专利名称：可溶物质的淀积的制作方法
本申请涉及可溶物质的淀积，尤其涉及利用喷墨技术的可溶物质淀积。
近年来，需要在固体表面淀积如聚合物、染料、胶体材料之类的有机或无机可溶或可分散物质、并以此作为产品制造工艺的一部分的产品数量增长很快。这些产品的一个例子是有机聚合物电致发光显示装置。有机聚合物电致发光显示装置要求在固体衬底上将可溶聚合物淀积成预定图形，以提供显示装置的发光象素。衬底例如由玻璃、塑料或硅构成。
在半导体显示装置(例如发光二极管(LED)显示器)的制造过程中，常规使用光刻技术。但是，光刻技术实施起来比较复杂、耗时、昂贵。另外，光刻技术不太适合用于制造结合了可溶有机聚合物材料的显示装置。某种程度上，与有机聚合物象素制造相关的问题阻碍了结合这种材料作为发光象素元件的产品(例如电致发光显示装置)的发展。因此人们已建议在制造电致发光显示装置的过程中采用喷墨技术来淀积可溶有机聚合物。
按照定义，喷墨技术在理论上适合上述可溶或可分散材料的淀积。它是用起来快速而廉价的技术。与旋涂或汽相淀积之类的可选择技术相比，该技术能立刻形成图形而无需将刻蚀步骤与平版印刷技术结合起来。但是，利用喷墨技术将可溶有机物淀积到固体表面上与将墨水淀积到纸张上使用的常规技术不同，前者会遇到很多困难。具体而言，在显示装置中，主要要求光输出的均匀性和电特性的均匀性。此外在装置制造方面还强加了空间限制。照此，不寻常的一个问题是利用喷墨印刷头非常精确地将可溶聚合物淀积到衬底上。对于彩色显示器而言，它要求将发红、绿和兰光的各种聚合物淀积到显示器的每个象素上，因此该问题尤其严重。
为了帮助可溶物质的淀积，人们建议提供具有这样一种层体的衬底该层体包括用不湿润材料限定的壁结构图形，从而提供由壁结构限定的池或细长的沟阵列，用以接收要淀积的材料。后面将该预先形成图形的衬底称为堤结构。在将有机聚合物溶液淀积到池中时，有机聚合物溶液和堤结构材料的润湿性能差异使溶液自己就对准到衬底表面上设置的池中。但是仍然必需将有机聚合物材料的液滴淀积得与堤结构中的池基本对准。即使在使用这种堤结构的情况下，淀积的有机聚合物溶液在某种程度上也会附着到限定该池的材料壁上。这会让每个淀积液滴的中央区域充其量只有薄薄的一层淀积材料，与淀积在堤结构壁上的材料相比，前者也许低至后者的10％。池中央的淀积聚合物材料作为显示装置中的有源发光材料，如果聚合物材料未能与池精确对准地淀积，那么有源发光材料的量和厚度会进一步减少。这种有源发光材料变薄是非常严重的问题，这是因为，在显示器使用过程中通过这些材料的电流会增加，这会降低显示器发光装置的预期寿命和效率。如果未能精确地控制淀积对准，该淀积聚合物材料变薄也会因象素的不同而变化。因为有机材料构成的LED是电流驱动装置，而且按照上面所述的，通过淀积的聚合物材料的电流会随淀积材料厚度的减少而增加，因此不同象素的有机聚合物材料的发光性能也会变化。该象素之间的性能变化导致了显示图像的不均匀性，从而让显示图形的质量变差。该图形质量变差还会加速显示器发光二极管(LED)的工作效率和工作寿命的降低。因此可以看出，聚合物材料的精确淀积对于提供良好的图像质量和提供效率、耐用性可接受的显示装置是十分必要的。
实践中，实现印刷头喷嘴与堤结构中的池精确对准的要求可细分成两部分即，准备对准和印刷过程对准，后者的对准可通过材料的实际淀积来实现。
准备对准本身可拆成两个阶段。第一阶段称为“θ对准”，实施该对准可确保载有堤结构的衬底和载有喷墨头的平移系统在衬底的横向方向(X)和纵向方向(Y)上对准。该θ对准可通过让印刷头与堤结构中位于该堤结构一角或位于该角附近的第一池光学对准来实现。
可将堤结构中的这些池看作是行列式矩阵阵列，首先将印刷头定位于第一池所在的那一排的相对端，检查印刷头是否与该排中第二池对准。这被称为X方向的对准。然后将印刷头定置于包括第一池的那一列的相对端，检查它与该列相对端的另一池是否对准。这称为Y方向对准。如果发现不对准，就在衬底平面内相对于印刷头平移系统旋转衬底，重复以上观察过程，直至看到在衬底的X和Y方向上都实现了光学对准。
现在主要有两种喷墨头。一种喷墨头使用热敏印刷头，它们一般被称为气泡式喷墨头。第二种使用压电印刷头，其中一压电装置位于与储液槽连通的膜片后方。在该第二种类型的喷墨头中，给压电装置通电，膜片偏转向储液槽施压，从而压迫储液槽内容纳的液体，该情况下为显示器提供发光象素的聚合物材料溶液以聚合物材料的细小液滴形式喷出喷嘴。对于任何一类印刷头来说，喷嘴都有非常小的喷出孔，其直径一般约为30微米。有机聚合物一般溶解在相对挥发的有机溶剂中，这样这些聚合物能以溶液的方式淀积。
淀积过程中，保持喷墨印刷头尽量向带有堤结构的衬底靠拢。一般，喷墨印刷头按照在衬底上方约0.5mm到1.0mm的间隔距离布置。该间隔范围还可用于对上述印刷头的θ对准进行初步光学检查。但是，堤结构中的池的尺寸非常小，因此为了进行该光学对准检查就需要高倍显微镜。因为要使用高倍显微镜，观察图像时景深非常小，因此通常不可能同时对堤结构中的池和喷墨头的喷嘴进行聚焦，这就很难保证能真正实现所需的光学对准。
还必需保证观察轴与衬底精确垂直，否则在池与喷墨头的喷嘴之间会产生偏移。在实践中这也很难实现。
准备对准的第二阶段称为“对准以得到原点”，原点是在制造显示装置的过程中有机聚合物开始淀积的位置。但是，由上述问题能够理解的是，不能容易地实现喷墨头与堤结构的池的光学对准。
因此通常通过实际淀积一滴或多滴有机聚合物材料来实施原点对准。将材料淀积到堤结构的一定数量的池中，然后通过观察淀积液滴检查对准。但是，利用材料的实际淀积实现原点对准也会出现许多问题。
