基于四连杆机构的可溶性固着软质磨料抛光装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种研磨抛光盘，尤其涉及基于四连杆机构的可溶性固着软质磨 料抛光装置。
【背景技术】
[0002] 抛光技术一直都是超精密加工最主要的一种方法，是降低表面粗糙度、去除损伤 层，获得光滑、无损伤表面的终加工手段。目前先进陶瓷加工领域所采用的传统游离磨料抛 光存在加工效率低、磨粒浪费严重、抛光液处理成本高以及环境污染严重等问题，如何解决 以上问题，实现先进陶瓷器件高质量、高效、绿色的抛光已经成为超精密加工领域的一项重 要的课题。
[0003] -种可溶性固着软质磨料抛光薄膜，采用一种可溶性高分子材料作为软质微细磨 料的结合剂，将多层粒径按一定比例分布的软质微细磨料涂覆于弹性的薄膜衬底上，形成 抛光薄膜的软质磨料层。采用此抛光膜加工时，需要抛光液不断的喷洒在抛光膜上，抛光液 除了冷却外还起到溶解结合剂的作用，让完成抛光工作的锐度不够的磨料脱落，露出下层 新的锐度好的磨料实现磨料的自更新。但是由于抛光液受到抛光盘转动时产生的离心力作 用，始终会有抛光液向抛光盘外围移动，这样就导致抛光液在整个抛光盘上的分布不均匀， 即抛光盘靠近圆心处的抛光液少而抛光盘外围处的抛光液多，从而导致在抛光过程上，可 溶性抛光盘外围的磨料更新的速度快于靠近圆心部分，这样就导致整个抛光盘磨损不一， 即外围低于中心，影响了抛光的质量。
[0004] 为了解决这一问题，提出了一种改变抛光液喷洒持续时间即抛光液在中心地带喷 洒时间久而在外围地带喷洒时间短，从而使得抛光液在抛光盘上的分布趋于均匀保证抛光 薄膜磨耗均匀，保证抛光质量的方法。 【实用新型内容】
[0005] 为了防止均匀喷洒溶解结合剂而出现抛光盘变形从而影响抛光效果，本实用新型 提出了一种基于四连杆机构的可溶性固着软质磨料抛光装置，该装置实现抛光液在中心地 带的喷洒时间大于在边缘地带的喷洒时间。
[0006] 为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：基于四连杆机构的可溶性固 着软质磨料抛光装置，包括抛光盘、转动电机、四连杆摆动装置、冷却液喷头、冷却液喷洒装 置，所述转动电机与冷却液喷洒装置安装在抛光盘同一侧方，转动电机通过联轴器与四连 杆摆动装置的一端连接，四连杆摆动装置的另一端通过深沟球轴承与冷却液喷洒装置连 接，所述冷却液喷头连接在四连杆摆动装置的主运动端，所述冷却液喷头与冷却液喷洒装 置通过导管连接；所述四连杆摆动装置和冷却液喷头悬停在抛光盘上方，四连杆摆动装置 带动冷却液喷头在抛光盘上方摆动，并且摆动平面平行于抛光盘。
[0007] 进一步的，所述四连杆摆动装置包括转动杆、摆杆和连杆，所述连杆与摆杆之间、 转动杆与连杆之间均有深沟球轴承连接，保证连杆顺畅摆动，所述转动杆通过联轴器连接 转动电机，所述摆杆通过深沟球轴承连接冷却液喷洒装置。
[0008] 进一步的，所述转动电机通过联轴器与转动杆连接，当转动电机转动时带动转动 杆做圆周转动，从而驱动整个四连杆摆动装置在与抛光盘抛光面平行的平面内运动；所述 转动杆的具体转动速度根据实际需要调整。
[0009] 进一步的，所述冷却液喷洒装置包括冷却液喷头、导管和冷却液喷洒机构，所述冷 却液喷头安装在摆杆的端点处，所述冷却液喷头通过导管连接冷却液喷洒机构，当四连杆 机构的连杆以及摆杆摆动时，带动冷却液喷头在抛光盘上运动，所述冷却液喷头的运动轨 迹即为摆杆端点的摆动轨迹。
[0010] 进一步的，所述抛光盘上附着可溶性固着软质磨料抛光膜。
[0011] 进一步的，所述冷却液喷洒机构由冷却液储存罐、压缩机、导管构成。导管连接所 述冷却液喷头，压缩机连通冷却液储存罐；当压缩机开通时，把冷却液压入导管，通过冷却 液喷头喷洒冷却液。
[0012] 与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：结构简单紧凑，生产成本低，利用四 连杆机构改变抛光液喷洒持续时间，保证了抛光液在中心地带喷洒时间久而在外围地带喷 洒时间短，从而使得抛光液在抛光盘上的分布趋于均匀保证抛光薄膜磨耗均匀，保证抛光 质量。
【附图说明】
[0013] 图1是本实用新型结构示意图的剖面图。
[0014] 图2是本实用新型结构示意图的俯视图。
[0015] 图3是本实用新型四连杆机构部分的速度矢量图。
【具体实施方式】
[0016] 为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合【具体实施方式】 并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要 限制本实用新型的范围。
[0017] 结合图1、图2和图3,基于四连杆机构的可溶性固着软质磨料抛光装置，包括抛光 盘1、转动电机10、四连杆摆动装置、冷却液喷头9、冷却液喷洒装置。转动电机10与冷却液 喷洒装置安装在抛光盘同一侧方，转动电机10通过联轴器2与四连杆摆动装置连接，四连 杆摆动装置通过深沟球轴承6与冷却液喷洒装置连接，四连杆机构上安装有冷却液喷头9， 冷却液喷头9与冷却液喷洒装置连接。冷却液喷头9和四连杆摆动装置悬停在抛光盘1上 方，四连杆摆动装置带动冷却液喷头9在抛光盘1上方摆动，所述摆动平面平行于抛光盘。
[0018] 四连杆摆动装置与在抛光盘1抛光面平行放置，包括转动杆3、摆杆5以及连杆4， 连杆4与摆杆5之间、转动杆3与连杆4之间均有深沟球轴承6连接，保证连杆摆动顺畅。 转动杆3通过联轴器2与转动电机连接，转动杆3四连杆摆动装置的驱动杆，转动杆3在转 动电机10的驱动作用下做圆周运动。摆杆5通过深沟球轴承6与冷却液喷洒装置固接。
[0019] 转动电机10通过联轴器2与转动杆3连接，当转动电机10转动时带动转动杆3做 圆周转动，从而驱动整个四连杆摆动装置在与抛光盘1抛光面平行的平面内运动；转动杆3 的具体转动速度根据实际需要调整。
[0020] 冷却液碰头9安装在四连杆摆动装置的主运动端即摆杆5的端点处，并通过导管 11与冷却液喷洒机构连接，当四连杆机构的连杆4以及摆杆5摆动时，带动冷却液喷头9在 抛光盘1上运动，其运动轨迹即为摆杆5端点的摆动轨迹。因此，在设计时需按实