蓝宝石衬底抛光装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及蓝宝石衬底加工设备领域，尤其是一种蓝宝石衬底抛光装置，它包括机架，在机架的下方设有用于固定蓝宝石衬底的载物台，在机架的上方设有横向往复机构，在横向往复机构上设有竖直往复机构，在竖直往复机构的下端设有连接板，在连接板的下端通过弹性变形机构连接有抛光板。该蓝宝石衬底抛光装置，其通过在连接板与抛光板之间的弹性变形机构的设置，可对竖直往复机构下压时抛光板与蓝宝石衬底接触时的冲击力的缓冲，同时可自动调整促使抛光板始终与蓝宝石衬底贴合，提高了设备的使用性能和加工性能；而且可使抛光板对蓝宝石衬底的压力的可控。
【专利说明】蓝宝石衬底抛光装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及蓝宝石衬底加工设备领域，尤其是一种蓝宝石衬底抛光装置。
【背景技术】
[0002]现有的蓝宝石衬底抛光装置，其抛光板均安装在气缸上，并利用气缸施加一定的压力使得抛光板与蓝宝石衬底之间形成压紧。但由于气缸内的气压加大的过程中，气缸的伸缩杆具有一定能够的加速度，当其与蓝宝石衬底接触时会产生较大的冲击力作用于蓝宝石衬底上，容易造成损坏。而且在蓝宝石衬底因装夹或其他因素造成其表面未处于水平时，则在抛光打磨过程中造成抛光打磨不均匀等情况，影响蓝宝石衬底的性能和品质。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的是为了解决上述技术的不足而提供一种结构简单，在抛光板下压过程中具有一定缓冲力的蓝宝石衬底抛光装置。
[0004]为了达到上述目的，本实用新型所设计的蓝宝石衬底抛光装置，它包括机架，在机架的下方设有用于固定蓝宝石衬底的载物台，在机架的上方设有横向往复机构，在横向往复机构上设有竖直往复机构，在竖直往复机构的下端设有连接板，在连接板的下端通过弹性变形机构连接有抛光板。
[0005]上述技术方案，利用横向往复机构带动竖直往复机构横向运动，从而实现抛光板在蓝宝石衬底上进行打磨抛光，而竖直往复机构可向抛光板施加一定压力，增加打磨抛光过程中抛光板与蓝宝石衬底之间的摩擦力，提高抛光打磨性能；同时在竖直往复机构顶端的连接板与抛光板之间设有弹性变形机构，在竖直往复机构向下运动并在抛光板与蓝宝石衬底接触时会产生较大的冲击力，而弹性变形机构可将冲击力进行缓冲，避免因冲击力过大且直接作用于蓝宝石衬底而造成蓝宝石衬底损坏。同时当因各种因素造成蓝宝石衬底的上表面未处于水平状态时，弹性变形机构可根据自身的压力的情况进行调节，使得抛光板同样发生一定的倾斜，并始终与蓝宝石衬底保持一直，甚至在横向运动过程中均可与蓝宝石衬底保持一致倾斜，从而使得抛光板对蓝宝石衬底的各个区域的打磨抛光均匀，提高设备的使用性能和加工的蓝宝石衬底的品质。
[0006]作为优化，所述连接板、抛光板与载物台三者之间互相平行；连接板与抛光板之间间隔均匀的阵列有多个弹性变形机构，各个弹性变形机构在受到相同压力时变形量相同。该结构的设置，在正常的工作状态下，抛光板与载物台上的蓝宝石衬底平行，且使得抛光板在蓝宝石衬底上各个区域内施加的压力也相同，进而可提高抛光板对蓝宝石衬底的打磨抛光性能，即使蓝宝石衬底发生细微的偏斜，可通过弹性变形机构的伸缩实现抛光板的改变，且在抛光板上施加的压力基本保持不便，使用性能极为优越。
[0007]所述弹性变形机构为压缩空气管柱，所述压缩空气管柱由上管柱和下管柱配合而成，上管柱与下管柱内部连通、连接处密封且可相对滑动，在压缩空气管柱内部充斥有压缩空气。或者弹性变形机构也可以为压簧。但由于压缩空气管柱可通过内部压缩空气的多少及压缩的距离即可改变压力的大小，使得其压力改变的范围更加广阔，以适应不同蓝宝石衬底对抛光压力的需求，使设备的适应性更好。