材料液滴在干燥时的润湿性能与后来淀积时的液滴的润湿性能相同。因此，如果湿润或新鲜液滴与以前淀积的干液滴接触，它就会被拉向以前液滴的淀积位置，由此很难检查后淀积的液滴的实际淀积位置。此外，淀积材料的液滴在干燥时即使用显微镜也很难观察，这是因为它们很薄且比较透明的缘故。此外，堤结构中的池基本上是圆形形状，这与淀积液滴的形状相同。因此，如果将液滴淀积得与堤结构中的池精确对准，基本上较透明材料的大体为圆形的液滴位于堤结构的基本为圆形的池中。因此非常需要一种可选择方案来检查原点对准，例如独立于堤结构中的池的密集的对准标记阵列。如果这些对准阵列的标记之间的坐标已知，就可将该信息用于对淀积头进行校正以到达原点。此外，如果对准阵列这样布置标记间的间距位于约2到10倍于淀积液滴尺寸的区域内，那么就能在用于获得原点的显微镜的视域内同时观察到若干个这样的标记，从而就能在不用重置观察显微镜的情况下检测若干淀积液滴。
一旦完成了预备对准，就开始着手实际的印刷处理过程。但是，由以下描述可以显而易见的是，在液滴的实际印刷或淀积过程中，需要按照规则的间隔实施印刷过程对准。在喷墨印刷过程中，液滴的飞行速度一般在2到10m/sec的范围内。衬底与印刷头之间的相对速度一般在10到100mm/sec的范围内。假设液滴速度约为5m/sec、喷墨头与衬底之间的间隔为1mm，那么喷出的液滴到达衬底所花的时间约为0.2毫秒。如果印刷头相对淀积衬底的横向速度为100mm/sec，就会在喷射点与衬底上的实际淀积点之间产生20μm的偏移。如果孤立考虑的话，该偏移对于喷墨印刷头的所有喷嘴而言都是规则和相等的。对于衬底是纸张的传统印刷(这是该技术的常规用法)而言，该偏移不成问题，这是因为整个印刷图像上的偏移都相同，而且在常规观察印刷数据图像时，纸张上印刷图像的微小位置偏移是辨别不出来的。
但是，对于印刷有机聚合物的装置而言，有机聚合物要溶解在相对易挥发的溶剂中，随着溶液从喷嘴喷出孔喷出，一些溶剂会产生蒸发。于是，在喷墨嘴的孔口周围形成聚合物材料的淀积物是很平常的。这些淀积物倾向于按照不均匀的方式形成，于是会在喷孔周围产生不规则的分布，从而在材料从印刷头喷嘴喷出时引起材料偏转。由于喷出的溶液的偏转，喷出的液滴的飞行角度总是不会相对衬底成垂直的飞行角度。这在衬底上淀积液滴的理想位置和实际位置之间产生了更远而且还不规则的偏移。此外，喷孔周围的淀积物在淀积过程中通常要变化，同样，于是在淀积液滴期间理想和实际淀积位置之间的偏移也会以不规律方式变化。因此，非常需要重复地监测液滴的淀积，以保证在装置制造过程中能维持所需的淀积精度。如果确认了未能维持淀积精度，就必需为喷墨头喷嘴清掉这些淀积物。喷墨头位置与淀积位置间的不规则偏移产生了与检查喷墨头喷嘴与堤结构中的池对准相关的其它问题。
喷墨头通常包括喷嘴阵列，这样当喷墨头在淀积区域上方平移时，能同时淀积出若干滴有机聚合物。但是，由于淀积物的形成本质上完全是随机的，喷头第一喷嘴的不规则偏移沿一个方向(与喷嘴的飞行轨迹相比，不形成任何淀积物)，例如这会引起喷出的液滴沿喷墨头前进的方向进一步行进，而喷墨头第二喷嘴上的淀积物例如会沿着与第一方向相反的方向产生偏移，即沿着与喷墨头的前进方向相反的方向产生偏移。按照上面所述的，就存在着由液滴的飞行时间和喷墨头的移动速度引起的规则偏移。例如，如果衬底相对喷墨头移动，由于堤结构中的目标池在液滴横穿喷墨头与衬底之间的间隙前已移过飞行轨迹接触点，因此液滴实际上会淀积到目标池的一侧。这就是上面所谓的规则偏移，这能在初始的光学对准过程中得到补偿。但是，如果规则偏移被淀积物引起的不规则偏移抵消了，并且如果是在淀积了液滴后才观察堤结构中的这个特定池，就会给出这样一个印象由于淀积液滴显得与它在堤结构中的目标池非常完美地对准，因此不存在对准问题，这种情况是由于可在淀积过程中变化的不规则偏移引起的。
但是，第二喷嘴的不规则偏移的方向与第一喷嘴的偏移方向相反。因此，在该第二种情况下，规则与不规则偏移将累加起来，从而让正从第二喷嘴喷出的液滴与它们在堤结构中的目标池之间的不对准达到不可接受的程度，但由于对第一液滴的对准检查已经表示出喷墨头与堤结构精确对准，因此不会注意到该不可接受的对准。在制造大型电致发光显示装置的过程中，因为要求在较长的时间内进行淀积，由此使可变偏移的可能性增加，所以这些不规则的偏移特别成问题。
如果衬底的尺寸相对较大，由于例如因淀积区域的环境条件变化引起的衬底热膨胀或收缩，就会进一步产生更多的不规则偏移。
由于喷墨头平移系统发生弯曲也会引起额外的可变偏移。正如从
图1所看到的，喷墨印刷头受通常水平布置的横梁支撑。作为物理结构，该横梁在重力作用下会略微弯曲。如图2所示，横梁的中心部分基本上维持它的水平布置，以便让由定位于中心位置A上的印刷头淀积出的液滴维持垂直于衬底的飞行轨迹A1。但是，随着印刷头从横梁的该中心部分平移开，例如平移到图2中所述的位置B上，它将不再受真正水平的横梁的支撑，这样该第二位置B上的飞行轨迹B1将不再垂直于衬底。于是，如果印刷头沿横梁移动Xcm，就会引起衬底上的淀积点变化X+α，其中α是由于横梁的略微弯曲引起的额外可变偏移量。即使在较小的衬底上也能发现该可变偏移量的存在，随着衬底变大，由于平移系统变长，偏移就变得更明显，这引起垂直于衬底的飞行轨迹的偏差增大。
所有上述偏移都会引起有机材料在堤结构的池内的最佳厚度的变化，按照上面所述的，这会导致显示图像的不均匀性，从而产生图像质量不可接受的显示器。
正如上面所提到的，堤材料的池图形可用于通过物理方式帮助淀积的聚合物材料对准。但是，聚合物材料只能淀积到每个池中一次，这些池最终要形成显示装置的有源象素。因此，如果不对准发展到不可接受的水平，也不可能将喷嘴重置在任何被认为有缺陷的堤结构的任何特定池上方，以便进一步向有缺陷的池中淀积聚合物材料液滴。因此，如果任何淀积出的聚合物材料液滴未能与它的对应池对准，就已经在衬底的一定区域上产生了有缺陷的聚合物材料池，该区域最后要提供最终显示装置的部分有源区域，从而让显示图像质量变差。
