专利名称：半导体基板的金属线再蚀刻方法
技术领域：
本发明涉及一种半导体蚀刻方法，并尤其涉及一种当蚀刻制 程中断后欲恢复此蚀刻制程时，能够保护金属层不受到底切现象 影响的再蚀刻方法。
背景技术：
在半导体的制造程序当中，微影与蚀刻制程对于线路图案的
定义是非常重要的。然而随着半导体制程技术的演进，各制程的 特征尺寸逐渐縮小，因此半导体中的导线线宽也随之越来越窄。
以金属导线的形成为例，典型的作法是先形成一金属层，接 着在此金属层上形成一光阻层。利用一具有预定图形的光罩针对 此光阻层进行曝光、显影等步骤，使得光阻层中遭受到曝光与未 遭受曝光区域的化学性质产生变化，而对后续的蚀刻制程有不同 的耐受性。接着则利用蚀刻化学物质以将特定区域的光阻以及其 下的金属层移除，而留下预定图形的光阻与金属线。在蚀刻的过 程当中，先前形成的窄导线经常受到等向性蚀刻的影响而产生底
切(undercut)的现象，严重的话甚至会导致导线断路的结果，因此 对于半导体制程的优良率有极大的影响。
此外，蚀刻制程的进行有可能因为许多因素而被中断，例如 人为操作的疏失、制程机具的不稳定(例如电源不稳定、反应室 压力不稳定、气体流量不稳定等)、以及意外灾害(例如地震、火 灾或停电等)。 一般而言，蚀刻制程若被中断，典型的作法就是恢
复制程条件并继续进行蚀刻制程。然而由于在制程中断之前，蚀 刻进度可能己经穿透光阻层而到达金属层并形成岛状结构，此时 金属层会露出未被光阻层所覆盖的侧壁结构，若在中断之后直接 恢复进行蚀刻制程，则此时在金属层侧壁非常容易受到等向性蚀 刻的影响而发生底切的现象，如图1所示。并且，当金属线的线 宽越窄的时候，只要发生轻微的底切就足以导致金属线的损坏， 造成产品优良率的大幅降低。
因此，需要一种能够在蚀刻制程中断之后、重新开始之前， 针对金属线结构形成保护以避免底切情形的方法。
发明内容
为了解决上述问题，本发明提供一种半导体基板的金属线再 蚀刻方法，此半导体基板位于一反应室中，此半导体基板包括有 一金属层以及位于此金属层之上的一光阻层，此光阻层经过曝光 显影，且此光阻层与此金属层经过一蚀刻步骤而停止，此反应室 中还包括一电浆反应器，此方法包括于此反应室中通入一第一 混合气体，以一第一时间进行一气体稳定步骤；将此电浆反应器 激活一第二时间以进行一钝化步骤；以及于此反应室中通入一第 二混合气体，并进行再蚀刻。
本发明还提供了一种半导体基板的金属线再蚀刻方法，此半 导体基板位于一反应室中，此半导体基板包括有一金属层以及位 于此金属层之上的一光阻层，此光阻层经过曝光显影，且此光阻 层与此金属层经过一蚀刻步骤而停止，此反应室中还包括一电浆 反应器，此方法包括于此反应室中通入一包括有氯气与三氟甲 垸之第一混合气体，以一第一时间进行一气体稳定步骤；将此电 浆反应器激活一第二时间以进行一钝化步骤；以及于此反应室中
通入一包括有至少一含氯气体与与含氟气体的第二混合气体，并 进行再蚀刻；其中，此金属层是由铝或铝铜所构成。
本发明的主要目的，在于利用本发明的方法，在蚀刻制程经 过中断之后、再次激活之前，以特定比例的含氯气体与含氟气体 的混合气体配方，配合电浆点燃而在先前蚀刻制程所暴露出的金 属侧壁处形成高分子保护膜，而防止金属侧壁受到等向性蚀刻所 形成的底切作用。
以下详细说明本发明的结构与方法。本发明内容所说明的并 非在于定义本发明。本发明由权利要求书所定义。举本发明的实 施例、特征、目的及优点等将可透过下列说明书的内容及附图获 得充分了解。
图1A至1C是示出了公知再蚀刻方法形成底切现象的示意图。
图2A至2C是示出了本发明再蚀刻方法避免底切现象的示意图。
图3A至3B为电子显微影像，示出了公知再蚀刻方法与本发 明再蚀刻方法所形成的金属线的差异。
具休实施方式
请先参阅图1A至1C，它们示出了一公知蚀刻制程中断后重 新进行蚀刻的过程。在图1A中示出了一基板10，其上依序沉积 有金属层12、以及光阻层14，并经过微影制程而定义了待蚀刻部 分。接着在图1B中进行蚀刻制程，而蚀刻出预定形状的沟渠16，
