专利名称：加热器底座的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种底座，且特别涉及一种加热器底座。
背景技术：
在工业生产过程中，机台正常运行时间的稳定和提高对整条生产线的运行 有至关重要的意义，对工程师而言就是要尽量减少停机次数和时间，以节约维 护的成本。
半导体工业中使硅氧化物沉积在晶片的表面的工艺一般是:反应气体在 400。C的高温下通过HF/RF (高频13. 56MHz )作用，使硅氧化物沉积在晶片的表 面，将晶片平放在燃烧室的加热器表面，反应气体由喷头喷射到晶片的表面，在 喷头和加热器之间形成电场的作用下，气体吸附在晶片表面发生反应，从而把 薄膜沉积在晶片的表面。
晶片表面淀积的薄膜的质量是否达到制程要求且保持稳定品质与作用在燃 烧室里面的HF/RF能量的稳定性有很大的相关性，因此就需要机台很好的控制 作用在晶片上的HF/RF能量。在高频发生器工作正常的情况下就要求整个HF/RF 路径必须接地良好；如果整个路径中金属导线的连接头接触不好且有击穿，就 会导致HF/RF反射能量升高，使得作用在晶片表面的HF/RF能量不稳定，这可 能导致薄膜的厚度发生变化，从而影响制程品质的稳定性。
半导体工业生产中常见的燃烧室的加热器，加热器底座与机台的外壳接触， 加热器的地线与加热器的金属底座相连。这里发生的问题就是在地线和加热器 的底座的连接上，请参考图l和图2，图l是现有技术的结构示意图，图2是图 l水平方向的剖面图，从图l中可以看到，底座主体33上分布第一插孔11、第 二插孔12和第三插孔13，所述底座33为金属材料，所述第二插孔和所述第三 插孔的内侧壁为绝缘体，加热器的第一火线放置于第二插孔内12，第二火线》文 置于第三插孔13内，所迷第一火线和第二火线均用绝缘材料22和所述底座隔开，而加热器的地线插在第一插孔ll内，直接和底座33接触。因为加热器在 设计上的缺陷，导致地线与金属底座接触不够完好。由于整个加热器的表面材 料是陶瓷，地线插入加热器的金属底座里直接与金属底座接触，且加热器是通 过金属底座固定在机台上与机台的外壳接触。且加热器是通过金属底座固定在 机台上与机台的外壳接触。如果地线与金属底座接触不是非常密合，那么在长 时间的HF/RF的侵蚀下会不断的产生局部范围的击穿，导致地线和加热器底座 的接触面形成导电性性不良的氧化膜，因此高频电流在经过此接触电阻比较高 的点时，部分能量就消耗在此处，如果还有不定期的击穿发生在此处，那么表 现在燃烧室里面的现象就是HF/RF反射能量不稳定，生产出来的薄膜就会有问 题，在这种情况下，只能选择更换新的加热器，而加热器的价格昂贵，增加了 企业的运行成本。
实用新型内容
为了克服现有技术中存在的加热器地线和金属底座接触不良的问题，本实 用新型提供一种能确保地线和底座紧密接触的装置。
为解决上述技术问题，本实用新型提出一种加热器底座，包括底座主体， 其上分布第一插孔、第二插孔和第三插孔，其特征在于在所述底座主体的侧面 开螺丝孔，所述螺丝孔和所述第一插孔导通，所述螺丝孔中放置螺丝。
可选的，所述底座主体为金属材料。
可选的，所述第二插孔和所述第三插孔的内侧壁为绝^彖体。 可选的，所述螺丝为无头的内六角螺丝。 可选的，所述底座为圆柱体结构或长方体结构。 可选的，所述第一插孔、第二插孔和第三插孔平行放置。 可选的，所述螺丝孔和所述第一插孔相互垂直。
与现有技术的加热器底座相比，本实用新型通过在底座主体的侧面开螺丝 孔，通过螺丝将地线固定在底座上，确保了电线和底座的紧密接触，避免了地 线和加热器底座的基础面形成导电性不良的氧化膜，从而延长了加热器的使用 寿命，为企业节约了开支。
图l是现有技术的结构示意图2是图1水平方向的剖面图3是本发明加热器底座的结构示意图4是图3水平方向的剖面图。
具体实施方式
以下结合图3和图4以及具体实施方式
