专利名称：可翻转型晶舟的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种可翻转型晶舟。
背景技术：
在半导体晶圆的制造过程中，晶舟作为晶圆的载体，在半导体晶圆的生产中扮演着不可或缺的角色。从晶圆下线生产到成品测试，都离不开晶舟作为载体。例如，利用炉管的扩散制程，在该制程中，是先将多片晶圆放置在一晶舟上，再将晶舟放置在炉管内进行批次制造。 现有的晶舟只是单向应用。然而，随着半导体晶圆生产技术的发展，不但要求对晶圆的正面进行加工，而且要求对晶圆的背面进行加工。目前有两种方式实现，一种是，采用翻转晶圆的倒片机将晶圆从晶舟取出后，翻转后再放回晶舟，然后，将晶舟放回到加工机台(没有翻转功能的加工机台)中，从而实现对晶圆的反面的加工；另一种是，加工机台的机械手臂具有可翻转功能，也就是晶舟的翻转功能通过加工机台来实现。前者，需要取出每一片晶舟，翻转后，再放回晶舟，因此，工序相当繁琐，生产效率低，而且也增加了晶圆的运输风险。后者，由于没有一个上下对称的晶舟，使得加工机台的翻转机构比较复杂，不利于成本降低。因此，如何提供一种结构简单、操作方便的可翻转型晶舟是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种可翻转型晶舟，结构简单，操作方便，可以简化晶舟的翻转机构的结构，降低制造成本。为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案一种可翻转型晶舟，包括若干晶圆托架和位于所述若干晶圆托架外侧的至少两个支撑架，所述若干晶圆托架等间距设置，相邻的晶圆托架之间形成用于放置晶圆的卡槽，且所述若干晶圆托架上下对称设置。优选的，在上所述的可翻转型晶舟中，位于顶部和底部的晶圆托架分别设有用于触发传感器的凸起。优选的，在上所述的可翻转型晶舟中，所述位于顶部和最底部的晶圆托架包括左、右架体和连接于所述左、右架体之间的连接板，所述凸起设置于所述连接板的外侧面。优选的，在上所述的可翻转型晶舟中，所述凸起的数量是1-4个。优选的，在上所述的可翻转型晶舟中，所述凸起的数量是3个。优选的，在上所述的可翻转型晶舟中，所述左、右架体的底部形状均为圆弧型。优选的，在上所述的可翻转型晶舟中，位于中间部位的晶圆托架包括左、右架体和连接于所述左、右架体之间的连接杆。[0016]优选的，在上所述的可翻转型晶舟中，所述支撑架均匀环绕设置于所述若干晶圆托架的外侧。优选的，在上所述的可翻转型晶舟中，所述支撑架的中部分别设有定位凹槽。本实用新型提供的可翻转型晶舟，结构简单，使用方便，通过将所述若干晶圆托架上下对称设置，可以便于实现晶舟的翻转，能够简化晶舟驱动机构的结构，降低生产成本。
本实用新型的可翻转型晶舟由以下的实施例及附图给出。图I为本实用新型的一实施例的可翻转型晶舟的结构示意图。 图2为图I的俯视图。图3为图I的侧视图。图4是图I的A-A剖视图。图中，I-支撑架，11-定位凹槽，2-晶圆托架，20-左、右架体，21-连接板，22-连接杆，3-凸起。
具体实施方式
下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。请参阅图I至图4，本实施例的可翻转型晶舟，包括若干晶圆托架2和位于所述若干晶圆托架2外侧的至少两个支撑架1，所述若干晶圆托架2等间距设置于，相邻的晶圆托架2之间形成用于放置晶圆(未图示)的卡槽，且所述若干晶圆托架2上下对称设置。通过将所述若干晶圆托架2上下对称设置，可以便于实现晶舟的翻转，改变了现有只是单片晶圆进行翻转而晶舟保持不变的现状，当该可翻转型晶舟进行晶圆正表面加工时，如图I所示，当制造过程改变为对晶圆背面进行加工时，晶舟载着里面的晶圆旋转180度，整体进行翻转，晶圆由正表面向上整体转变为正表面向下，能够简化晶舟驱动机构的结构，降低生产成本。