并因为如地震停电等事件而暂停。接着重新进行蚀刻制程后，则 在金属层12形成了底切的凹口 18。可以想见的是，当金属线的线
宽非常窄，例如在0.12微米以下的时候，此种底切现象将会对于
半导体组件的性能与稳定性产生相当负面的影响，严重时甚至会 造成组件的毁损。
接着请参见图2A至2C，此乃本发明一较佳实施例的示意图。 在图2A中，基板20之上的金属层22以及光阻层24已先经过微 影步骤，并在蚀刻反应室中进行蚀刻，而本实施例中的金属层为 铝铜，因此蚀刻在以一第一配方压力10mTorr、能源功率500W、 偏压功率90W、氯气70 sccm、氯化硼50 sccm、三氟甲烷6 sccm、 氮气6sccm、氦气6托耳下，进行反应性离子蚀刻20秒。在本实 施例中，此蚀刻制程在进行了 IO秒时因故中断了，因此形成了一 沟槽26，其结构如图2A所示。
接着请参见图2B，在恢复蚀刻制程之前，与先前技艺不同之 处在于，本发明先以下述的二步骤对于金属层22形成保护
步骤一气体稳定阶段。此时以一第二配方氯气(Cl2) 80
sccm、三氟甲烷(CHF;O 10 sccm、氦气10 Torr的混合气体，送入 蚀刻室中30秒，使得蚀刻室中的各气体含量达到稳定。
步骤二高分子生成阶段。接着，以一第三配方氯气(Cl2)80
sccm、三氟甲烷(CHF3) 10 sccm、氦气10 Torr的混合气体，在蚀 刻室之压力为12 mTorr、能源功率为800W、偏压功率为40W的 条件下，开启电浆反应器约5秒。借助于本发明的再蚀刻气体配 方，此条件下将会在图2A中的结构之上，形成一高分子薄膜27。 此高分子薄膜27将会在稍后重新激活的蚀刻制程中，保护金属层 22的外露部分不会受到蚀刻的严重影响。
在保护步骤完成之后，先以下列第四配方氯气70sccm、氯 f七石朋50 sccm、三氟甲烷6 sccm、氮气6 sccm、氦气6 Torr、反应 室压力为10mTorr、能源功率500W、偏压功率90W，进行10秒 钟的反应性离子蚀刻(亦即原先应进行20秒的反应性离子蚀刻步 骤，在进行了 IO秒之后就停止了，因此仍须进行10秒)之后， 再以下列第五配方氯气60sccm、氯化硼20sccm、三氟甲烷IO sccm、氮气10 sccm、氦气6 Torr、反应室压力为5 mTorr、能源 功率400 W、偏压功率150W，进行反应性离子蚀刻30秒钟，完 成蚀刻步骤。脱除光阻后的金属层，如第2C图所示，其中金属层 的侧壁28并未形成底切现象。
在本实施例中，通过图3A与图3B的比较，将更能了解本发 明的优点。首先请参见图3A，其为公知金属线蚀刻步骤中断之后， 未使用本发明的再蚀刻步骤就直接恢复蚀刻制程后，金属线的电 子显微影像。图中可见，在金属层30的底部形成了严重的底切凹 口 32。而图3B则是在一金属线蚀刻制程中断之后，使用了本发 明的再蚀刻方法之后所得到的金属线电子显微影像。图中可见， 金属层34的侧壁36相当平整，完全没有底切现象的发生，显示 本发明的再蚀刻方法确实能够在蚀刻中断后重新继续蚀刻制程 时，有效防止底切现象的发生。
需要注意的是，本发明的再蚀刻方法的保护步骤的配方中， 重要的是氯气与三氟甲烷的流量比例。经过本发明人的实验调整 后发现，氯气比三氟甲烷的比例在6: 1至10: l之间时，能够最 有效地产生高分子薄膜，进而在后续蚀刻步骤中保护金属层。虽 然本发明较佳实施例中的金属层为铝铜，然而铝、铜、氮化钛等 金属层，均可运用本发明的方法并微调各步骤的蚀刻配方，而得 到相同的效果。本发明的再烛刻方法中，气体稳定阶段的持续时
间并无特别限制，较佳为20至40秒之间；高分子生成阶段的持
续时间并无特别限制，较佳为2至8秒之间。
虽然本发明已参照较佳实施例来加以描述，将为人所了解的 是，本发明申请并未受限于其详细描述内容。替换方式及修改样
