电加热器型预处理装置及用于其的电加热器结构体的制作方法

本发明涉及电加热器型预处理装置及用于其的电加热器结构体，更详细地，使电加热器结构体与废气的接触面积最大化，使得电加热器结构体要热分解的热量既快速又均匀地传递至废气，以便更加激活热分解。

背景技术：

现有技术的电加热器型预处理装置中，反应腔室的内部包括杆形或线(wire)形的电加热器，从反应腔室的外部供给的在半导体工艺过程产生的全氟碳化物复合物(PFC，Per-fluorocarbon Compound)包括在内的废气与电加热器进行接触反应或热传递，以热分解废气的方式进行工作。

另一方面，设置于现有技术的电加热器型预处理装置的内部的电加热器的结构单纯，呈杆形或线形，电加热器与废气的接触面积只能相对小，因此，不仅消耗不在近距离而稍微隔开的位置通过电加热器结构体的废气热传递的时间，而且加热器结构体要维持热分解所需要的温度以上的高温度，以便实现充分的热传递，反应炉的内部的热分布的均匀性也降低，存在对废气的预处理效率不高的问题。

技术实现要素：

技术问题

因此，本发明的目的在于，提供电加热器型预处理装置及用于其的电加热器结构体，使电加热器结构体与废气的接触面积最大化，以便可在短时间内向废气传递热量，具有高均匀性的热分布度，来激活废气热分解。

解决问题的手段

为了实现上述目的，本发明的电加热器型预处理装置的特征在于，包括反应腔室，在上述反应腔室的内部设置有电加热器结构体，用于从外部接收废气，上述电加热器结构体包括多孔性金属结构体。

另一方面，本发明的电加热器型预处理装置的特征在于，包括反应腔室，在上述反应腔室的内部设置有电加热器结构体，用于从外部接收废气，上述电加热器结构体包括：绝缘性基底层；带状多孔性金属加热器，与上述绝缘性基底层的一面相结合。

优选地，本发明的特征在于，上述绝缘性基底层及上述带状多孔性金属加热器具有可绕性。

并且，本发明的特征在于，上述绝缘性基底层形成螺旋结构。

并且，本发明的特征在于，上述多孔性金属加热器暴露于向上述绝缘性基底层所形成的螺旋结构内供给的上述废气。

另一方面，本发明的电加热器型预处理装置的特征在于，包括反应腔室，在上述反应腔室的内部设置有电加热器结构体，用于从外部接收废气，上述电加热器结构体包括：筒状外壳，上部开放；多个金属球，填充于上述筒状外壳内部。

