干蚀刻方法
【专利摘要】本发明的干蚀刻方法的特征在于，其在形成于基板上的、具有硅层和绝缘层层叠而成的层状结构的层叠膜中，对于出现于在与基板面垂直的方向上形成的孔或槽的内侧面的硅层，使用蚀刻气体进行蚀刻时，作为蚀刻气体，使用含有选自ClF3、BrF5、BrF3、IF7、IF5中的至少一种气体和F2的气体。由此，能够抑制硅层的干蚀刻深度的不均匀化。
【专利说明】干蚀刻方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及形成于基板上的立体性三维结构元件的硅层的干蚀刻。
【背景技术】
[0002]半导体元件的高集成化逐年进展。迄今为止，为了增加集成度，需要增加单位表面积集成的半导体元件的个数，因此用于使电路线宽变细的微细加工技术得到进展。但是，若元件的微细化过度进展则误动作增加得到指摘。
[0003]因此，近年尝试开发相对于基板面不仅向着平行方向、而且向着垂直方向排列元件的三维结构半导体元件(专利文献1)。不仅如以往那样，相对于基板面在平行方向上形成元件，而且在单晶硅等基板面上交替形成几层硅电极和绝缘体的膜，通过反应性离子蚀刻等各向异性工艺形成许多贯通所得到的层叠膜的20~200nm程度的微细的孔或槽，进而，对出现于前述孔或槽的内侧面的特定层(例如硅电极层)的形状进行加工，由此形成相对于基板面也向着垂直方向排列半导体元件而成的立体性三维结构元件。例如报告了在大容量存储器BiCS的制造中，通过BiCS存储器孔蚀刻，将对于Si电极层和氧化硅绝缘层贯通的孔进行等离子体蚀刻的方法(非专利文献1)。
[0004]为了对出现于前述孔或槽的内侧面的特定层进行加工以赋予作为电容器、晶体管的功能性，需要进行蚀刻处理。作为这种蚀刻处理，采用使用具有与该特定层的选择性的反应特性的化学溶液来去除的湿式蚀刻法、使用具有与该特定层的选择性反应特性的气体来去除的干蚀刻法。
[0005]通过干蚀刻法将出现于微细的孔的内侧面的硅层蚀刻时，需要对于基板面在平行方向上进行蚀刻，因此使用能够进行各向同性蚀刻的ClF3、XeF2气体(非专利文献2)。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1:日本特开2010-225694号公报
[0009]非专利文献
[0010]非专利文献1:市川尚志、東芝 > 匕.^ 一 (Toshiba Review) > vol.66, N0.5 (2011)
[0011]非专利文献2:Gregory T.A.Kovacs, Proceedings of the IEEE, vol.86 (8),ppl536-1551, 1998
【发明内容】
[0012]发明要解决的问题
[0013]非专利文献I中所示的现有的三维结构半导体元件的制造中，通过蚀刻处理进行形状加工的多层特定层存在于前述孔内或槽内的不同深度，因此孔径或槽的宽度越微细则每层被蚀刻的特定层的蚀刻深度越不均、对于孔或槽的深度方向得不到蚀刻深度的均匀性(以下称为“蚀刻深度的均匀性”)的倾向越高，这成为引起元件性能变差的原因之一。
[0014]因此，对于出现于前述孔或槽的内侧面的特定层的蚀刻处理而言，期待蚀刻深度不依赖于前述孔或槽的深度方向的蚀刻方法。
[0015]本发明的目的在于，提供在作为出现于前述孔或槽的内侧面的特定层的硅层的蚀刻中，能够抑制对于前述孔或槽的深度方向的蚀刻深度的不均匀化的蚀刻方法。
[0016]用于解决问题的方案
[0017]本发明人等进行了深入地研究，结果发现，通过使用在选自C1F3、BrF5, BrF3> IF7,IF5中的至少一种气体中混合F2而成的气体作为蚀刻气体，能够对于前述孔或槽内的深度方向、抑制出现于前述孔或槽的内侧面的硅层的蚀刻深度的不均匀化，从而完成了本发明。
