专利名称：制造包括部件的层的制作方法
技术领域：
本发明涉及制造包含部件的层的方法。
例如，当制造多层电路板或其它类似的电子模块时，制造包含部件的 层。特别地，本发明涉及的方法设法制造包含一个或多个通过在电子模块 中制造的导体结构电连接到层外部电路、或彼此电连接的部件。在本文中， 这样的层成为电路板层。
专利公开US 6,489,685公开了一种方法，其中部件在制造电路板期 间放置在电路板内部。在本方法中，在支撑基底的顶部制造导体图案，部 件连接到制造的导体图案上。在此之后，在其表面上可以具有用作电路板 基础材料的附加导体图案层的绝缘层，形成在导体图案和部件的顶部。在 产生绝缘层后，支撑基底从结构脱离。
专利公开US 6,038,133不仅仅公开了与上述类似的方法，而且公开了 第二种方法，其中部件在电路板生产期间放置在电路板内部。在第二方法 中，使用导电粘结剂把部件附着到铜箔上，且在这之后，在铜箔和部件的 顶部形成用作电路板的基础材料的绝缘层。在形成绝缘层后，导体图案由 铜箔形成。
禾拥导电粘结剂制造的接触的电性能不是特别好，因此专利公开US 6,489,685禾B US 6,038,133公开的方法不适用于许多例如电性能起决定 性的应用。
本发明想要建立一种在包括导体图案的基底表面上制造电路板层的 新方法。具体地，该新方法能够制造对于接触块或部件的其它接触区域是 可靠的且具有高质量电学性能的接触。
本发明基于把要制造的电路板的部件连接到导体层，在此阶段导体层 还未被构图以形成导体图案层。通过部件面对基底表面且部件位于绝缘材 料内部的方式，导体层相对于基底表面对准且利用绝缘材料连接到基底表 面。通过在部件接触区域的位置处形成接触开口且在接触开口中形成导体 材料的方式，在部件的接触区域和导体图案层之间形成电接触。优选使用化学和/或电化学金属化方法制造导体材料。之后，构图导体层以形成导 体图案层，以及在导体图案层和基底表面的导体图案之间形成必要的通 孔。
更具体地，在权利要求l的特征部分阐述了根据本发明方法的特征。 通过本发明得到了相当多的优点。
使用根据本发明的方法，可以在电路板或其它电子模块表面上添加需 要数量的电路板层。使用根据本发明的方法，电路板层也可以添加到包括 导体图案的其它表面上。
使用根据本发明的方法，可以制造与接触块或部件的其它接触区域接 触的高质量和高可靠性的电接触。这基于当制造接触时，可以使用例如在 电路板工业中己知且可靠的一些微通孔方法的事实。可以例如以例如在金 属生长在接触开口中之后，借助于激光或等离子体首先清洗接触区域，使 用化学和/或电化学金属化方法的方式制造接触。
在下文中，将利用示例和参考
本发明。
图1示出了在本发明的一个实施例中在电路板层的制造中用作初始 材料的导体膜。
图2示出了根据一个实施例的中间阶段，其中局部粘结剂层添加到图 1的导体层的顶部。
图3示出了根据一个实施例的中间阶段，其中部件粘结到图2的粘结剂层。
图4示出了将图3上下翻转的工件。
图5示出了根据一个实施例的中间阶段，其中图4的工件将要利用绝 缘材料层连接到基底表面。
图6示出了根据一个实施例的中间阶段，其中图4的工件利用绝缘材 料层连接到基底表面。
图7示出了根据一个实施例的中间阶段，其中除去了导体层的支撑层 且其中形成接触开口以形成与部件接触的接触和形成用于通孔的孔。
图8示出了根据一个实施例的中间阶段，其中在图7的接触开口、通 孔和导体层的顶上形成导体材料。
图9示出了根据一个实施例的工件，其中构图在图8中示出的工件表
6面上的导体层以形成导体图案层。
图IO示出了根据一个实施例的电子模块，其中在基底表面上彼此的 顶部上形成了三个电路板层。
在根据实施例的方法中，可以从例如可以是金属层的裸导体层4开始
制造。铜箔(Cu)是适用于制造导体层4的一种材料。如果选择用于工艺的 导体膜4非常薄，或由于其他原因导体膜不是机械耐久的，推荐利用支撑 层12 (图1)支撑导体膜4。然后可以以工艺从制造支撑层12开始的方 式继续。支撑层12可以例如是导电材料，例如铝(Al)、钢或铜，或者是 绝缘材料例如聚合物。在支撑层12的另一边，可以例如通过使用在电路 板工业中己知的制造方法制造未构图的导体层4。例如，通过在支撑层12 的表面上层叠铜箔(Cu)制造导体层。可选择地，可以在导体层4的表面上 制造支撑层12。导体膜4也可以是刨光的金属膜，或一些包含几层或几 种材料的其它膜。