对本实用新型的加热器底座作进一 步的详细说明。
'首先，请参考图3,图3是本发明加热器底座的结构示意图，图4是图3水 平方向的剖面图， 一种加热器底座，包括底座主体331，所述底座主体331的材 料为金属，所述底座主体331为圆柱体或长方体，用来承放其上的装置，底座 主体331上分布有第一插孔120、第二插孔221和第三插孔231，所述第一插孔 120、第二插孔221和第三插孔231平行放置，在插孔中可以插入用作火线或者 地线的电线，其中第二插孔221和第三插孔231的内侧壁为绝缘体，因此插入 第二插孔221和第三插孔231的电线是和底座主体331不导通的。第一插孔120 的内侧壁没有绝缘体，因此，第一插孔120 —般就是用来放入和底座主体331 相导通的电线的，在所述底座主体331的側面开螺丝孔411，所述螺丝孔411和 所述第一插孔120导通，所述螺丝孔中放置螺丝431，所述螺丝431为无头的内 六角螺丝，所述螺丝孔411和所述第一插孔120相互垂直，朝第一插孔120的 方向拧螺丝431,使得螺丝431紧紧的将第一插孔120中的电线压在第一插孔 120的内壁上。
当加热器作为燃烧室的加热器时，同时也是燃烧室的电场的阳极，它是整 个燃烧室最为关键的部位之一，将本发明一种底座作为加热器的底座，如图所 示，首先将螺丝往远离第一插孔120的方向拧，将加热器的第一加热线121插 入第二插孔221,将第二加热线131插入第三插孔231中，而将地线111插入第 一插孔120，待地线lll插好后，将螺丝孔411中的螺丝431朝第一插孔120的 方向拧螺丝431，使得螺丝431紧紧的将第一插孔120中的地线111压在第一插 孔120的内壁上，此时，地线111与加热器金属底座主体331直接接触，避免了地线和加热器底座的基础面形成导电性不良的氧化膜，从而延长了加热器的 使用寿命。
虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型。 本实用新型所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范 围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本实用新型的保护范围当视权利要求 书所界定者为准。
权利要求1.一种加热器底座，包括底座主体，其上分布第一插孔、第二插孔和第三插孔，其特征在于在所述底座主体的侧面开螺丝孔，所述螺丝孔和所述第一插孔导通，所述螺丝孔中放置螺丝。
2. 根据权矛f要求1所述一种加热器底座，其特征在于所述底座主体为金属 材料。
3. 根据权利要求1所述一种加热器底座，其特征在于所述第二插孔和所述 第三插孔的内侧壁为绝缘体。
4. 根据权利要求l所述一种加热器底座，其特征在于所述螺丝为无头的内 六角螺丝。
5. 根据权利要求1所述一种加热器底座，其特征在于所述底座为圆柱体结 构或长方体结构。
6. 根据权利要求1所述一种加热器底座，其特征在于所述第一插孔、第二 插孔和第三插孔平行放置。
7. 根据权利要求1所述一种加热器底座，其特征在于所述螺丝孔和所述第 一插孔相互垂直。
专利摘要本实用新型提供一种加热器底座，包括底座主体，其上分布第一插孔、第二插孔和第三插孔，其特征在于在所述底座主体的侧面开螺丝孔，所述螺丝孔和所述第一插孔导通，所述螺丝孔中放置螺丝，本实用新型加热器底座结构简单，能很好的解决了加热器接地不良的问题，保证了整个机器的良好运行。
文档编号H01L21/316GK201321491SQ200820156368
公开日2009年10月7日 申请日期2008年12月1日 优先权日2008年12月1日
发明者吴军海, 吴新江 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司