另外，还有相当大的困难与干燥时观察聚合物材料有关，通过以下描述将使它们变得更清楚。因此，非常需要在制造电致发光显示装置的过程中于淀积实际发生之时或在这之后立刻监测有机聚合物材料的淀积。这被称为“原位观察”。
但是，按照上面所述的，由于堤结构的池和淀积液滴都是圆形的，因此池中淀积液滴的原位观察还存在其它困难。
但是，有机聚合物材料只能淀积到堤结构的池中一次，因此如果进行了原位观察、并看到淀积出的液滴不能对准，那么也不能将喷墨头拉回未正确对准的池的上方来淀积更多的材料滴，以便对不对准进行校正。因此已知，可方便地使用独立的对准标记阵列检查原点对准和印刷过程中的液滴对准。如果设置了这种对准标记，就能更容易地实现原点对准，并能提高精度，此外，还能周期性地检查淀积精度，并能利用对准标记上任何看来要发生的不对准或检测为可能发生的不对准(例如一个对准标记与后面的对准标记上淀积的材料间的对准偏差倾向)向喷墨头位置提供补偿控制，并在达到在显示装置内产生缺陷象素的条件之前为不对准提供校正。
可沿要印刷的有源区域的边缘设置印刷过程中使用的这些对准阵列标记，任选的是，还可将它们可选择性地设置在要印刷的有源区域内。此外，对准标记具有特定形状，以让原位观察变得更容易。
依照本发明的第一方面，提供了一种利用喷墨印刷头选择性地将溶解或分散在溶液中的材料淀积到衬底的第一表面的第一区域上的方法，该方法还包括在衬底上提供对准标记阵列，当基本上与一个对准标记对准时，就由喷墨印刷头向衬底的第一表面淀积材料，从而提供一材料对准点，然后相对于对准标记检测该对准点。
有利的是，在材料淀积到衬底的第一表面上时观察材料的对准点。
优选的是，在材料从湿润状态变为干燥状态之前检测材料的对准点。
在本发明的优选方面中，将对准标记设置成对准标记矩阵阵列或线性阵列。优选的是，将对准标记设置为交叉形的对准标记。
在本发明的优选方式中，选择包括共轭聚合物的可溶物质。有利的是，用一定波长的光照射衬底的另一面，在观察处于湿润状态的可溶材料的对准点时，所述波长的光能让衬底基本上透明。
优选的是，照射衬底的另一面，以便能将可溶材料的对准点看作明场像。
当可溶材料包括共轭聚合物时，要选择波长大于共轭聚合物的吸收限波长的光。
在本发明的优选方式中，将对准标记设置成相对衬底具有光学对比度，但没有润湿性差异。
在本发明最优选的方面中，提供了一种利用依照本发明第一方面的方法制造电子、光电、光学或传感器装置的方法。
依照本发明的第二方面，提供了可用于依照本发明第一方面的方法中的衬底。
依照本发明的第三方面，提供了一种电子、光电、光学或传感装置，它们包括依照第二方面的衬底。
现在参照附图，仅以进一步举例的方式描述本发明，附图中图1是喷墨淀积机的示意性表示图，其中可直接观察可溶材料淀积到衬底上；图2表示由于图1所示机器的喷墨头平移系统发生弯曲而导致的可变偏移；图3表示带有池的堤图形的部分衬底的平面图，它表示干燥和新近淀积的聚合物材料液滴的例子；图4示意性地表示喷墨印刷头，它示出了喷出液滴的飞行轨迹偏差；图5表示包括依照本发明的对准标记的衬底的实施例；图6表示包括对准标记的衬底的可选择实施例；图7到9表示交叉形对准标记的实施例；图10表示衬底上处于湿润状态的聚合物材料滴；图11示意性地示出了明视场成像系统；图12表示看作明场像时的图10的液滴；图13表示衬底上处于干燥状态的聚合物材料滴；图14表示看作明场像时的图13的液滴；图15示意性地示出了暗视场成像系统；图16表示看作暗场像时的图10的液滴；图17表示看作暗场像时的图13的液滴；图18表示共轭聚合物材料的吸收和发光特性；图19表示共轭聚合物材料的部分聚合物链；图20示意性地表示共轭聚合物在入射辐射条件下的电子激发；图21表示图9所示聚合物链的氧化过程；图22表示看作明场像时淀积在图9所示对准标记上的液滴；图23表示电光装置的方框图；图24是结合了依照本发明制造的显示装置的移动式个人计算机的示意图；图25是结合了依照本发明制造的显示装置的移动电话的示意图；图26是结合了依照本发明制造的显示装置的数码照像机的示意图。
参照图1，喷墨淀积机1包括支撑着一对直立柱子4的基座2。柱子4支撑着横梁6，在该横梁上安装了支撑着喷墨印刷头10的运载装置8。基座2还支撑着台板12，在该台板上安装了衬底14。台板12借助计算机控制的机动支撑件16安装在基座2上，所述支撑件16能影响台板12相对喷墨印刷头按图1中的轴X和Y所示的横向和纵向移动。
依照本发明，基座2还支撑着电荷耦合装置(CCD)显微镜18，它布置在台板12下方，并略微偏移开台板，用以借助镜子20观察衬底14的底表面或下表面。同样，还可在台板12下方竖直地布置CCD显微镜，将它布置成能与台板12同步移动，从而避免了对镜子20的需求。任选的是，喷墨淀积机1还包括从基座2上安装的第二CCD显微镜22和频闪观测器24。运载装置8可沿横梁6移动，以便让喷墨头10位于CCD显微镜22和频闪观测器24之间的空间内，这样就能直接观察液滴从喷墨头10喷出。这就要根据需要喷到衬底14上的各种溶液和聚合物调整喷墨头10的驱动状态。当台板12的移动、以及衬底14相对喷墨头10的移动处于计算机控制之下，就能通过喷墨头10喷出适当材料将任意的图形印刷到衬底上。