制造也可以例如从第一表面上具有绝缘材料层l (未示出)的导体层 4开始。在那种情况下，第一表面是密封在绝缘层l内部的部件连接的表 面。在某些实施例中，在绝缘层l的对面表面具有另一个导体层4。如果 在实施例中使用了支撑层12，支撑层12将位于导体层4的相对表面上， 即在第一表面上。在那种情况下，为了要嵌入的部件，在绝缘材料层1 上形成了多个孔和凹槽。也可以在绝缘材料层1之前形成凹槽，且导体层 4彼此连接，或者在连接之后在绝缘材料层1之前形成凹槽。在凹槽制造 中，可以使用在电路板工业中已知的机械加工方法，例如可以使用铣削或 激光钻孔。
在第一实施例中，在导体层4中将被连接(与图3和图7对比)的部 件6的接触区域7的位置形成接触开口 (在图中未示出)。因此在部件6 连接到导体层之前，形成接触开口。可以例如通过借助激光的钻孔形成接 触开口。接触开口的相互位置根据部件接触区域7的相互位置选择，每组 接触开口的位置和对准通过部件正确地相对于整个电子模块定位的方式 选择，在更传统的实施例中，在形成每个电接触的过程中，为每个接触区 域7形成一个接触开口 ，但是也存在对单个接触区域7形成几个接触开口 这样的实施例。要形成的接触开口的表面面积可以或多或少地与相应接触区域7的表面面积一样大。当然也可以选择使接触开口的表面面积小于、
或在某些实施例中稍微大于相应接触区域7的表面面积。接触开口的形状
可以例如是圆形、椭圆形、卵形、有角的或直线形。
可以从导体层的第一或第二表面的方向钻孔形成接触开口。如果在实
施例中使用在导体层的第二侧面上的支撑层12，因为被钻的开口不需要 完全穿过支撑层12，可以优选从第一表面的方向钻出接触开口。在这样 的实施例中，当除去支撑层12时，随后形成接触开口。也可以通过减薄 由导体层4形成的材料层和通过从支撑层12的方向蚀刻而形成接触开口 。 导体层4和支撑层12也可以由单材料层形成。然后除去对应于支撑层12 的材料层部分并且形成接触开口 。接触开口由此穿过整个导体层4延伸。
在第二实施例中，在部件连接之前，接触开口并没有在导体层4中形 成，相反只有在部件(图7)连接之后，形成了接触开口 17。在这样的实 施例中，使用适当的对准标记来对准部件。在第一和第二实施例中，为 了电路板层和在基底表面2上的导体结构的相互对准，在导体层中(图1) 形成了对准开口3。在两个实施例中，对准开口可以在部件6连接到导体 层之前形成，或在连接之后形成。
在两个实施例中，部件6利用粘结剂(图3)连接到导体层4的表面。 为了粘结，在导体层4的连接表面或部件6的连接表面上、或在两个连接 表面(图2)上涂抹粘结剂层5。在此之后，部件6可以借助对准标记在 用于部件6的位置对准。
部件6的连接表面指的是部件6对着导体层4的表面。部件6的连接 表面包括可以形成到部件的电接触的接触区域。接触区域可以是例如在部 件6表面上的平面区域，或更通用的接触突起，例如从部件6表面突出的 接触块。通常在部件6中至少具有两个接触区域或突起。在复杂的微电子 电路中，甚至有非常多的接触区域。
通常优选在连接表面上涂抹足够多的粘结剂以使粘结剂完全填充部 件6和导体层4之间的空隙。这样就不需要单独的填料剂。填充部件6 和导体层4之间的空隙加强了在部件6和导体层4之间的机械连接，因此 得到了机械性能更耐久的结构。没有间隙的完全的粘结剂层还支撑了后来 在导体层4中形成的导体图案14，并且会保护后来的工艺阶段中的结构。
8在第一实施例中，在粘结期间粘结剂还将进入接触开口。
术语粘结剂指部件通过其可以连接到导体层的材料。粘结剂的一个特
性是它可以以相对液体的形式或以与表面形状符合的形式，例如以薄膜的 形式布置在导体层和/或部件的表面上。粘结剂的第二属性是在涂抹后， 以粘结剂能够把部件固定在适当位置(相对于导体层)的方式硬化粘结剂， 或可以至少部分硬化，直到部件以其它方式连接到结构。粘结剂的第三属 性是其粘结能力，即其能够紧握被粘结表面的能力。