在本实施例的可翻转型晶舟中，所述支撑架I的中部分别设有定位凹槽11。该定位凹槽11和加工机台上的定位凸条相匹配，通过设置定位凹槽11，可以使得所述可翻转型晶舟卡合在加工机台的指定位置。[0030]在本实施例的可翻转型晶舟中，位于顶部和底部的晶圆托架分别设有用于触发传感器的凸起3。当所述可翻转型晶舟到达加工机台中的指定位置时，上述凸起3能够触发相应的传感器，从而通知加工机台，晶舟到达指定位置，可以进行工艺制程。在本实施例的可翻转型晶舟中，所述位于顶部和最底部的晶圆托架包括左、右架体20和连接于所述左、右架体20之间的连接板。通过设置连接板，可以便于凸起3的设置。本实施例中，所述凸起3设置于所述连接板的外侧面。所述凸起3的数量可以是1-4个，所 述凸起3的数量优选是三个。经试验表明，采用三个凸起3检测晶舟位置，准确率比较高，从而可以提高工艺的稳定性。在本实施例的可翻转型晶舟中，位于中间部位的晶圆托架包括左、右架体20和连接于左、右架体之间的连接杆22，左、右架体20之间采用连接杆22连接，可以减少晶舟的自重，降低材料的使用量，节约成本。优选的，在上所述的可翻转型晶舟中，所述左、右架体20的底部形状均为圆弧型，所述左、右架体20的底部形状与晶圆的边缘形状相匹配，从而使得手动或自动将晶圆放入卡槽时，晶圆不容易被碰伤。优选的，在上所述的可翻转型晶舟中，所述支撑架的数量是两个，所述支撑架I均匀环绕设置于所述若干晶圆托架2的外侧。从而可以实现对若干晶圆托架2稳固支撑。综上所述，本实用新型提供的可翻转型晶舟，结构简单，使用方便，通过将所述若干晶圆托架上下对称设置，可以便于实现晶舟的翻转，能够简化晶舟驱动机构的结构，降低生产成本。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种可翻转型晶舟，其特征在于，包括若干晶圆托架和位于所述若干晶圆托架外侧的至少两个支撑架，所述若干晶圆托架等间距设置，相邻的晶圆托架之间形成用于放置晶圆的卡槽，且所述若干晶圆托架上下对称设置。
2.根据权利要求I所述的可翻转型晶舟，其特征在于，位于顶部和底部的晶圆托架分别设有用于触发传感器的凸起。
3.根据权利要求2所述的可翻转型晶舟，其特征在于，所述位于顶部和最底部的晶圆托架包括左、右架体和连接于所述左、右架体之间的连接板，所述凸起设置于所述连接板的外侧面。
4.根据权利要求2所述的可翻转型晶舟，其特征在于，所述凸起的数量是1-4个。
5.根据权利要求2所述的可翻转型晶舟，其特征在于，所述凸起的数量是3个。
6.根据权利要求3所述的可翻转型晶舟，其特征在于，所述左、右架体的底部形状均为圆弧型。
7.根据权利要求I所述的可翻转型晶舟，其特征在于，位于中间部位的晶圆托架包括左、右架体和连接于所述左、右架体之间的连接杆。
8.根据权利要求I所述的可翻转型晶舟，其特征在于，所述支撑架均匀环绕设置于所述若干晶圆托架的外侧。
9.根据权利要求rs中任意一项所述的可翻转型晶舟，其特征在于，所述支撑架的中部分别设有定位凹槽。
专利摘要本实用新型公开了一种可翻转型晶舟，包括若干晶圆托架和位于所述若干晶圆托架外侧的至少两个支撑架，所述若干晶圆托架等间距设置，相邻的晶圆托架之间形成用于放置晶圆的卡槽，且所述若干晶圆托架上下对称设置。本实用新型提供的可翻转型晶舟，结构简单，使用方便，通过将所述若干晶圆托架上下对称设置，可以便于实现晶舟的翻转，能够简化晶舟驱动机构的结构，降低生产成本。
文档编号H01L21/673GK202796889SQ20122052062
公开日2013年3月13日 申请日期2012年10月11日 优先权日2012年10月11日
发明者赵铁军 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司