图3表示部分衬底14的放大图。由图3可以看到，衬底14载有堤材料的池阵列26形式的预制图形，所述池要接收喷墨头10喷出的有机聚合物材料。在本领域采用堤图形是公知的，因此在本发明的上下文中不再对它作进一步描述。可以理解的是，为了让显示装置达到所需的分辨率，每个象素上构成发光二极管的光致发光有机聚合物必需非常精确地淀积到衬底14上。对于彩色显示器而言，由于必需将发出红、绿或兰光的聚合物材料的各点设置在显示器的每个象素上以提供彩色图像，因此尤其需要该精确淀积。一般而言，在这样的显示装置中，有机聚合物是共轭聚合物，它们例如包括F8/F8BT/TFB，其中F8是[聚19，9-二辛基芴]，F8BT是[聚9，9-二辛基芴-联-2，1，3-苯并噻二唑]，TFB是[聚19，9-二辛基芴-联-(4-丁基苯基)二苯胺]。
限定池26用的堤材料具有不湿润表面，而池26本身具备湿润表面。正如从图3所看到的，由此能让聚合物材料得到相对良好的限制和对准。但是，参照图3，喷墨印刷头10一般包括用于容纳要通过喷嘴30喷出的聚合物材料的储液槽28，所述喷嘴30一般具有直径大约为30微米的喷孔。按照上面所述的，对于电致发光显示装置的制造而言，要喷射的材料是溶解在诸如甲苯或二甲苯之类的适当溶剂中的有机聚合物。这些溶剂是相对挥发性的，要理解的是，喷出的液滴的体积非常小，其数量级一般为几个微微升。在喷射聚合物材料时，由于存在着溶液表面张力，一开始会在喷嘴30上会形成聚合物溶液的气泡。随着喷墨头内的压力升高，就会克服该表面张力，聚合物溶液的液滴与喷嘴分离，并从喷墨头上喷出来。在溶液气泡与喷嘴接触的同时，溶剂部分蒸发，从而让一些喷出的聚合物材料在喷嘴30的出口孔上形成淀积物32。淀积物32以不规则的方式形成，并让喷出的液滴34沿图3箭头所示的不垂直路径到达衬底，从而在实际和所需的淀积位置即池26之间产生偏差。喷墨头中经常会发生部分喷嘴30阻塞，这会将喷出液滴34的非垂直飞行轨迹的影响减到最小，淀积过程中喷墨头10保持尽可能靠近衬底14。但是，必需要维持印刷头与衬底之间的有限间隔，这会引起实际与目标淀积位置之间的偏差或偏移。另外，在大面积显示器的制造过程中，可卷绕的卷式柔性塑料板或柔性塑料特别方便。这些柔性塑料衬底可设置在刚性的平坦表面上，或被拉紧，以便为印刷头下进行的淀积提供一个平坦的衬底。任何情况下都能发现衬底发生变形，这种变形随衬底在印刷头下方的移动而变化。另外，该衬底的物理尺寸随温度和湿度之类的环境条件变化而改变。所有这些因素也会引起液滴的实际和目标淀积位置之间的偏差或偏移。
于是能够看到，非常需要监测向衬底上淀积有机聚合物材料液滴的过程。在液滴淀积到堤结构上之后，可通过利用适当的显微镜观察液滴来检查液滴被淀积的精度。还可周期性地从衬底的淀积侧观察淀积后的液滴。但是，喷墨头一般由喷嘴阵列构成。由于喷墨头和观察显微镜物镜的物理尺寸，在当前正被淀积的液滴与正被观察的液滴之间必然有一定间隔距离。在实际的液滴淀积与观察之间还存在着较大的时间延迟。这些液滴的体积非常小，它含有很高比例的挥发性溶剂。因此一旦被淀积出来，它们很快就会干燥。于是，总是在能够观察这些液滴以前，这些液滴已经达到干燥或相对干燥的状态了，于是很难在堤结构中将它们分辨出来，尤其在淀积材料透明时更是如此。
在对淀积到堤结构的池中的液滴进行观察的过程中还存在其它问题，即液滴在干燥时可移动。液滴一般由1％到5％体积的有机聚合物材料、剩余的95％到99％的溶剂构成。因此可以理解的是，一旦液滴达到干燥，实际留在衬底上的材料的体积要远小于实际淀积到衬底上的液滴的体积。剩余材料所占的面积也比淀积时液滴所占的面积小得多。如果衬底表面是均匀的，那么剩下作为干燥的有机聚合物滴的材料通常位于淀积时液滴所占区域的中心。但是，如果衬底表面包括不均匀点(这是很常见的情况，尤其对塑料衬底而言)，淀积液滴中的聚合物材料在干燥过程中就会受这样的不均匀点吸引。于是留在衬底上的干燥材料就会置于淀积时液滴在衬底上占据的区域的一侧或末端，或者大体留在中心，这取决于不均匀点的位置。此外，要对堤结构的材料进行选择，以便与淀积材料相比具有较高的润湿差异。提供该润湿差异可改善淀积液滴与堤结构中的池对准的精度，从而在衬底上达到它们所需的位置。但是，润湿性差异通过所需功能影响着淀积到堤结构上的液滴的位置。于是，对堤结构中干燥液滴的观察结果并不能真正代表淀积对准，这是因为，对于特定的淀积液滴而言，由于在实际淀积了液滴的位置上的上述影响，有机聚合物材料在干燥过程中可“移动”到与目标淀积位置精确对准。
还可能发生以下现象液滴的这种移动引起堤结构的目标池与部分干燥的淀积液滴之间不能重叠，该情况下让液滴与堤结构材料之间的润湿性差异不起作用，从而使液滴与堤结构中的池对准变得更困难。
人们建议通过暂时将喷墨头从正在淀积的区域上移开、然后将适当显微镜置于最后淀积的液滴上方来观察淀积到堤结构中的液滴。但是，已经证明该建议还是有问题的，这是因为在将显微镜移到观察位置之前，液滴干燥了，而且随着显示器尺寸的增大，确定衬底上最后淀积的液滴的位置也变得特别困难。这种情况的主要原因是不容易从衬底或堤结构材料中辨别出干燥的聚合物材料。
此外，重复地将喷墨头从淀积位置上移来移去是没有效果的，由于不存在对淀积的实时监测，所以不能使基于观察的反馈最佳化。
但是，正如上面所述的，只能向堤材料的每个池中淀积一次聚合物材料，因此即使淀积后的液滴看起来不能对准，也不能把喷墨头再拉回到未对准的池材料上方进一步淀积液滴以对未对准的地方进行补偿。
此外，通常利用实际向堤结构的池中淀积一滴或多滴液滴来实施原点对准。因为堤结构的池要用于形成显示器的实际象素，由于用于检查原点对准的池不能接着提供发光象素元件，因此各个池会让图像质量变差。基于该原因，用于确认原点对准的池的数量通常要保持最小量，但人们发现该少量池不足以充分检查原点的对准。另外，堤结构中的池和淀积液滴的形状都是圆形的，因此即使确认原点对准需要现场观察，试图观察圆形池中的圆形液滴的问题依旧显而易见。此外，堤结构材料的润湿性差异对淀积液滴产生很大影响，因此利用堤结构会产生错误的原点对准指示。