术语粘结指部件和导体层借助于粘结剂的连接。当粘结时，粘结剂放 置在部件和导体层之间，并且部件放置在相对于导体层适当的位置，其中 粘结剂与部件和导体层接触且至少部分填充部件和导体层之间的间隙。在 此之后，以部件通过粘结剂粘结到导体层的方式，将粘结剂硬化(至少部
分地)，或粘结剂活性地(actively)硬化(至少部分地)，。在某些实施例 中，部件的接触突起可以在粘结期间穿过粘结剂层突出以与导体层接触。
在实施例中使用的粘结剂是例如己填充或未填充的热固性环氧树脂。 以所用的粘结剂对导体膜、电路板和部件具有足够粘性的标准选择粘结 剂。粘结剂的一个优选属性是合适的热膨胀系数，以使在工艺期间粘结剂 的热膨胀与周围材料的热膨胀不会相差太大。选择的粘结剂应当优选具有 短的硬化时间，优选最多为几秒。在这段时间内，粘结剂应当至少部分硬 化以使粘结剂能够支撑位置上的部件。最后的硬化可能需要更多的时间， 最后的硬化甚至可以结合后面的工艺阶段进行。粘结剂还应当能够承受使 用的工艺温度，例如加热到100—265i:几次，以及其它的制造工艺应力， 例如化学或机械应力。粘结剂的导电性优选为绝缘材料导电性的级别。
选择适当的绝缘材料层1作为电子模块例如电路板的基底材料。可以 从适当的聚合物或包含聚合物的材料制造绝缘材料层1。制造绝缘材料层 1的材料可以是例如液体或预硬化形式(例如预浸料)。在绝缘材料层1 的制造中可以使用玻璃纤维加强片，例如FR5型片的FR4。在制造绝缘 材料层l中使用的材料的其它例子是P1(聚酰胺)、芳族聚酰胺、聚四氟乙 烯和特氟纶(R)。代替热固性塑料或与热固性塑料一起，在制造绝缘材 料层1中也可以使用热塑性塑料，例如一些适当的LCP(液晶聚合物)。
使用一些适当的方法(图5)，在绝缘材料层1中形成根据粘结到导体层4的部件6的尺寸和相互位置选择的凹槽或通孔。凹槽或通孔也可以
稍微大于部件6，其中绝缘材料层1相对于导体层4的对准不再是非常关 键的。如果在工艺中使用其中具有由部件6形成的通孔的绝缘材料层1， 通过使用另一单独的其中没有形成通孔的绝缘材料层11可以得到某些优 点。这样的绝缘材料层11可以位于绝缘材料层顶部以覆盖为部件形成的 通孔。
在此之后，绝缘材料硬化，以产生基本上统一的绝缘材料层1 (图6)。 在使用单个绝缘材料层1和使用几个绝缘材料片1、 11的两个实施例中， 形成基本统一的绝缘材料层1。
如果绝缘材料层1不透明，可以为在基底表面2上的电路板层和导体 结构的相互对准在绝缘材料层中形成对准开口 13。这个工艺可以在第一 和第二实施例中使用。以相对应的方式，当使用绝缘材料层ll时，可以 在其中形成对准开口 33。对准开口 13和对准开口 33可以根据在基底表 面上的对准标记39定位。当绝缘材料层1或绝缘材料层1、 11以对准开 口 13和如果必要，对准开口 33放置在与对准标记39相同位置处的方式 放置在基底表面2顶部时，导体层4可以通过对准开口 3相对于基底表面 2精确对准。例如，通过位于对准的整个片的边缘区域中的定位销，可以 进行对准。
对准的另一选择是把导体层4通过对准开口 3对准和把在基底表面2 上的正确位置放置的导体层4固定以把导体层4定位在相对于基底表面2 的正确位置。在此之后，至少部分未硬化的绝缘材料片1可以放置于导体 层4和基底表面2之间并且这些层挤压在一起。如果，当施压时，导体层 4和基底表面2不允许彼此横向移动，导体层4和基底表面2将会达到相 对于彼此正确的位置。在这样的实施例中，绝缘材料层1不需要包括对准 开口13。当使用第二绝缘材料层ll时，将不再需要对应的对准开口33。
在连接层后，在电子模块中形成微通孔，通过这些微通孔在部件6 的接触区域和导体层4之间形成电接触。