[0018]S卩，本发明提供一种干蚀刻方法，其特征在于，其为在形成于基板上的、具有硅层和绝缘层层叠而成的层状结构的层叠膜中，对于出现于在与基板面垂直的方向上形成的孔或槽的内侧面的硅层，使用蚀刻气体进行蚀刻的干蚀刻方法，作为蚀刻气体，使用含有选自C1F3、BrF5, BrF3> IF7, IF5中的至少一种气体和F2的气体。
[0019]前述蚀刻气体中含有的ClF3、BrF5、BrF3、IF7、IF5或F2的分压优选分别为IPa以上且2000Pa以下。前述蚀刻气体中可以还含有选自N2、He、Ar中的至少一种气体。另外，优选使前述蚀刻气体与温度为_30°C以上且100°C以下的基板接触。
[0020]在形成于基板上的、具有硅层和绝缘层层叠而成的层状结构的层叠膜中，对于出现于在与基板面垂直的方向上形成的孔或槽的内侧面的硅层，通过本发明的干蚀刻方法进行蚀刻处理，由此能够抑制相对于该孔或槽的深度方向的硅层的蚀刻深度的不均匀化。
【专利附图】
【附图说明】
[0021]图1为蚀刻反应装置的系统示意图。
[0022]图2为蚀刻前的试样的截面示意图。
[0023]图3为放大蚀刻后的试样的凹部的截面示意图。
【具体实施方式】
[0024]成为本发明中的干蚀刻方法的处理对象是，形成于基板上的、具有硅层和绝缘层层叠而成的层状结构的层叠膜中，出现于在与基板面垂直的方向上形成的孔或槽的内侧面的娃层。
[0025]作为硅层，可列举出由非晶硅膜、多晶硅膜、单晶硅膜等形成的硅层。
[0026]作为绝缘膜，可列举出由氧化硅膜、氮化硅膜、氮化钛膜等形成的绝缘膜。
[0027]本发明提供的干蚀刻方法中，作为蚀刻气体，使用含有选自C1F3、BrF5, BrF3> IF7,IF5中的至少一种卤间化合物和F2的气体。将该蚀刻气体导入到内部设置有基板的反应腔内，使该蚀刻气体与形成于该基板上的孔或槽接触。
[0028]进行接触的蚀刻气体中的C1F3、BrF5, BrF3、IF7, IF5, F2的分压优选分别为IPa以上且2000Pa以下，进而为5Pa以上且IOOOPa以下由于关于蚀刻深度的均匀性得到更高的效果而特别优选。
[0029]上述蚀刻气体中，除了 ClF3、BrF5、BrF3、IF7、IF5、F2之夕卜，还可以含有选自N2、He、Ar中的至少一种稀释气体。对所含有的N2、He、Ar的分压没有特别限定，若考虑到通常的反应腔的气密性，则优选不形成蚀刻气体的总压超过大气压的条件。
[0030]对于蚀刻气体中含有的气体成分，可以分别独立地导入到反应腔内，另外也可以预先以混合气体形式调整后再导入到反应腔内。
[0031]使上述蚀刻气体与上述硅层接触时的基板温度优选为-30°C以上且100°C以下，更优选为_20°C以上且80°C以下，进一步优选为0°C以上且50°C以下，在关于蚀刻深度的均匀性得到更高的效果和更大的蚀刻速度上特别优选。
[0032]对于基板的蚀刻对象面的单位面积的上述蚀刻气体中含有的含有F原子的气体成分的总流量，将分子中的F原子数换算为F2时，优选为0.3sccm/cm2以上。若不足
0.3sccm/cm2则蚀刻深度的均匀性有可能变差。若为0.3sccm/cm2以上则蚀刻深度的均匀性良好，但是从蚀刻气体的消耗效率的观点考虑，优选为2000sCCm/Cm2以下。
[0033]形成于基板上的三维结构的半导体元件中，通过反应性离子蚀刻等方法在与基板面垂直的方向上形成的孔的直径或槽的宽度为IOnm以上且500nm以下的程度。出现于所形成的孔的内表面的硅层和绝缘层的层叠结构发挥作为电容器、晶体管的功能，由此能够形成集成密度更高的半导体元件。
[0034]蚀刻时间若考虑到元件制造工艺的效率则优选为30分钟以内。在此，蚀刻时间指的是，向进行蚀刻处理的内部设置有基板的工艺腔的内部导入蚀刻气体，然后直至为了结束该蚀刻处理而将该工艺腔内的蚀刻气体通过真空泵等排气为止的时间。
[0035]对硅层的蚀刻深度没有特别限定，但是在三维结构的半导体元件的形成中，为了使接下来的成膜工序中的工艺特性良好，优选为5nm以上且90nm以下。另外，各层的蚀刻深度对于孔或槽的深度方向的不均越小则元件特性越良好。
