专利名称：氮化硅膜成长炉管装置中减少氯化铵堵塞的结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体集成电路制造领域，属于一种氮化硅膜成长炉管装置中减少氯化铵堵塞的结构。
背景技术：
在半导体制造工艺中，常见的氮化硅成长炉管装置的大气压力计与排气管道直接连接，由于管路短且该工艺中生成物较多，会造成大气压力计管路以及与之相连接的排气管道接口处堵塞，影响压力计精度。如果压力计负偏，会延长设备回大气时间，导致晶舟无法及时退出炉管，从而增加硅片在炉内的热履历；如果压力计正偏，炉管内部压力小于外部大气压力，降舟过程会造成倒灌，影响产品的颗粒，如果压差过大还会造成炉管内碎片。虽然氮化硅工艺中副生成物氯化铵较坚硬但可以溶于水，故可以使用水清洗排气管道，但大气压力计不可用水洗，水洗的话会影响压力计的精度，只能采用金属工具将压力计管路内的副生成物氯化铵一点点清理出来。然而，在清理过程稍有不慎就会划伤大气压力计的接口，从而影响压力计的密封性导致漏率不良，大气压力计接口轻微的划伤可以用沙皮和百洁布打磨修复，如果划伤严重会导致压力计废弃，会延长维护时间或增加维护费用。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种氮化硅膜成长炉管装置中减少氯化铵堵塞的结构，解决氯化铵堵塞大气压力计管路及排气管道接口的问题。为解决上述技术问题，本实用新型的氮化硅膜成长炉管装置中减少氯化铵堵塞的结构，所述氮化硅膜成长炉管装置中具有大气压力计和排气管道，在所述大气压力计和排气管道之间加装一延长管路。进一步地，所述延长管路具有一保温层。其中，所述延长管路为不锈钢直管或不锈钢弯管。进一步地，所述延长管路为Z型弯管、N型弯管、U型弯管或L型弯管。本实用新型在大气压力计与排气管道之间增加一段延长管路，并在延长管路上增加保温材料，使副生成物氯化铵只集聚在延长管路内，定期清扫延长管路去除氯化铵生成物即可有效解决氯化铵堵塞大气压力计管路及排气管道接口的问题，不但降低维护难度， 而且避免因大气压力计损坏而带来的维护费用增加以及影响产品品质的风险。
以下结合附图与具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明
图1是本实用新型中延长管路的Z型弯管结构；图2是本实用新型中延长管路的U型弯管结构；图3是本实用新型中延长管路的偏U型弯管结构；图4是本实用新型中延长管路的N型弯管结构。
具体实施方式
本实用新型的氮化硅膜成长炉管装置中减少氯化铵堵塞的结构，所述氮化硅膜成长炉管装置中具有大气压力计和排气管道，在所述大气压力计和排气管道之间加装一延长管路。由于副生成物氯化铵在高于135摄氏度的条件下会以气体的形式排出，而延长管路上的温度通常低于135摄氏度，故根据生长氮化硅膜的这个工艺特点，在延长管路的外周壁上包裹一保温层，使副生成物氯化铵只集聚在延长管路内，且保温层可以有效缓解延长管路的堵塞速度。所述延长管路为不锈钢直管或不锈钢弯管，其一端连接大气压力计管路，另一端连接排气管道。图1所示的不锈钢弯管为ζ型弯管，图4所示的不锈钢弯管为N型弯管，图 2所示的不锈钢弯管为U型弯管，图3所示的不锈钢弯管为偏U型弯管，当然，除此之外不锈钢弯管还可以为L型弯管或其它不规则弯管结构。本实用新型在大气压力计与排气管道之间增加一段延长管路，并在延长管路上增加保温材料，使副生成物氯化铵只集聚在延长管路内，定期清扫延长管路去除氯化铵生成物即可有效解决氯化铵堵塞大气压力计管路及排气管道接口的问题，不但降低维护难度， 而且避免因大气压力计损坏而带来的维护费用增加以及影响产品品质的风险。以上通过具体实施例对本实用新型进行了详细的说明，但这些并非构成对本实用新型的限制。在不脱离本实用新型原理的情况下，本领域的技术人员还可对本实用新型的延长管路结构和形状等做出许多变形和等效置换，这些也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种氮化硅膜成长炉管装置中减少氯化铵堵塞的结构，所述氮化硅膜成长炉管装置中具有大气压力计和排气管道，其特征在于在所述大气压力计和排气管道之间加装一延长管路。
2.根据权利要求1所述的氮化硅膜成长炉管装置中减少氯化铵堵塞的结构，其特征在于所述延长管路的外周包裹有一保温层。
3.根据权利要求1或2所述的氮化硅膜成长炉管装置中减少氯化铵堵塞的结构，其特征在于所述延长管路为不锈钢直管。
4.根据权利要求1或2所述的氮化硅膜成长炉管装置中减少氯化铵堵塞的结构，其特征在于所述延长管路为不锈钢弯管。
5.根据权利要求4所述的氮化硅膜成长炉管装置中减少氯化铵堵塞的结构，其特征在于所述延长管路为Z型弯管、N型弯管、U型弯管或L型弯管。
专利摘要本实用新型公开了一种氮化硅膜成长炉管装置中减少氯化铵堵塞的结构，所述氮化硅膜成长炉管装置中具有大气压力计和排气管道，在所述大气压力计和排气管道之间加装一延长管路，所述延长管路的外周包裹有一保温层。本实用新型在大气压力计与排气管道之间增加一段延长管路，并在延长管路上增加保温材料，使副生成物氯化铵只集聚在延长管路内，定期清扫延长管路去除氯化铵生成物即可有效解决氯化铵堵塞大气压力计管路及排气管道接口的问题，不但降低维护难度，而且避免因大气压力计损坏而带来的维护费用增加以及影响产品品质的风险。
文档编号H01L21/02GK202297764SQ201120403438
公开日2012年7月4日 申请日期2011年10月21日 优先权日2011年10月21日
发明者刘波, 刘立成, 钱敏 申请人:上海华虹Nec电子有限公司