本发明涉及一种硅片片盒内金属含量测试的方法，属于集成电路技术领域。
背景技术：
硅片是利用CZ法得到硅单晶锭，单晶锭经过线切割、磨削、抛光、清洗等工艺制备得到的。硅片的存储和运输一般采用FOUP(前端开口片盒)和FOSB(前端开口装运箱)来进行，二者统称为片盒。这些片盒将晶片保持在间隔排列的堆叠阵列中，并具有可自动开启的密封门，还具有允许搬运以及自动进入晶片的特点。
如果片盒本身没有清洗干净，就会对硅片造成沾污，例如片盒上的颗粒和金属会落到硅片表面上，造成硅片质量不合格。随着集成电路线宽的降低，对硅片的要求越来越高，对片盒的洁净度要求也越来越高。
硅片制作厂家在硅片出厂前需要对所用片盒的颗粒和金属进行测试，进而完成对片盒质量的监控。但是对于测试方法目前还没有统一的标准来执行。
技术实现要素：
本发明的目的在于提供一种硅片片盒内金属含量测试的方法，该方法简单可靠，可解决硅片生产中片盒内金属含量监控的技术问题。
为实现上述目的，本发明采取以下技术方案：
一种硅片片盒内金属含量的测试方法，包括以下步骤：
(1)用干净的PFA瓶取100mL溶剂；用ICP-MS测试溶剂中的金属含量；
(2)将PFA瓶中的溶剂倒入到待测片盒中，晃动片盒，使溶剂在片盒内流动，直到覆盖片盒所有内壁；
(3)将片盒内溶剂倒回PFA瓶，并用ICP-MS测试溶剂中的金属含量；
(4)取两次测试结果的差值，即为片盒内金属的含量。
其中，所述溶剂为纯水或质量百分比浓度为2％-5％的硝酸溶液。
所述PFA瓶使用前用质量百分比浓度为2％-5％的硝酸溶液浸泡24小时，然后用纯水冲洗溢流1分钟以上，然后将瓶中纯水排掉，甩干。
所述片盒为前端开口片盒或前端开口装运箱，测试之前经过清洗和晾干，晾干时间为8小时以上。
ICP-MS全称是电感耦合等离子体质谱仪，它是一种将ICP技术和质谱结合在一起的分析仪器。一般采用Ar等气体作为等离子体气体。样品从中心管以气体或 者气溶胶的形式引入，经过一系列过程最终电离或激发，然后通过样品锥和截取锥进入质谱仪，完成测试。
本发明的优点在于：
本发明简单可靠，能够准确地监控硅片生产中片盒内金属含量，适用于FOUP和FOSB的金属测试。
附图说明
图1为本发明的硅片片盒内金属含量的测试方法的流程图。
具体实施方式
下面通过附图和具体实施方式对本发明做进一步说明，但并不意味着对本发明保护范围的限制。
如图1所示，本发明的硅片片盒内金属含量的测试方法具体流程为：
S100：用干净的PFA瓶取100mL溶剂；
S110：用ICP-MS测试溶剂中的金属含量；
S120：将PFA瓶中的溶剂倒入到待测片盒中；
S130：晃动片盒，使溶剂在片盒内流动，直到覆盖片盒所有内壁；
S140：将片盒内溶剂倒回PFA瓶，并用ICP-MS测试溶剂中的金属含量；
S150：取两次测试结果的差值，即为片盒内金属的含量。
实施例1
将用纯水冲洗干净的PFA瓶用5％的硝酸溶液浸泡24小时，然后用纯水冲洗溢流1分钟以上，然后将瓶中纯水排掉，甩干备用。
取清洗干净并且晾干12小时的FOSB一个。
向PFA瓶中加入100mL纯水，用ICPMS测试纯水中金属含量，并记录为前值，结果如表1所示。
将PFA瓶中的纯水倒入到待测片盒中，晃动片盒，晃动片盒时不要使纯水流出片盒，使纯水在片盒内流动，覆盖片盒的所有内壁。
将纯水倒回到PFA瓶中，再次用ICPMS测试纯水中金属含量，计为后值，结果如表1所示。
取两次金属测试结果的差值，即为片盒内金属的含量。结果如表1所示。
表1(金属含量的单位为ppt)：
很明显，从测试结果可以看出，该片盒存在金属沾污，尤其是轻金属超标严重，如果直接用来装合格片，可能会导致硅片到客户后出现质量问题。
实施例2
将实施例1中的FOSB先用0.5％的HCL浸泡10分钟，然后用水冲洗干净残留HCl溶液，最后用高纯氮气将片盒上的水渍吹干。将吹干的片盒放置到一级洁净间晾干，时间为12个小时。
使用实施例1中清洗干净的PFA瓶，向PFA瓶中加入100mL纯水，用ICPMS测试纯水中金属含量，并记录为前值，结果如表2所示。
将PFA瓶中的纯水倒入到待测片盒中，晃动片盒，晃动片盒时不要使纯水流出片盒，使纯水在片盒内流动，覆盖片盒的所有内壁。
将纯水倒回到PFA瓶中，再次用ICPMS测试纯水中金属含量，计为后值，结果如表2所示。
取两次金属测试结果的差值，即为片盒内金属的含量。结果如表2所示。
表2(金属含量的单位为ppt)：
很明显，从测试结果可以看出，该片盒经过重新清洗后，金属被去除。也说明了本发明测试片盒金属结果的有效性。
实施例3
购置多摩化学生产的硝酸(55％)试剂一瓶，规格500mL，杂质含量≤10ppt。
准备500mL的PFA材质容量瓶一个，用55％硝酸溶液冲洗一遍内部，再用纯水将PFA瓶清洗3次。
计算体积比∶配制5％的硝酸溶液，那么可以计算得到体积比为HNO3∶DIW＝9∶1。
用量筒分别量取450ml的纯水、50ml的硝酸，加入到容量瓶中，用手将容量瓶中的硝酸溶液摇晃60s，注意不要溅到外面。
5％的硝酸溶液配制完成。
向PFA瓶中加入100mL刚配制完成的硝酸溶液，用ICPMS测试溶液中金属含量，并记录为前值，结果如表3所示。
将PFA瓶中的硝酸溶液倒入到新的待测片盒中，晃动片盒，晃动片盒时不要使溶液流出片盒，使溶液在片盒内流动，覆盖片盒的所有内壁。
将硝酸溶液倒回到PFA瓶中，再次用ICPMS测试硝酸溶液中金属含量，计为后值，结果如表3所示。
取两次金属测试结果的差值，即为片盒内金属的含量，可以看出该片盒的Na和Ca元素偏高。结果如表3所示。
表3(金属含量的单位为ppt)