[0036]实施例
[0037][实施例1?32]
[0038]图1为蚀刻试验中使用的蚀刻装置的系统示意图。反应腔I具备用于支承试样7的工作台(stage)5。工作台5具备能够调整工作台的温度的工作台温度调整器6。反应腔I与用于导入气体的气体配管41及用于气体排气的气体配管42连接。卤间化合物供给系统21、F2供给系统22、稀释气体供给系统23分别介由阀31、阀32、阀33与气体配管41连接。真空泵8为了气体排气而介由阀33与气体配管42连接。反应腔I内部的压力基于反应腔I附设的压力计(图中省略)的指示值通过阀33控制。
[0039]图2为本试验中使用的试样7的截面的不意图。关于试样7,在20mm见方(基板表面积4cm2)、板厚0.1mm的形状的娃基板11上形成30nm氮化娃膜12,进而在其上氧化娃膜9和多晶硅膜10分别以30nm的厚度交替总计成膜16层而得到层叠膜，在层叠膜以基板面垂直方向形成规定直径D的孔13直至氮化硅膜12为止。孔13以纵横400nm间隔均等地形成在硅基板面上。
[0040]接着对蚀刻操作方法进行说明，在工作台5上设置试样7，将反应腔I和气体配管41、42真空置换直至不足IOPa后，将工作台5的温度设定为规定值。确认工作台5的温度达到规定值后，打开阀31、32、33，由卤间化合物供给系统21、F2供给系统22、稀释气体供给系统23分别供给规定流量的气体，由此由气体配管41将蚀刻气体导入到反应腔I。另外，通过将蚀刻气体中含有的卤间化合物、F2、稀释气体的流量比和反应腔I内部的压力设定为规定值，从而使蚀刻气体中含有的卤间化合物、F2、稀释气体分别达到目标的分压。此时，由蚀刻气体总流量、各分压、和试样7的基板表面积，换算为F2来算出该基板的蚀刻对象面的单位面积的蚀刻气体中含有的含有F原子的气体成分的总流量。[0041]导入蚀刻气体后经过规定时间(蚀刻时间)后,停止蚀刻气体的导入,将反应腔I内部真空置换后，取出试样7并对孔的截面形状进行SEM观察。
[0042]对于本试验中的硅的蚀刻的形态，对同一孔内的16层的壁面的各多晶硅层的蚀刻深度t通过截面SEM进行测定，求出该蚀刻深度t的平均值tA和标准偏差。，求出σ /tA，由此评价对于孔的深度方向的蚀刻深度的均匀性。
[0043]多晶硅层的蚀刻深度t如以截面示意性地表示处于孔13的侧面中的多晶硅层的蚀刻后的状态的图3所示。多晶硅层上下被氧化硅膜9夹持、层叠多晶硅膜10来形成，通过蚀刻，孔13的侧面的多晶硅层的部分形成凹状。此时，作为孔的侧面的未被蚀刻的面的氧化硅膜9的层的面(相当于与蚀刻前的多晶硅膜10的层的面相同的位置)与凹陷的多晶硅膜10的层的面的距离为蚀刻深度t。
[0044]实施例1?32中的蚀刻条件及其结果如表I所示。
[0045]实施例1?5中，在基板温度为20°C，使用ClF3作为卤间化合物，使用N2作为稀释气体,F2的分压固定于IOPa的条件下，将(:1&和队的分压以及蚀刻时间改变为表I中记载的值来进行蚀刻试验。试样的孔13的直径D为lOOnm，蚀刻气体的总流量为5000sccm。
[0046]实施例6?9中，在基板温度为20°C，使用ClF3作为卤间化合物，使用N2作为稀释气体，ClF3的分压固定于IOPa的条件下，将F2和N2的分压以及蚀刻时间改变为表I中记载的值来进行蚀刻试验。试样的孔13的直径D为lOOnm，蚀刻气体的总流量为5000sccm。
[0047]实施例10?14中，使用ClF3作为卤间化合物，使用N2作为稀释气体，ClF3和F2的分压分别固定于10Pa，N2的分压固定于980Pa，蚀刻气体的总压固定于IOOOPa的条件下，将基板温度和蚀刻时间改变为表I中记载的值来进行蚀刻试验。试样的孔13的直径D为IOOnm,蚀刻气体的总流量为5000sccm。
