5.如权利要求1所述的半导体制程设备，其特征在于，当所述输出信号表示所述可移动平台不在所述预选状态时所述控制组件关闭所述自动传送装置。
6.如权利要求1所述的半导体制程设备，其特征在于，当所述输出信号表示所述可移动平台处于所述预选状态时所述控制组件启动所述自动传送装置。
7.如权利要求1所述的半导体制程设备，其特征在于，所述控制组件包括一显示组件以显示所述预选状态。
8.如权利要求7所述的半导体制程设备，其特征在于，所述显示组件至少包括一灯号显示器。
专利摘要一种具有工作件转送保护功能的半导体制程设备。半导体制程设备至少包括一制程工具,其包括一可移动平台用以支撑一工作件;一介面装置,其包括一自动传送装置用以传送工作件往返于制程工具的可移动平台及介面装置之间;一感应装置,用以检查制程工具的可移动平台是否处于一预选状态,且产生一输出信号;及一控制组件,根据输出信号以控制自动传送装置。
文档编号H01L21/00GK2502403SQ01233689
公开日2002年7月24日 申请日期2001年8月9日 优先权日2001年8月9日
发明者黄才倍 申请人:旺宏电子股份有限公司