式已于先前描述中所建议，并且其它替换方式及修改样式将为本 领域技术人员所知。特别是，根据本发明的结构与方法，所有具 有实质上相同于本发明的构件结合而达成与本发明实质上相同结 果者不脱离本发明的精神范畴。因此，所有此等替换方式及修改 样式处于在本发明于权利要求书及其均等物所界定的范畴之中。 任何在前文中提及的本专利申请以及文本，均列为本发明专利申 请的参考。
主要附图标记说明
10基板
12金属层
14光阻层
16沟渠
18底切凹口
20基板
22金属层
24光阻层
26沟渠
27高分子薄膜
28侧壁
30，34金属层
32底切凹口
36侧壁
权利要求
1.一种半导体基板的金属线再蚀刻方法，该半导体基板位于一反应室中，该半导体基板包括有一金属层以及位于该金属层之上的一光阻层，该光阻层经过曝光显影，且该光阻层与该金属层经过一蚀刻步骤而停止，该反应室中还包括一电浆反应器，该方法包括在该反应室中通入一第一混合气体，以一第一时间进行一气体稳定步骤；将该电浆反应器激活一第二时间以进行一钝化步骤；以及在该反应室中通入一第二混合气体，并进行再蚀刻。
2. 根据权利要求l所述的方法，其特征在于，该金属层为铝 或铝铜。
3. 根据权利要求2所述的方法，其特征在于，该第一混合 气体包括一含氯气体与一含氟气体。
4. 根据权利要求3所述的方法，其特征在于，该第一混合 气体包括氯气与三氟甲烷u
5. 根据权利要求4所述的方法，其特征在于，该第一混合 气体中的该氯气与该三氟甲烷的含量比为6~10: 1。
6. 根据权利要求2所述的方法，其特征在于，该第二混合 气体包括至少一含氯气体以及一含氟气体。
7. 根据权利要求6所述的方法，其特征在于，该第二混合 气体包括氯气、氯化硼、以及三氟甲垸。
8. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，该第一时间 介于20至40秒之间。
9. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，该第二时间 介于2至8秒之间。
10. —种半导体基板的金属线再蚀刻方法，该半导体基板位 于一反应室中，该半导体基板包括有一金属层以及位于该金属层 之上的一光阻层，该光阻层经过曝光显影，且该光阻层与该金属 层经过一蚀刻步骤而停止，该反应室中还包括一电浆反应器，该方法包括在该反应室中通入一包括有氯气与三氟甲垸的第一混合气体，以一第一时间进行一气体稳定步骤；将该电浆反应器激活一第二时间以进行一钝化步骤；以及在该反应室中通入一包括有至少一含氯气体与与含氟气体 的第二混合气体，并进行再蚀刻；其中，该金属层是由铝或铝铜所构成。
11. 根据权利要求10所述的方法，其特征在于，该第一混 合气体中，该氯气与该三氟甲烷的含量比为6~10: 1。
12. 根据权利要求10所述的方法，其特征在于，该第二混 合气体包括氯气、氯化硼、以及三氟甲烷。
13. 根据权利要求10所述的方法，其特征在于，该第一时 间介于20至40秒之间。
14. 根据权利要求10所述的方法，其特征在于，该第二时 间介于2至8秒之间。
全文摘要
本发明涉及一种半导体基板的金属线再蚀刻方法，此半导体基板位于一反应室中，此半导体基板包括有一金属层以及位于此金属层之上的一光阻层，此光阻层经过曝光显影，且此光阻层与此金属层经过一蚀刻步骤而停止，此反应室中还包括一电浆反应器，此方法包括在此反应室中通入一第一混合气体，以一第一时间进行一气体稳定步骤；将此电浆反应器激活一第二时间以进行一钝化步骤；以及在此反应室中通入一第二混合气体，并进行再蚀刻。
文档编号H01L21/02GK101192535SQ20061016309
公开日2008年6月4日 申请日期2006年11月30日 优先权日2006年11月30日
发明者许汉辉 申请人:旺宏电子股份有限公司