优选地，本发明的特征在于，上述筒状外壳的内部面包括电极部，设置于上述筒状外壳的内部面，向与上述内部面相接触的金属球供给电流。

并且，本发明的特征在于，上述多个金属球通过与相邻的金属球的点接触来电连接。

另一方面，设置于本发明的电加热器型预处理装置的电加热器结构体包括：绝缘性基底层；带状多孔性金属加热器，与上述绝缘性基底层的一面相结合。

优选地，本发明的特征在于，上述绝缘性基底层及上述带状多孔性金属加热器具有可绕性。

并且，本发明的特征在于，上述绝缘性基底层形成螺旋结构。

并且，本发明的特征在于，上述多孔性金属加热器暴露于向上述绝缘性基底层所形成的螺旋结构内供给的废气。

另一方面，设置于本发明的电加热器型预处理装置的电加热器结构体包括：筒状外壳，从开放的上部接收废气；以及多个金属球，填充于上述筒状外壳的内部。

优选地，本发明的特征在于，上述筒状外壳的内部面包括电极部，设置于上述筒状外壳的内部面，向与上述内部面相接触的金属球供给电流。

并且，本发明的特征在于，上述多个金属球通过与相邻的金属球的点接触来电连接。

发明的效果

根据本发明，使电加热器结构体与废气的接触面积最大化，以便在短时间内可向废气传递热量，具有高均匀性的热分布度，来激活废气热分解。

附图说明

图1为示出本发明一实施例的电加热器型预处理装置的结构的图。

图2为说明设置于本发明一实施例的电加热器型预处理装置的电加热器结构体的结构的图片附图。

图3至图5为说明设置于本发明一实施例的电加热器型预处理装置的电加热器结构体的变形结构的图。

图6为示出在图3所示的电加热器结构体的制造中结构变形过程的图。

图7为示出根据图6所示的方法制造的电加热器结构体所插入的反应腔室的结构的图。

图8为示出根据图6所示的方法制造的电加热器结构体设置于反应腔室的状态的图。

图9及图10为说明设置于本发明一实施例的电加热器型预处理装置的电加热器结构体的其他变形结构的图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明进行详细的说明。要留意的是，即使出现的不同的附图，对相同的结构要素赋予相同的符号。并且，省略了不必要地混淆本发明主旨的公知功能及结构的详细说明。

图1为示出本发明一实施例的电加热器型预处理装置的结构的图。参照图1，本发明一实施例电加热器型预处理装置包括反应腔室100，电加热器结构体200，喷水部300，沉水部400及排气部500。

首先，反应腔室100从外部接收全氟碳化物复合物(PFC，per-fluoro-compound)气等废气，并在内部设置有电加热器结构体200。电加热器结构体200从设置于反应腔室100的内部的电极部150、235接收电源而加热，废气与已加热的电加热器结构体200通过进行接触反应、对流过程及辐射热，从而传递热量，进行热分解。

另一方面，在反应腔室100的下部设置有作为沉淀水喷射喷嘴的喷水部300，上述沉淀水喷射喷嘴通过泵350接收沉淀水并向反应腔室100的下部空间喷射。

从喷水部300喷射的沉淀水捕集经废气热分解生成的水溶性粒子，溶解在沉淀水的水溶性粒子与沉淀水一同流入到设置于喷水部300的下部的沉水部400。

另一方面，流入到沉水部400的沉淀水与水溶性粒子一同排水至外部，随着废气热分解生成的水溶性粒子的分离而形成的残余气体通过排气部500排出至外部。

图2为说明设置于本发明一实施例电加热器型预处理装置具有的电加热器结构体200的结构的图片附图。优选地，如图2所示，设置于本发明一实施例电加热器型预处理装置的电加热器结构体200以多孔性金属结构体制造。

如图2所示的多孔性金属结构体具有可使电加热器结构体与废气的接触面积最大化的结构，可更加激活废气的热分解。

图3至图5为说明设置于本发明一实施例的电加热器型预处理装置的电加热器结构体200的变形结构的图。具体地，图3为说明电加热器结构体200的变形结构的主视图，图4为在图3的A-A'的剖视图，图5为图3的下侧视图。

另一方面，图6为示出在图3所示的电加热器结构体200的制造中结构变形过程的图。

即，如图3及图4所示，在本发明电加热器结构体200制造过程中，在长方形的绝缘性基底层210的一面连续地配置及附着带状多孔性金属加热器220后，如图6所示，对绝缘性基底层210与带状多孔性金属加热器220以卷筒方式一同进行卷绕，形成螺旋结构。

为此，优选地，绝缘性基底层210及带状多孔性金属加热器220都以具有可绕性的材质制造，具体地，绝缘性基底层210可制造成具有可绕性的陶瓷材质的层。

另一方面，附着于绝缘性基底层210的一面的带状多孔性金属加热器220需要以形成为一体并通电，如图3、图5及图6所示，因此在上述带状多孔性金属加热器220设置有向绝缘性基底层210的端部突出的外部电极连接端子223，已形成螺旋结构的电加热器结构体200以设置在反应腔室100内的状态下通过连接端子223接收电源。