为了形成通孔，清理在第一实施例中的接触开口 17的粘结剂和可能 进入幵口的其它材料。由于部件粘结到第一侧面，所以上述这一点自然从 导体材料4的第二表面方向进行。与清洗接触开口一起，也可以清理部件6的接触区域7，这样会进一步改善用于形成高质量电接触的条件。可以 例如使用等离子体技术、化学或利用激光进行清洁。如果接触开口和接触 区域己经足够清洁，当然可以省略清洗。
在第二实施例的这个阶段，可以通过导体层4 (图7)形成接触开口 17。接触开口 17例如通过对准开口 3对准。接触开口 17例如通过激光形 成。
与接触开口 17的制造或清洁一起，也可以为在导体图案层14和在基 底表面2上的导体结构19之间形成的通孔形成孔。
在此之后，如果需要可以检查部件6的对准是否成功。这基于当从导 体层4的方向看时，部件6的对准的接触区域7通过接触开口 17是可见的。
在第一实施例(如果这是必要的)中已经清洁接触开口之后，或在第 二实施例中已经形成接触开口之后，导电材料以在部件6和导体层4之间 形成电接触的方式进入接触开口 17。以相同的连接，也可以形成到达通 孔20的导体。导电材料可以通过利用导电膏填充接触开口而形成。导电 材料也可以通过使用一些电路板工业中已知的方法而形成。在这种情况 下，通过形成冶金结，例如，通过使用化学或电化学方法生长导电材料， 可以形成最好的电接触。这样的方法由此使用在最需要的应用中。另一好 的选择是使用化学方法的薄层生长以及使用更经济的电化学方法继续生 长。除了这些方法，当然也可以使用一些其它方法，其对于最后结果是有 益的。与此同时，也可以增加导体层4的厚度(图8)。
之后，可以构图导体层4以形成导体图案层14 (图9)。
当根据第一实施例制造电路板层时，也可以在电路板层的制造中采用 本申请人于2003年4月1日申请的、在本专利申请的优先权日还未公开 的芬兰专利申请号20030493中公开的制造方法。
当根据第二实施例制造电路板层时，也可以在电路板层的制造中采用 本申请人于2004年6月15日申请的、在本专利申请的优先权日还未公开 的芬兰专利申请号为20040827的专利申请中公开的制造方法。
上述这些示例说明了一些本发明可以利用的可能的工艺。然而，本发 明并不严格局限于上述的第一和第二实施例，相反，考虑到权利要求的全
ii部范围和等价解释，本发明也可以覆盖其它不同的工艺和它们的最终产 品。本发明并不是严格的局限于示例描述的结构和方法，对于本领域技术 人员很显然本发明的多种应用可以用于制造与本发明描述差别很大的各 种电子模块和电路板。附图的部件和电路仅仅通过说明本发明的制造工艺 而示出。因此对上述示例的工艺可以作出多种修改，只要不超出本发明的 基本思想即可。这些修改可以例如涉及在不同阶段所述的制造技术，或工 艺阶段的相互顺序。
上述电路板层制造方法可以通过在彼此顶部形成电路板层的方式重 复。以这种方式，可以制造例如图10中示出的包括在彼此电连接的、彼 此顶部上的、包含某些部件的电路板层结构。
因此电路板层可以添加到非常不同的基底表面2的顶部。如上述实施 例中基底表面2也可以是曲面，由于导体层的弯曲在部件和相关导体层之 间的电接触不会损坏。这基于在弯曲导体层之后形成电接触的事实。
权利要求
1.一种在基底表面(2)上制造电路板层的方法，所述电路板层包括导体图案层(14)、绝缘材料层(1)和在绝缘材料层(1)内部的至少一个部件(6)，所述至少一个部件(6)包括接触区域(7)，其特征在于采用导体层(4)并且在面对导体层(4)的接触区域(7)和所述导体层的第一表面的一侧将所述至少一个部件(6)连接到导体层(4)，通过绝缘材料(1)将导体层连接到基底表面(2)，导体层(4)的第一表面面对基底表面(2)，由此形成了在导体层(4)和其中具有所述至少一个部件(6)的基底表面(2)之间的绝缘材料层(1)，通过在部件(6)的接触区域(7)的位置处形成接触开口(17)和在接触开口(17)中形成导电材料，在部件(6)的接触区域(7)和导体层(4)之间形成电接触，其中接触开口(17)包括对于单个接触区域(7)的几个接触开口(17)，构图导体层(4)以形成导体图案层(14)。
2. 根据权利要求l的方法，其特征在于，基底表面(2)包括导体图 案(19)，并且在导体图案层(14)和基底表面(2)的导体图案(19)之 间形成至少一个通孔(20)。