因此，本发明还实现了以下内容除了例如能产生显示器有源象素的池的堤图形外，还非常需要在衬底上形成对准标记阵列，这些对准标记可在原点对准过程和象素元件的印刷过程中选择性地用于监测聚合物材料的原位淀积，以及接着在将聚合物材料淀积到衬底上的堤材料的池图形内的过程中控制喷墨印刷头相对衬底的位置。
在本发明的优选方式中，如图5所示，衬底14设有两个对准标记阵列，例如位于或靠近衬底上的原点的密集矩阵阵列46和沿衬底边缘设置的对准标记48的线性阵列，在聚合物材料的实际淀积过程中能从衬底的底侧观察到这些标记。图5的线性阵列48是沿衬底的两边示出的，但等效的是，这些阵列可仅沿衬底的一边设置。与之类似，虽然仅示出了一个矩阵阵列46，但还可在衬底的其它位置设置类似矩阵阵列，例如可在或靠近衬底角落的地方或者沿衬底边缘周期性地设置这种矩阵阵列。于是对于塑料材料网板之类的大型衬底来说，可在衬底的间隔位置上设置若干这样的对准阵列。
人们发现矩阵阵列46对实现原点对准尤其有利，这是因为这些阵列能设置在衬底外部的角落区域上或者设置在衬底上用于提供显示装置的显示区域的那些区域之外的角落区域上。此外，如果阵列标记间隔开堤结构中池的间距的2到10倍，那么就容易利用原位观察检查原点对准了。对于沿衬底边缘设置的线性阵列而言，人们发现，由于可在整个印刷过程中通过将喷墨头移动很短距离以便使其与一个线性阵列对准标记对准来周期性地检查对准，因此这对于在实际聚合物点印刷中检查对准尤其有利，其中所述这些聚合物点最终用于形成显示装置的有源象素元件。还可在衬底上用于提供显示装置的显示区域的中心区域设置一个或多个线性阵列、例如图6所示的阵列49。
通过本发明人们发现，正如尺寸放大了的图7所示，交叉形对准标记尤其适合检查对准。通过利用交叉形的对准标记定位，参照位于交叉形对准标记靶心的十字形区域，能更为容易地检查淀积液滴的任何不希望的偏移。
为了进一步帮助该对准过程，如图8所示，交叉形标记的腿部50由锥形52构成，每个锥形的宽度在远端54和近端56之间减小。如图9所示，已经发现，具有三个腿部的交叉形标记特别有利，这是因为与具有四个腿部的对准标记相比，中心靶部分依旧明显，而且对从这三个腿部50开始上升的淀积液滴几乎没有拉力。
由图7到9能够看出，腿部50在标记中心周围沿圆周方向对称地间隔开。于是，对于图9所示的三腿标记而言，腿部沿圆周方向彼此间隔开120°的角度α。
图7到9的交叉形标记提供了可与圆形的淀积液滴相对照的区别形状。此外，腿部、尤其是图8和9所示的锥形形状的腿部，明显地引向标记中心，同时还在淀积液滴中提供了目视可识别的分区。这样使得标出淀积液滴与任何对准标记的不对准变得容易得多，尤其是在与利用堤结构的圆形池来检查淀积液滴的对准相比较时更是如此。
此外，不象堤结构那样，对准标记可设有能提供与淀积液滴相比具有较高光学对比度、但是湿润性低或无湿润性的材料。另外，由于能将对准标记设置成特定图案，例如所述的交叉形标记，因此能方便地将图像识别技术用于检查对准标记和用作对准点的淀积液滴。可采用任何适宜的识别技术，例如可扫描衬底上已知设置了对准标记的区域、将源自扫描过程的数据与存储器(例如喷墨机内设置的可编程ROM)内存储的数据相比较。这些技术是公知的，因此在本发明的内容中就不进一步描述了。但是，显而易见的是，与堤结构不同，由于对准标记具有可分辨的光学对比度，因此对于本发明而言，采用该图像识别技术具有特别的优点，在装置制造过程中该技术能显著地有助于自动检查对准精度。
在淀积的液滴处在介于淀积和达到其干燥状态之间的湿润状态时，对它进行检测要容易得多，但是在已经达到干燥状态以后再检测就变得非常困难，为了检查聚合物材料的淀积精度，还可以利用聚合物材料淀积液滴的这种特征，从而为本发明带来显著优点。
聚合物材料在淀积后迅速变成干燥状态，以及利用处于湿润状态的聚合物材料的这种特性，就能在原位、即在淀积该材料的同时方便地观察淀积出的材料液滴，以便最优地评价对准。
参照图3能更容易地理解与观察淀积聚合物材料相关的问题。如果聚合物材料已达到它的干燥状态，如图3中的液滴38所示，就很难在衬底上分辨出来。
但是，正如另外从图3中看到的，越是新淀积的液滴(即还没有从淀积时的湿润状态达到干燥状态的那些液滴)，分辨起来越容易。由该附图还可以看出，在新近淀积的两排液滴40、42中，最后淀积的液滴44最明显，其可见度随淀积以来的时间的增加而降低。
人们还发现该观察淀积液滴的方式有助于对准精度的检查。已知的是，通过利用适当的成像系统能将对象看成“明视场”或“暗视场”图像。
图10表示衬底上处于湿润状态的聚合物材料的液滴Dw。如果通过图11所示的明场像光学装置从衬底下侧观察湿润液滴Dw，那么来自成像光源的光线就进入液滴。那些与液滴的中心轴不重合的光线经历内部反射。但是，在液滴的中心轴区域内，液滴的上表面基本上与衬底平行。于是，那些通过液滴中心轴附近的光线能够通过该中心轴区域内的上表面从液滴中射出。因此如图12所示，在观察液滴时，它们显现为与暗淡的圆底区域相对照的非常亮的斑点，它的周围是明视场背景。位于图像中心的亮斑点基本上与液滴的中心轴重合。因此可利用该明场像的有益效果确定已淀积的液滴的精度。