[0008]所述横向往复机构由滑轨和横向气缸组成,竖直往复机构为竖直气缸；竖直气缸连接在滑轨上，与滑轨之间可相对滑动，且竖直气缸的缸体与横向气缸的伸缩杆连接；所述连接板固定在竖直气缸的伸缩杆上。由于气缸的伸缩速率块，气缸的使用可提高蓝宝石衬底的打磨抛光的效率，提高工作效率进而减低生产加工成本。而且气缸的维护维修成本低，使用成本低，使用性能稳定。
[0009]在抛光板的上表面竖直设有刻度尺，刻度尺穿过连接板并于连接板之间可相对滑动。该结构可根据压缩空气管柱的自身的性能参数，并结合其被压缩的尺寸，即可快速反应出该压缩空气管柱上所产生的力的大小，从而实现了对抛光板对蓝宝石衬底上施加压力的控制，进一步提高了设备的使用性能和加工性能。
[0010]本实用新型所得到的蓝宝石衬底抛光装置，其通过在连接板与抛光板之间的弹性变形机构的设置，可对竖直往复机构下压时抛光板与蓝宝石衬底接触时的冲击力的缓冲，同时可自动调整促使抛光板始终与蓝宝石衬底贴合，提高了设备的使用性能和加工性能；而且可使抛光板对蓝宝石衬底的压力的可控。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]下面通过实施例结合附图对本实用新型作进一步的描述。
[0013]实施例1:
[0014]如图1所示，本实施例描述的蓝宝石衬底抛光装置，它包括机架I，在机架I的下方设有用于固定蓝宝石衬底3的载物台2，在机架I的上方设有横向往复机构4，在横向往复机构4上设有竖直往复机构5，在竖直往复机构5的下端设有连接板6，在连接板6的下端通过弹性变形机构8连接有抛光板7 ;所述连接板6、抛光板7与载物台2三者之间互相平行；连接板6与抛光板7之间间隔均匀的阵列有多个弹性变形机构8，各个弹性变形机构8在受到相同压力时变形量相同。
[0015]所述弹性变形机构8为压缩空气管柱，所述压缩空气管柱由上管柱10和下管柱11配合而成，上管柱10与下管柱11内部连通、连接处密封且可相对滑动，在压缩空气管柱内部充斥有压缩空气。所述横向往复机构4由滑轨和横向气缸组成,竖直往复机构5为竖直气缸；竖直气缸连接在滑轨上，与滑轨之间可相对滑动，且竖直气缸的缸体与横向气缸的伸缩杆连接；所述连接板6固定在竖直气缸的伸缩杆上；在抛光板7的上表面竖直设有刻度尺9，刻度尺9穿过连接板6并于连接板6之间可相对滑动。
【权利要求】
1.一种蓝宝石衬底抛光装置，它包括机架，在机架的下方设有用于固定蓝宝石衬底的载物台，其特征是:在机架的上方设有横向往复机构，在横向往复机构上设有竖直往复机构，在竖直往复机构的下端设有连接板，在连接板的下端通过弹性变形机构连接有抛光板。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底抛光装置，其特征是:所述连接板、抛光板与载物台三者之间互相平行。
3.根据权利要求2所述的一种蓝宝石衬底抛光装置，其特征是:连接板与抛光板之间间隔均匀的阵列有多个弹性变形机构，各个弹性变形机构在受到相同压力时变形量相同。
4.根据权利要求1或2或3所述的一种蓝宝石衬底抛光装置，其特征是:所述弹性变形机构为压缩空气管柱，所述压缩空气管柱由上管柱和下管柱配合而成，上管柱与下管柱内部连通、连接处密封且可相对滑动，在压缩空气管柱内部充斥有压缩空气。
5.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底抛光装置，其特征是:所述横向往复机构由滑轨和横向气缸组成，竖直往复机构为竖直气缸；竖直气缸连接在滑轨上，与滑轨之间可相对滑动，且竖直气缸的缸体与横向气缸的伸缩杆连接；所述连接板固定在竖直气缸的伸缩杆上。
6.根据权利要求4所述的一种蓝宝石衬底抛光装置，其特征是:在抛光板的上表面竖直设有刻度尺，刻度尺穿过连接板并于连接板之间可相对滑动。
【文档编号】H01L21/304GK204118036SQ201420597458
【公开日】2015年1月21日 申请日期:2014年10月16日 优先权日:2014年10月16日
【发明者】杨国峰, 杨文娟 申请人:杭州世明光电有限公司