3. 根据权利要求l的方法，其特征在于，基底表面(2)是电路板的 表面。
4. 根据权利要求1的方法，其特征在于，利用绝缘粘结剂(5)将部 件(6)连接到导体层(4);在连接之后，穿过绝缘粘结剂(5)在接触区 域(7)和导体层(4)之间形成电接触。
5. 根据权利要求l的方法，还包括，在部件(6)的连接之前，在 部件(6)的接触区域(7)的位置处在导体层(4)中形成接触开口 (17)。
6. 根据权利要求1的方法，其特征在于，在部件(6)的连接之后， 在导体层(4)和基底表面(2)之间形成绝缘材料层(1)，和在形成绝缘 材料层(1)之后从导体层(4)形成导体图案(14)。
7. 根据权利要求1的方法，通过以绝缘材料围绕部件(6)和与部件 (6)的表面接触的方式形成绝缘材料层(1)。
8. 根据权利要求1的方法，其特征在于，部件(6)是微电路。
9. 根据权利要求1至8中任一项的方法，其中在接触开口 (17)中形成导电材料包括使用化学方法生长金属薄层，以及 使用电化学方法继续生长。
10. —种包括基底表面(2)和基底表面(2)上的电路板层的电路板 结构，所述电路板层包括导体图案层(14)、绝缘材料层(1)和在绝缘材 料层(1)内部的至少一个部件(6)，所述至少一个部件(6)包括接触区 域(7)，其特征在于在面对导体图案层(14)的接触区域(7)和所述导体层的第一表面的 一侧，连接到图案层(14)的至少一个部件(6)，将导体图案层(14)连接到基底表面(2)的绝缘材料(1)，导体图案 层(14)的第一表面面对基底表面(2)，穿过在部件(6)的接触区域(7)的位置处的接触开口 (17)且在部 件(6)的接触区域(7)和导体图案层(14)之间的电接触，其包括在接触 开口 (17)中的导电材料，其中接触开口 (17)包括对于单个接触区域(7) 的几个接触开口 (17)。
11. 根据权利要求10的电路板结构，其特征在于，基底表面(2) 包括导体图案(19)，并且电路板结构包括在导体图案层(14)和基底表面(2)的导体图案(19)之间的至少一个通孔(20)。
12. 根据权利要求10的电路板结构，其特征在于，基底表面(2)是 电路板的表面。
13. 根据权利要求10的电路板结构，其特征在于，还包括将部件(6) 连接到导体图案层(14)的绝缘粘结剂(5)。
14. 根据权利要求13的电路板结构，其特征在于，接触区域(7)和 导体图案层(14)之间的电接触延伸穿过绝缘粘结剂(5)。
15. 根据权利要求10的电路板结构，其特征在于，导体层(4)和基 底表面(2)之间的绝缘材料层(1)围绕部件(6)并与部件(6)的表面 接触。
16. 根据权利要求10的电路板结构，其特征在于，部件(6)是微电
17.根据权利要求10至16中任一项的电路板结构，其特征在于，接触开口 (17)中的导电材料包括 使用化学方法生长的金属薄层，以及 使用电化学方法生长的另外的金属层。
全文摘要
一种在基底表面(2)上制造电路板层的方法，其中基底表面(2)包括导体图案(19)。将要制造的电路板层包括导体图案层(14)、绝缘材料层(1)和至少在绝缘材料层(1)内部的一个部件(6)。根据本发明，部件(6)连接到导体层(4)，导体层(4)相对于借助于绝缘材料(1)连接到基底表面(2)的基底表面(2)对准。绝缘材料层(1)由此在导体层(4)和其上具有所述至少一个部件(6)的基底表面(2)之间形成。电接触以接触开口(17)在部件(6)的接触区域(7)处形成和导电材料形成在接触开口(17)的方式形成在部件(6)的接触区域(7)和导体层(4)之间。构图导体层(4)以形成导体图案层(14)，和在导体图案层(14)和基底表面(2)的导体图案(19)之间形成至少一个通孔(20)。
文档编号H01L21/60GK101686612SQ20091016468
公开日2010年3月31日 申请日期2005年8月4日 优先权日2004年8月5日
发明者P·帕尔姆, R·托米南 申请人:伊姆贝拉电子有限公司