图13表示一旦达到干燥状态的液滴，表示为DD。可以看出，已假设半球形的湿润液滴Dw的形状为相对平坦的薄盘形。如果采用玻璃衬底或者折射率与玻璃类似的塑料衬底，干燥液滴的折射率基本上与衬底材料的折射率相同。该情况下发生轻微的光线散射，从而仅在液滴边缘产生很小的对比度，这很难分辨。但是，如果下部结构和淀积材料的相应折射率不同，并且如果采用图12所示的明视场成像系统观察干燥液滴DD，光线就会穿过液滴，而且在液滴的远边经历反射。反射后的光线彼此干涉，从而产生各种颜色的干涉环，所述颜色取决于液滴厚度。在图14中示意性地示出了这种图像。在所观察的图像中该图像被表示为有彼此融合倾向的彩色干涉环。因此辨析出所观察图像的陡峭轮廓是比较困难的。通过图12所示湿润液滴的明场像和图14所示干燥液滴的明场像之间的比较容易看出，利用图12所示的图像检查淀积液滴的对准比利用图14所示的图像要容易得多。
图15表示暗视场成像系统，如果利用该系统观察图10所示的湿润液滴Dw，来自光源的光进入液滴，并在材料的湿润液滴内经历反射。某些光在液滴边缘会发生散射，于是湿润液滴显现为亮的，但被很好地限定成与暗色背景相对照的同心圆，该同心圆有一个暗色中心。由于很好地限定出了亮环，因此利用图16所示的图像检查淀积液滴的对准要比利用图14所示的干燥液滴的明场像有利得多。
如果利用图15所示的暗视场成像系统观察图13所示的干燥液滴DD，液滴上的绝大多数光冲击就会被散射，并穿过成像透镜视场外部。因此干燥后的液滴DD相对暗背景显现为非常淡的圆形图像，该图像很难观察到，也不能用于检查液滴对准。
由上述干燥和湿润液滴的明视场和暗场像可以理解的是，如果在淀积液滴仍处于湿润状态的同时原位观察该液滴，就能得到显著而且意料不到的好处。原位观察可利用图1所示的装置来实施。但是，在图1中观察时，有机聚合物材料是淀积在衬底的上表面上的，于是，对于原位观察来说必需通过衬底观察聚合物材料的淀积。如果用光照射衬底，就能让液滴观察变得更简单一些。由于要通过衬底观察材料，因此第一要求是让衬底在用于观察的光的波长上是透明的。当衬底是玻璃或透明塑料时，可以采用可见光或更长波长的光辐射。当衬底由硅制成时，就要求使用红外光，它的波长长于1.1微米。
对于原位观察通过喷墨技术印刷的共轭聚合物而言，还有第二个考虑事项。在图18中示出了共轭聚合物的吸收光和发光特性。从图18可以看出，吸收和反射特性有重叠区域。共轭聚合物将吸收入射到聚合物上的、波长小于λ1的光达到不同的程度。在图18中将其表示为吸收区。共轭聚合物仅对波长大于λ1的入射光是透明的，在图18中将其表示成透明区。
图19示出了共轭聚合物链，沿该聚合物链存在着不定域的π键轨道电子。这些电子与聚合物中还存在的西格马(∑)键电子相比，前者的能带隙较窄。如果共轭聚合物吸收紫外(UV)或可见光，如图20所示，π键电子就会从π键轨道(主态)激发到π*反键轨道(激发态)。相对于原子间的π键而言，激发态比主态更不稳定。如果氧原子出现并发生了这种激发，π键就会被破坏，在环境气氛中的氧原子与共轭聚合物的碳原子之间发生某种键合，从而产生图21所示的光氧化聚合物链。当共轭聚合物的环境气氛中有氧原子、并且暴露给共轭聚合物的光具有共轭聚合物吸收区中的成分、即图18所示的波长小于λ1的成分时，就能发生这种键合。
氧和碳原子的键合让共轭聚合物退化，从而让LED中的发光效率降低，并让有机薄膜晶体管(TFT)的电荷移动性降低。避免该聚合物退化的一项选择是在不含氧的气氛中印刷共轭聚合物。这需要将图1所示的装置设置在这样的腔室中能够小心地控制腔室内的环境气氛，以保证不存在氧。但是，这会增加工艺复杂性，另外还会增加制造成本。因此更为现实的建议是将用于原位观察的光的波长控制在共轭聚合物的透明区内，即图18所示的大于λ1的波长。
在制造多彩色显示器时，发红光的聚合物的能带隙最窄(对于吸收限λ1而言，波长最长)。该情况下，用于液滴淀积原位观察的成像系统的光不应当包括波长比发红光聚合物的吸收限波长更短的光谱成分。另外，CCD显微镜的硅检测器的灵敏度随着所用光的波长增加而降低，当入射光的波长约为1.1μm时，它就变成透明的了。人们发现，对于电荷耦合装置(CCD)而言，波长约为900nm的光仍旧能提供可接受的灵敏度。因此，对于多彩色显示器而言，应当采用波长约在600-900nm范围内的深红或红外光，以避免光氧化，并由此防止发红光的聚合物退化。
于是，如果在淀积液滴达到干燥状态之前对这些液滴进行原位观察，就能很容易地看到淀积液滴与堤结构内的池之间的偏移。此外，由于能在整个淀积循环的持续期内监测淀积材料中的潜在偏移，因此就能很迅速地检测到任何落在容许极限范围之外的偏差增加量，并可通过计算机控制的机动支架16提供台板与喷墨头之间的适当位置补偿。
另外，如果将明视场成像系统用于原位观察，位于明场像中心的亮斑很容易辨别。因此，如果使用明视场成像观察淀积液滴，明亮的中心斑相对于交叉形对准标记的中心部分的位置就变得非常明显，这有利于对准检查。另外，因为对准标记、特别是用于原点对准检查的矩阵阵列46的那部分对准标记能有利地间隔开高达淀积液滴直径的10倍的距离，因此可将腿部设置得相对薄，但是其长度要略大于淀积液滴的预期半径。在采用原位观察时，这会产生图22所示的明视场，从而让对准检查变得更简单。
再回来参照图1，使用过程中要为喷墨头10提供适当的要淀积的聚合物材料的供应。在要淀积聚合物材料的衬底区域内，衬底14优选包括池阵列26，该衬底刚性地安装在台板12上。台板12通过计算机控制的机动支撑件16沿X和Y轴移动，并以光学方式达到θ对准。然后选择性地将喷墨头置于矩阵阵列46中的一个上方，将聚合物材料淀积到矩阵阵列的对准标记上以检查原点对准。然后将喷墨头置于堤结构的池上方，通过喷墨印刷头10喷出聚合物材料，形成显示器的象素元件。在形成有源象素元件的过程中，在计算机控制下定期将台板12移到一定位置，以便让线性阵列46之一的对准标记46基本上对准喷墨头10的喷嘴30下方。例如，每当将聚合物材料淀积到预定行数的池26中时就会进行一次这样的移动。通过CCD显微镜18从衬底12的下侧借助镜子20观察喷出的液滴淀积到对准标记。由于是在达到干燥状态以前对淀积的液滴进行原位观察，并因为采用了特定形状的对准标记，因此能更容易地看到淀积液滴与对准标记之间的任何偏差。此外，由于要在淀积周期的整个持续期内对淀积材料中的潜在偏差进行监测，因此能迅速检测到落在容许极限之外或达到容许极限的偏差增量，并可通过计算机控制的机动支撑件16实现台板与喷墨头之间的适当位置补偿。由此就可将制造出偏差不可接受的有源象素元件的几率降至最小。