[0048]实施例15?19中，在基板温度为20°C，蚀刻时间为3分钟，使用BrF3、BrF5, IF5,正7、或ClF3与IF7的混合气体作为卤间化合物，使用N2作为稀释气体，BrF3、BrF5、IF5, IF7,ClF3的各分压和F2的分压分别固定于IOPa的条件下，将N2的分压改变为表I中记载的值来进行蚀刻试验。试样的孔13的直径D为lOOnm，蚀刻气体的总流量为5000sccm。
[0049]实施例20、21中，在基板温度为20°C，蚀刻时间为3分钟，使用ClF3作为卤间化合物，ClF3和F2的分压分别固定于lOPa，蚀刻气体的总压固定于4990Pa的条件下，将稀释气体改变为Ar或He来进行蚀刻试验。试样的孔13的直径D为lOOnm，蚀刻气体的总流量为5000sccmo
[0050]实施例22、23中，在基板温度为20°C，蚀刻时间为3分钟，使用ClF3作为卤间化合物，使用N2作为稀释气体，ClF3和F2的分压分别固定于lOPa，蚀刻气体的总压固定于IOOOPa的条件下，将试样的孔13的直径D改变为30nm或200nm来进行蚀刻试验。蚀刻气体的总流量为5000sccm。
[0051]实施例24?26中，在基板温度为20°C，使用ClF3作为卤间化合物，使用N2作为稀释气体，ClF3和F2的分压分别固定于IOPa的条件下，将稀释气体的分压和蚀刻时间改变为表I中记载的值来进行蚀刻试验。试样的孔13的直径D为lOOnm，蚀刻气体的总流量为5000sccmo
[0052]实施例27中，使ClF3的压力为0.5Pa，除此之外在与实施例2相同的条件下进行蚀刻试验。[0053]实施例28中，使F2的压力为0.5Pa，除此之外在与实施例6相同的条件下进行蚀刻试验。
[0054]实施例29中，不使用稀释气体、使蚀刻时间为I分钟，除此之外在与实施例1相同的条件下进行蚀刻试验。
[0055]实施例30中，通过使稀释气体N2的分压为1000OOPa来使蚀刻气体中含有的含F原子的气体成分的总流量的F2换算值为0.3sccm/cm2,使蚀刻时间为20分钟，除此之外在与实施例1相同的条件下进行蚀刻试验。
[0056]实施例31中，通过使蚀刻气体的总流量为lOOOOsccm来使蚀刻气体中含有的含F原子的气体成分的总流量的F2换算值为3387.5sccm/cm2,除此之外在与实施例4相同的条件下进行蚀刻试验。
[0057]实施例32中，通过使蚀刻气体的总流量为30000sccm来使蚀刻气体中含有的含F原子的气体成分的总流量的F2换算值为10162.5sccm/cm2,除此之外在与实施例4相同的条件下进行蚀刻试验。
[0058]其结果，实施例之间，平均蚀刻深度tA不同，但是任意一实施例中，σ /tA都为20%以内，蚀刻深度的均匀性都良好。
[0059][表 I]
[0060]
【权利要求】
1.一种干蚀刻方法，其特征在于，其为在形成于基板上的、具有硅层和绝缘层层叠而成的层状结构的层叠膜中，对于出现于在与基板面垂直的方向上形成的孔或槽的内侧面的硅层，使用蚀刻气体进行蚀刻的干蚀刻方法，作为蚀刻气体，使用含有选自C1F3、BrF5, BrF3>IF7, IF5中的至少一种气体和F2的气体。
2.根据权利要求1所述的干蚀刻方法，其特征在于，蚀刻气体中含有的C1F3、BrF5,BrF3> IF7, IF5或F2的分压分别为IPa以上且2000Pa以下。
3.根据权利要求1或2中任一项所述的干蚀刻方法，其特征在于，所述蚀刻气体中还含有选自N2、He、Ar中的至少一种气体。
4.根据权利要求1?3中任一项所述的干蚀刻方法，其特征在于，使所述蚀刻气体与温度为-30°C以上且100°C以下的基板接触。
【文档编号】H01L21/302GK103782369SQ201280043758
【公开日】2014年5月7日 申请日期:2012年8月8日 优先权日:2011年9月7日
【发明者】梅崎智典, 毛利勇 申请人:中央硝子株式会社