同时，为了使附着于绝缘性基底层210的一面的带状多孔性金属加热器220形成为一体并通电，如图3所示，优选地，还设置作为连接部225的连接用加热器，用于在绝缘性基底层210的端部以电连接方式连接平行配置的多个带状多孔性金属加热器220。

图7为示出根据图6的方法制造的电加热器结构体所插入的反应腔室的结构的图。

参照图7，在反应腔室100的内部面设置有电极部150，上述电极部150与电加热器结构体200的连接端子223相连接并供给电源。

同时，在反应腔室100的底板170形成有气排出孔175，用于向外部排出供给到反应腔室100的内部的热分解的废气。

图8为示出根据图6方法制造的电加热器结构体设置于反应腔室的状态的图。如图8所示，已形成螺旋结构的电加热器结构体200设置于反应腔室100的状态下，向反应腔室100内供给的废气向螺旋结构的电加热器结构体200的内部供给，因此，图3的带状多孔性金属加热器220的整个面积可与废气相接触。

如此，以螺旋结构制造的电加热器结构体200具有可使金属加热器与废气的接触面积最大化的结构，可在短时间内向废气传递热量，具有高均匀性的热分布度，来激活废气热分解。

图9及图10为说明设置于本发明一实施例的电加热器型预处理装置的电加热器结构体200的其他变形结构的图。如图9及图10所示，在实施本发明的过程中，在电加热器结构体200的上部设置有可使废气通气的注入口，上述电加热器结构体200的内部也可利用填充有多个金属球250的筒状外壳230来制造。

具体地，如图9所示，在上述筒状外壳230的内部面还设置有电极部235，用于向与上述内部面相接触的金属球250供给电流。

由此，从筒状外壳230的内部面的电极部235接收电流的金属球250可通过点接触向相邻的其他金属球250连续地传递电流，填充于上述筒状外壳230的内部的所有金属球250可通过如上所述的相互点接触来接收电流。

如图10所示的结构的电加热器结构体200设置于反应腔室100的内部的状态下，向反应腔室100的内部供给的废气通过筒状外壳230的开放的上部面与金属球250的外周面相接触，多个金属球250以能够点接触的形态构成，因此废气可与多个金属球250的整个外周面相接触。

如此，利用以点接触形态构成的多个金属球250制造的电加热器结构体200具有可使金属球250的表面与废气的接触面积最大化的结构，以便在短时间内向废气传递热量，具有高均匀性的热分布度，来激活废气热分解。

同时，向筒状外壳230的内部供给而结束与多个金属球250进行反应的废气经热分解后，通过形成于筒状外壳230的底板237的排出孔239向反应腔室100的外部排出。

另一方面，在腐蚀性气体的情况下，随着持续与废气的反应，由于金属球的表面的腐蚀现象，金属球250的体积逐渐减小，因此金属球250与废气的接触面积可能会减小，但是管理人员可向筒状外壳230投入追加的金属球250，从而解决这种维持管理上的问题。

另一方面，在实施本发明的过程中，也可将反应腔室100本身用作筒状外壳230。

以上，图示并说明了本发明的优选实施例及应用例，但是本发明不限定于上述的特定的实施例及应用例，当然，本发明所属领域普通技术人员可在未超出发明要求保护范围所保护的本发明的主旨的前提下进行多种实施变形，这些变形应理解为属于本发明的技术思想或前景。

并且，在本发明中所使用的术语仅仅用于说明特定实施例，而并非所要限定本发明。除非在文脉上明确示出不同的含义，单数的表述方式包括复数的表述方式。在本申请中，“包括”或“具有”等术语用于指定在说明书中所记载的特征、数字、步骤、动作、结构要素、部件或它们的组合的存在，而并非预先排除一个或一个以上的其他特征或数字、步骤、动作、结构要素、部件或它们的组合的存在或附加可能性。

产业上的可利用性

本发明在预处理设备相关产业领域有可利用性。