薄膜晶体管基板的制造方法及液晶面板的制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种薄膜晶体管基板的制造方法，其包括如下步骤：提供一具有一承载面的载具玻璃，并在承载面上设置多个流道及多个通孔，每个通孔与至少一个该流道相连通；提供一超薄玻璃，并将超薄玻璃放置在承载面上；将一粘着剂注入通孔内，且一部分粘着剂通过通孔流入流道内，粘着剂将超薄玻璃与载具玻璃相固定；及将载具玻璃与超薄玻璃一起进行薄膜晶体管制程，以在超薄玻璃上形成多个薄膜晶体管，从而得到一薄膜晶体管基板。本发明还涉及一种液晶面板的制造方法。由于超薄玻璃在加工过程中被载具玻璃支撑而不易被损坏，以提高薄膜晶体管基板及液晶面板的生产良率。同时，加工后的超薄玻璃不需要进行化学减薄，可有效保护环境。
【专利说明】薄膜晶体管基板的制造方法及液晶面板的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种薄膜晶体管基板的制造方法及液晶面板的制造方法。
【背景技术】
[0002] 目前的液晶面板的基本结构为两个薄膜晶体管基板中间封装一层液晶。现在 的薄膜晶体管基板的制造方法一般需要先将较厚的玻璃形成薄膜晶体管（Thin Film Transistor, TFT),然后进行化学减薄的制程。由于化学减薄需要使用氨氣酸OF)等污染 环境的强酸，不利于环境保护。若直接在超薄玻璃上进行TFT制程，由于超薄玻璃的厚度较 小，在加工过程中极易被损坏，使该薄膜晶体管基板的生产良率及该液晶面板的生产良率 均下降。
【发明内容】
[0003] 有鉴于此，有必要提供一种薄膜晶体管基板的制造方法及液晶面板的制造方法， 可有效保护环境，且提高该薄膜晶体管基板的生产良率与该液晶面板的生产良率。
[0004] -种薄膜晶体管基板的制造方法，其包括如下步骤： 提供一载具玻璃，该载具玻璃具有一个承载面，并在该承载面上设置多个流道及多个 通孔，每个通孔与至少一个该流道相连通； 提供一个超薄玻璃，并将该超薄玻璃放置在该承载面上； 将一粘着剂注入该通孔内，且一部分该粘着剂通过该通孔流入该流道内，该粘着剂将 该超薄玻璃与该载具玻璃相固定；及 将该载具玻璃与该超薄玻璃一起进行薄膜晶体管制程，W在该超薄玻璃上形成多个薄 膜晶体管，W得到一个薄膜晶体管基板。
[0005] -种液晶面板的制造方法，其包括如下步骤： 提供一载具玻璃，该载具玻璃具有一个承载面，并在该承载面上设置多个流道及多个 通孔，每个通孔与至少一个该流道相连通； 提供一个超薄玻璃，并将该超薄玻璃放置在该承载面上； 将一粘着剂注入该通孔内，且一部分粘着剂通过该通孔流入该流道内，该粘着剂将该 超薄玻璃与该载具玻璃相固定； 将该载具玻璃与该超薄玻璃一起进行薄膜晶体管制程，W在该超薄玻璃上形成多个薄 膜晶体管，从而得到一个薄膜晶体管基板； 将该薄膜晶体管基板与该载具玻璃分离； 提供一个彩色滤光片基板；及 在该薄膜晶体管基板与该彩色滤光片基板之间封装液晶。
[0006] 一种液晶面板的制造方法，其包括如下步骤： 提供一载具玻璃，该载具玻璃具有一个承载面，并在该承载面上设置多个流道及多个 通孔，每个通孔与至少一个该流道相连通； 提供一个超薄玻璃，并将该超薄玻璃放置在该承载面上； 将一粘着剂注入该通孔内，且一部分粘着剂通过该通孔流入该流道内，该粘着剂将该 超薄玻璃与该载具玻璃相固定； 将该载具玻璃与该超薄玻璃一起进行薄膜晶体管制程，W在该超薄玻璃上形成多个薄 膜晶体管，从而得到一个薄膜晶体管基板； 提供固定有另外一个载具玻璃的一个彩色滤光片基板； 在该薄膜晶体管基板与该彩色滤光片基板之间封装液晶；及 将该薄膜晶体管基板与对应的载具玻璃分离，并将该彩色滤光片基板与对应的载具玻 璃分离。
[0007] 与现有技术相比较，本发明的薄膜晶体管基板的制造方法及液晶面板的制造方 法，通过将超薄玻璃固定在该载具玻璃上，然后进行TFT制程，使得超薄玻璃在加工过程中 能够得到很好的支撑而不易被损坏，从而提高薄膜晶体管基板的生产良率及该液晶面板的 生产良率，同时，加工后的超薄玻璃不需要进行化学减薄的制程，避免使用污染环境的强 酸，从而可有效保护环境。