通过以上淀积的描述可以理解的是，聚合物材料淀积到衬底的上或第一表面上，但是要从与上表面相对的衬底下表面观察实际淀积。衬底包括玻璃或透明塑料材料，这意味着可以使用可见光观察淀积。同样，衬底可包括硅或其它不透明衬底，该情况下要利用波长能让衬底透明的光照射衬底，例如对硅衬底要采用红外光辐射，以便能通过该不同的不透明衬底原位观察淀积。
图23是表示利用本发明的方法或装置制造的结合了电-光元件(例如作为电-光装置优选例子的有机电致发光元件)的有源矩阵型显示装置(或仪器)以及寻址方案的方框图。在该图所示的显示装置200中，多根扫描线“gate”、多根沿着与扫描线“ gate”延伸的方向交叉的方向延伸的数据线“sig”，多根基本上平行于数据线“sig”延伸的公共电源线“com”、以及多个在衬底上方形成的、位于数据线“sig”和扫描线“gate”的交点上的象素201。
每个象素201都包括第一TFT202，在其中通过扫描栅极向栅电极提供扫描信号；保存电容器“cap”，它保存着由数据线“sig”经第一TFT202提供的图像信号；第二TFT203，其中将保存电容器“cap”保存的图像信号供应栅电极(第二栅电极)；以及电致发光元件(表示成电阻)之类的电-光元件204，当元件204通过第二TFT203与公共电源线“com”电连接时，驱动电流从公共电源线“com”流到这些电-光元件中。扫描线“gate”与第一驱动电路205相连，数据线“sig”与第二驱动电路206相连。第一电路205和第二电路206中至少有一个电路优选设置在衬底上方，在它们上方形成了第一TFT202和第二TFT203。依照本发明的方法制造的TFT阵列优选应用到第一TFT202和第二TFT203阵列、第一驱动电路205和第二驱动电路206中的至少一个上。
于是本发明可用于制造显示器和要结合到多种类型的设备中去的其它装置，这些设备例如移动显示器(例如移动电话)、便携式个人电脑、DVD唱机、照像机、野外设备；例如台式计算机、CCTV(工业电视)或者相册之类的便携式显示器；例如汽车或者航空器仪器面板之类的仪器面板；或者例如控制室设备显示器之类的工业显示器。换句话说，根据上面所举的例子，可将按照上述方式应用了通过依照本发明的方法制造的TFT阵列的电-光装置或显示器结合到多种设备中。
现在对采用了依照本发明制造的电-光显示装置的各种电子设备进行描述。
<1移动式计算机>
现在描述将依照上面的一个实施例制造的显示装置用于移动式个人计算机的例子。
图24是表示该个人计算机的结构的等距视图。该图中，个人计算机1100设有包括键盘1102的主体1104和显示单元1106。依照上面所述，显示单元1106是利用依照本发明的图形形成方法制造的显示面板来实现的。
<2移动式电话>
下面要描述将显示装置用于移动式电话的显示部分的例子。图25是表示移动式电话的结构的等距视图。该图中，移动式电话1200设有多个操作按键1202、听筒1204、话筒1206、和显示面板100。按照上面所述，该显示面板100是利用依照本发明的方法制造的显示装置来实现的。
<3数字静态照像机>
下面描述利用OEL显示装置作为寻象器的数字静态照像机。图26是简要表示数字静态照像机的结构及其与外部设备的连接的等距视图。
典型的照像机采用具有光敏涂层的敏感膜，它通过引起光敏涂层的化学变化记录物体的光学图像，而数字静态照像机1300是通过例如采用电荷耦合装置(CCD)对物体的光学图像进行光电转换从而产生成像信号。数字静态照像机1300在机壳1302的背面设有OEL元件100，用以基于来自CCD的成像信号进行显示。于是，显示面板100用在显示物体的寻象器。在机壳1302的前侧(附图后面)设有包括光学透镜和CCD的光接收单元1304。
当摄影师确定了OEL元件面板100上显示的对象图像并释放快门时，就会将来自CCD的图像信号传送并存储到电路板1308的存储器中。在数字静态照像机1300中，在机壳1302的一侧设置了用于数据通信的视频信号输出端子1312和输入/输出端子1314。如图所示，如果必要的话，就要分别将电视监视器1430和个人计算机1440与视频信号端子1312和输入/输出端子1314连接起来。电路板1308的存储器中存储的成像信号通过给定的操作输出给电视监视器1430和个人计算机1440。
除了图24所示的个人计算机、图25所示的移动式电话和图26所示的数字静态照像机之外，电子设备的例子还包括OEL元件电视机、录相器类型和监视类型的磁带录像机、汽车导航和仪表系统、寻呼机、电子笔记本、便携式计算器、文字处理器、工作站、TV电话、电子收款机系统(POS)端子、以及设有触摸板的装置。当然，利用本发明的方法制造的OEL装置不仅可用于这些电子装置的显示部分，而且还可用于结合了显示部分的任何其它形式的装置。
此外，依照本发明制造的显示装置还适合屏幕型的大型电视，这种电视非常薄、柔韧、质量轻。因此可将这种大型电视粘或挂到墙上。如果需要，在不用时可将该柔性的电视方便地卷起来。
利用本发明的技术还可制造印刷电路板。传统的印刷电路板是通过光刻和刻蚀技术来制造的，这增加了制造成本，虽然与其它的微电子装置(例如IC芯片或者无源装置)相比，前者更为划算。为了实现高密度封装，还需要高分辨率的布线图形。利用本发明能容易而且可靠地获得电路板上的高分辨率的连接线。
利用本发明还可提供彩色显示用途的滤色器。含染料或颜料的液滴能被精确地淀积到衬底的选定区域上。因为液滴彼此靠得非常近，因此要频繁使用矩阵格式。因此能够证明原位观察是非常方便的。液滴中的染料或颜料干燥后用作滤光层。
利用本发明还可提供DNA传感器阵列芯片。含不同DNA的溶液被淀积到由芯片提供的微小间隙隔开的接收位置阵列上。
在留在本发明范围内的同时，能对上述实施例做许多改进。例如，已经将对准标记描述成位于要淀积聚合物材料的衬底的上表面或第一表面上。但是，还可将对准标记设置在衬底的下表面或底表面上。
此外，已经示出了对准标记位于要淀积聚合物材料的区域36的外部，其中所述区域36用于提供显示装置的有源象素。但是，还可将对准标记设置在要形成有源象素的区域的选定位置上，例如对准标记的线性阵列沿着一边间隔开，而且它们要位于区域36内。可在形成堤结构的过程中将对准标记设置到衬底上。
此外，虽然相对于从衬底下侧观察对准标记的方式描述了本发明，但也可以从衬底上侧观察对准标记。
从喷墨头中淀积出材料可利用具有单个喷嘴或具有喷嘴阵列的喷墨头来实施。
此外，在提供对准标记的矩阵阵列、并为衬底设置堤结构时，可将对准阵列的对准点的间隔设置成是堤结构的池之间的间隔的n倍，其中n是整数。当采用具有喷嘴阵列的喷墨头时，对准标记矩阵的间隔可制成对应于喷嘴的间隔，这样就能同时检查多个或所有喷嘴的淀积性能。
权利要求
1.一种利用喷墨印刷头选择性地将溶解或分散在溶液中的材料淀积到衬底第一表面的第一区域上的方法，该方法还包括在衬底上设置对准标记阵列，在基本上与一个对准标记对准时，由该喷墨印刷头向衬底的第一表面淀积材料，由此提供出材料的对准点，然后相对于对准标记检测对准点。
2.根据权利要求1所述的方法，其中通过与第一表面相反的另一衬底表面检测对准点。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其中在所述材料从湿润状态变为干燥状态以前检测材料的对准点。
4.根据权利要求3所述的方法，其中在材料淀积到衬底的第一表面上时检测材料的对准点。
5.根据前述任一项权利要求所述的方法，其中对准标记阵列设置在第一区域之外的其它衬底区域上。
6.根据前述任一项权利要求所述的方法，其中在衬底的第一区域内设置另一对准标记阵列。
7.根据前述任一项权利要求所述的方法，其中将对准标记设置成交叉形对准标记。
8.根据权利要求7所述的方法，其中将每个交叉形标记选择成包括多个径向延伸的腿部，这些腿部沿圆周方向对称布置。
9.根据权利要求7或8所述的方法，其中将交叉形对准标记选择成包括三或四个腿部。
10.根据前述任一项权利要求所述的方法，其中将对准标记阵列选择成包括线性对准标记阵列，该线性对准标记阵列沿衬底的至少一边间隔开。
11.根据权利要求1到9中任一项所述的方法，其中将对准标记阵列选择成包括对准标记的矩阵阵列。
12.根据权利要求1到9中任一项所述的方法，其中将对准标记的阵列选择成包括一个或多个沿衬底的至少一边间隔开的线性对准标记阵列以及一个和多个对准标记的矩阵阵列。
13.根据前述权任一项利要求所述的方法，包括在衬底的第一区域内设置包括池阵列的带图案的结构，用以接收材料。
14.根据权利要求13所述的方法，其中对喷墨头进行选择，使其包括多喷嘴喷墨头，选择喷嘴间的间隔，使其与带图案的结构的池之间的间隔对应。
15.根据权利要求12或14、或者根据从属于权利要求11时的权利要求13所述的方法，其中要选择矩阵阵列，以便让矩阵阵列的对准标记之间的间隔是带图案的结构的池之间间隔的n倍，其中n是整数。
16.根据前述任一项权利要求所述的方法，其中在将材料淀积到衬底的第一区域的过程中，通过喷墨头周期性地设置材料的对准点。
17.根据前述任一项权利要求所述的方法，其中对衬底进行选择，使其包括玻璃、硅或塑料材料构成的刚性衬底。
18.根据权利要求1到16中任一项所述的方法，其中要将衬底选择成包括柔性塑料材料。
19.根据前述任一项权利要求所述的方法，包括选择含共轭聚合物的材料。
20.根据前述任一项权利要求所述的方法，它包括在观察材料的对准点时，利用波长能让衬底基本透明的光照射衬底表面。
21.根据权利要求20所述的方法，包括照射衬底表面，以便能将材料的对准点看作明场像。
22.根据从属于权利要求19时的权利要求20或根据权利要求21所述的方法，其中对光进行选择，使其波长大于共轭聚合物的吸收限波长。
23.根据前述任一项权利要求所述的方法，包括提供对准标记或标记，将对准标记或标记设置成相对衬底具有光学对比度，但没有润湿性差异。
24.根据前述任一项权利要求所述的方法，包括利用图像识别技术相对对准标记检测对准点。
25.一种制造显示装置的方法，包括利用前述任一项权利要求所述的方法制造发光元件。
26.一种用于权利要求1到23中任一项所述的方法中的衬底。
27.一种包括权利要求26所述的衬底的电子、光电、光学或传感装置。
全文摘要
本发明提供了一种利用喷墨印刷头将有机聚合物之类的可溶材料淀积到衬底上的方法和装置。衬底设有对准标记阵列，当基本上与一个对准标记对准时就淀积材料溶液，从而提供材料溶液的对准点。在淀积出的材料溶液干燥之前对对准点进行观察。利用交叉形对准标记有利于观察对准点的位置。
文档编号H01L51/50GK1513214SQ02810917
公开日2004年7月14日 申请日期2002年9月9日 优先权日2001年9月10日
发明者川濑健夫, C·纽索姆, 髂 申请人:精工爱普生株式会社