【专利附图】
【附图说明】
[0008] 图1-6是本发明较佳实施方式的液晶面板的制造方法的步骤示意图。
[0009] 图7是图1-6的液晶面板的制造方法中的载具玻璃的结构示意图。
[0010] 图8是图1-6的液晶面板的制造方法中的超薄玻璃的结构示意图。
[0011] 主要元件符号说明
【权利要求】
1. 一种薄膜晶体管基板的制造方法，其包括如下步骤： 提供一载具玻璃，该载具玻璃具有一个承载面，并在该承载面上设置多个流道及多个 通孔，每个通孔与至少一个该流道相连通； 提供一个超薄玻璃，并将该超薄玻璃放置在该承载面上； 将一粘着剂注入该通孔内，且一部分粘着剂通过该通孔流入该流道内，该粘着剂将该 超薄玻璃与该载具玻璃相固定；及 将该载具玻璃与该超薄玻璃一起进行薄膜晶体管制程，W在该超薄玻璃上形成多个薄 膜晶体管，从而得到一个薄膜晶体管基板。
2. 如权利要求1所述的薄膜晶体管基板的制造方法，其特征在于，该超薄玻璃具有相 背设置的一个固定面及一个待加工面，该固定面与该承载面相接触，该待加工面上具有多 个间隔设置的待加工区域，该多个薄膜晶体管形成在该多个待加工区域上。
3. 如权利要求2所述的薄膜晶体管基板的制造方法，其特征在于，该固定面上具有多 个固定结构，该多个固定结构与该多个通孔一一对应设置。
4. 如权利要求3所述的薄膜晶体管基板的制造方法，其特征在于，每个固定结构的面 积小于对应的通孔在该固定面上正投影的面积。
5. 如权利要求3所述的薄膜晶体管基板的制造方法，其特征在于，该固定结构为盲孔、 通孔或雾化结构。
6. 如权利要求1所述的薄膜晶体管基板的制造方法，其特征在于，该多个流道的最大 深度大于该载具玻璃的厚度的10%且小于该载具玻璃的厚度的50%。
7. 如权利要求1所述的薄膜晶体管基板的制造方法，其特征在于，该载具玻璃的厚度 大于0.3毫米。
8. -种液晶面板的制造方法，其包括如下步骤： 提供一载具玻璃，该载具玻璃具有一个承载面，并在该承载面上设置多个流道及多个 通孔，每个通孔与至少一个该流道相连通； 提供一个超薄玻璃，并将该超薄玻璃放置在该承载面上； 将一粘着剂注入该通孔内，且一部分粘着剂通过该通孔流入该流道内，该粘着剂将该 超薄玻璃与该载具玻璃相固定； 将该载具玻璃与该超薄玻璃一起进行薄膜晶体管制程，W在该超薄玻璃上形成多个薄 膜晶体管，从而得到一个薄膜晶体管基板； 将该薄膜晶体管基板与该载具玻璃分离； 提供一个彩色滤光片基板；及 在该薄膜晶体管基板与该彩色滤光片基板之间封装液晶。
9. 一种液晶面板的制造方法，其包括如下步骤： 提供一载具玻璃，该载具玻璃具有一个承载面，并在该承载面上设置多个流道及多个 通孔，每个通孔与至少一个该流道相连通； 提供一个超薄玻璃，并将该超薄玻璃放置在该承载面上； 将一粘着剂注入该通孔内，且一部分粘着剂通过该通孔流入该流道内，该粘着剂将该 超薄玻璃与该载具玻璃相固定； 将该载具玻璃与该超薄玻璃一起进行薄膜晶体管制程，W在该超薄玻璃上形成多个薄 膜晶体管，从而得到一个薄膜晶体管基板； 提供固定有另外一个载具玻璃的一个彩色滤光片基板； 在该薄膜晶体管基板与该彩色滤光片基板之间封装液晶；及 将该薄膜晶体管基板与对应的载具玻璃分离，并将该彩色滤光片基板与对应的载具玻 璃分离。
10.如权利要求8或9所述的液晶面板的制造方法，其特征在于，通过激光加热的方式 将该薄膜晶体管基板与该载具玻璃分离。
【文档编号】H01L21/84GK104465527SQ201310427242
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2013年9月18日 优先权日:2013年9月18日
【发明者】张仁淙 申请人:鸿富锦精密工业（深圳）有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司